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[发明专利]用于在键合之前检查芯片的方法和设备-CN201510381758.9有效
发明人：约翰尼斯·斯库斯特 -专利权人： K&S芯片键合设备有限公司
申请日： 2010-08-02 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于在键合之前检查芯片的方法和设备。本发明属于自动化技术领域并涉及用于处理芯片尤其是半导体管芯的设备和方法。芯片处理工具被配置为在接管位置处接收芯片，尤其是半导体管芯，并将芯片移交至交付位置，并且包括工作表面，工作表面被配置为与芯片的第一侧上的第一表面连接。芯片处理工具还包括照射装置，用于当芯片的所述第一侧与工作表面连接时从芯片的第一侧照射芯片。还呈现了一种芯片处理方法。
用于之前检查芯片方法设备

[发明专利]可旋转可加热放置工具和包括这种放置工具的芯片焊接机-CN201610136865.X在审
发明人：乔齐姆·特灵克斯 -专利权人： K&S芯片键合设备有限公司
申请日： 2009-09-08 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种可在垂直于衬底的z轴方向上移动的放置工具，包括：芯片保持元件，保持元件包括加热元件；保持元件的容器，容器相对于z轴可旋转地安装在放置工具处并包括由热绝缘材料制成的绝缘体；容器的驱动装置，驱动装置能够使容器绕z轴旋转；冷却流体的供给装置，保持元件的容器可通过供给装置被冷却。
旋转加热放置工具包括这种芯片焊接

[发明专利]用于在键合之前检查芯片的方法和设备-CN201080035984.7有效
发明人：约翰尼斯·斯库斯特 -专利权人： K&S芯片键合设备有限公司
申请日： 2010-08-02 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明属于自动化技术领域并涉及用于处理芯片尤其是半导体管芯的设备和方法。芯片处理工具被配置为在接管位置处接收芯片，尤其是半导体管芯，并将芯片移交至交付位置，并且包括工作表面，工作表面被配置为与芯片的第一侧上的第一表面连接。芯片处理工具还包括照射装置，用于当芯片的所述第一侧与工作表面连接时从芯片的第一侧照射芯片。还呈现了一种芯片处理方法。
用于之前检查芯片方法设备

[发明专利]可旋转可加热放置工具和包括这种放置工具的芯片焊接机-CN200980135373.7无效
发明人：乔齐姆·特灵克斯 -专利权人： K&S芯片键合设备有限公司
申请日： 2009-09-08 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种可在垂直于衬底的z轴方向上移动的放置工具，包括：芯片保持元件，保持元件包括加热元件；保持元件的容器，容器相对于z轴可旋转地安装在放置工具处并包括由热绝缘材料制成的绝缘体；容器的驱动装置，驱动装置能够使容器绕z轴旋转；冷却流体的供给装置，保持元件的容器可通过供给装置被冷却。
旋转加热放置工具包括这种芯片焊接

[发明专利]用于操控物体特别是操控半导体芯片的装置以及柔性扁平电缆-CN200980133154.5无效
发明人：乔齐姆·特灵克斯 -专利权人： K&S芯片键合设备有限公司
申请日： 2009-08-31 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H01R43/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于操控物体、特别是操控半导体芯片的装置。该装置包括：包括多个第一电端子的第一本体部分；包括多个第二电端子的第二本体部分，所述第二本体部分配置成绕旋转轴线相对于所述第一本体部分旋转；柔性扁平电缆，用于有助于所述多个第一电端子和所述多个第二电端子之间的电连接，所述柔性扁平电缆配置用于绕至少一个弯曲轴线承受重复的弯曲；以及固定装置，用于相对于基本平行于所述旋转轴线的所述弯曲轴线固定所述柔性扁平电缆，所述固定装置包括安装至所述第一本体部分的第一固定和安装至所述第二本体部分的第二固定。本发明还提供一种柔性扁平电缆。
用于操控物体特别是半导体芯片装置以及柔性扁平电缆

[发明专利]定位工具用X-Y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置-CN200680056754.2有效
发明人：安德烈斯·马特尔;尔邦·恩斯特;约翰尼斯·舒斯特 -专利权人： K&S芯片键合设备有限公司
申请日： 2006-12-22 - 公布日： 2009-10-28 - 主分类号： G05B19/401 文献下载
摘要：本发明涉及一种定位工具用X-Y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置。本发明涉及一种定位工具(1)用x-y定位的校准方法、一种将组件(3)定位在基板(4)上的方法、一种具有定位工具(1)及图像辨识系统(2)的装置、以及一种校准以图像辨识系统(2)为基础的定位工具(1)用x-y定位的校准装置(100)。定位工具(1)的x-y定位是以图像辨识系统(2)的坐标为准被校准，在这个校准模式中，步骤(i)是将定位工具(1)定位在一个网点(24)上，步骤(ii)是检测网点(24)的工具坐标，步骤(iii)是以图像辨识系统(2)检测一个设置在相对于定位工具(1)的一个规定位置的基准记号(14)，步骤(iv)是以图像辨识系统(2)为准求出基准记号(14)的坐标，步骤(v)是对相同或其它网点(24)重复进行步骤(i)至步骤(iv)，步骤(vi)是使网点(24)的工具坐标及在图像辨识系统(2)中的坐标彼此产生关联及/或彼此平衡。
定位工具校准方法具有这种装置