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[发明专利]使用两个温度传感装置调整CVD反应器过程室内温度的设备和方法-CN201480074076.7有效
发明人： A.博伊德;P.S.劳弗;J.林德纳;H.席尔瓦;A.泰勒斯 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于热处理，尤其用于涂敷衬底(9)的设备和方法，包括由与第一温度传感装置(7、12)配合工作的调整器(13)调整的加热装置(11)。为防止温度偏移，建议第二温度传感装置(8)用于识别第一温度传感装置(7、12)的温度偏移和再校准第一温度传感装置(7、12)。第一温度传感装置(7、12)确定在基座(10)第一位置(M₁、M₂、M₃、M₄、M₅、M₆)的温度。第二温度传感装置(8)确定在基座(10)第二位置的温度。在测量间隔，用第二温度传感装置(8)测量尤其衬底(9)的表面温度。将这一测量值与额定值比较，此时，若额定值偏离测得的实际值则形成修正系数，将修正系数加入第一温度传感装置(7、12)的用于调整加热装置(11)的测量值，目的是使由第二温度传感装置(8)测得的温度实际值能接近相关的温度额定值。
使用两个温度传感装置调整 cvd 反应器过程室内设备方法

[发明专利]CVD反应器的进气机构-CN201280033705.2有效
发明人： H.席尔瓦;N.朱奥尔特;V.塞韦尔;F.克劳利;M.道尔斯伯格;J.林德纳 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种CVD反应器的进气机构(2)，其具有进气壳体，进气壳体具有至少一个可由第一输送管(21)输送第一处理气体的第一气体分配腔(5)，第一气体分配腔(5)具有多个分别设计为管件的气体管道(8)，气体管道(8)伸入安置于进气壳体壁(10)前方的排气板(14)的第一开口(16)内，并且第一处理气体通过气体管道(8)进入设置于排气板(14)下方的处理室内，并且进气机构(2)还具有设置在进气壳体壁(10)和排气板(14)之间的间隔空间(20)。设置有与进气壳体壁(10)邻接的冷却剂室(7)，冷却剂可被送入冷却剂室(7)内，用于冷却进气壳体壁(10)以及与被冷却的进气壳体壁(10)传热连接的气体管道(8)的管口(8')，其中，排气板(14)与进气壳体壁(10)之间不传热，从而使得受到来自于处理室(22)的热辐射的排气板(14)相比于伸入到排气板(14)的开口(16)内的管口(8')被更大程度地加热。
cvd 反应器机构

[发明专利]纽扣电池和用于产生该纽扣电池的方法-CN201080007121.9有效
发明人： E.派特利克;J.林德纳;U.巴伦蒂恩;W.高格勒 -专利权人：瓦尔达微电池有限责任公司
申请日： 2010-02-09 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： H01M10/04 文献下载
摘要：描述了一种纽扣电池（100；400；500），包括被相互连接形成密封并形成具有扁平底部区域（103；503）和与之平行的扁平顶部区域（104；504）的两个金属外壳半部（101、102；401、402；501、502），扁平层形式的正和负电极（105、106；201、202；304、305；407、408；508、509）被布置在外壳内并经由扁平隔离体（107；203；302、303；405、406；507）被相互连接，电极层本质上成直角地与扁平底部和顶部区域对准。还描述了一种用于产生诸如这样的纽扣电池的方法。
纽扣电池用于产生方法