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[发明专利]通过UV-LIGA技术制造多层级金属部件的方法-CN200980132070.X有效
发明人： J-C·法卡布里诺;G·雷-梅尔梅特 -专利权人：尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
申请日： 2009-07-23 - 公布日： 2011-07-13 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种用于制造多层级金属微结构的方法包括以下步骤：a)提供具有导电表面(2)的基板(1)；b)用第一光致抗蚀剂层(3)覆盖导电表面(2)；c)通过与所希望的凹腔对应的掩模(4)照射第一光致抗蚀剂层(3)；d)显影第一光致抗蚀剂层(3)，以便在其中挖出孔口并由此获得光致抗蚀剂模具的第一层级，在第一光致抗蚀剂层中的孔口显露出基板的导电表面(2)；e)在被显影的光致抗蚀剂层(3)上沉积新的光致抗蚀剂层(6)，以便覆盖被显影的光致抗蚀剂层并且填充其中的孔口；f)通过与所希望的凹腔对应的掩模(7)照射该新的光致抗蚀剂层(6)；g)显影该新的光致抗蚀剂层(6)，以便在其中挖出孔口并获得多层级光致抗蚀剂模具，该多层级模具中的孔口显露出基板的导电表面(2)；h)在该多层级光致抗蚀剂模具的孔口中电沉积金属或合金；i)分离基板(1)，然后去除光致抗蚀剂层，以便显露包括孔口中沉积的所述金属或合金的多层级金属结构(8)。
通过 uv liga 技术制造多层金属部件方法

[发明专利]硅-金属复合微机械部件及其制造方法-CN200880116149.9有效
发明人： J-C·法卡布里诺;M·韦拉尔多;T·科尼斯;J-P·蒂埃博;J-B·彼德斯 -专利权人：尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
申请日： 2008-11-12 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： B81C5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种结合有DRIE和LIGA工艺的制造硅-金属复合微机械部件的方法(1)。本发明还涉及一种微机械部件(51)，该微机械部件包括一个层，具有硅部分(53)和金属部分(41)，从而形成复合微机械部件(51)。本发明可用于钟表机芯领域。
金属复合微机部件及其制造方法