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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于超声检查的系统、方法和设备-CN201980080504.X在审
发明人： Y-S·关;J·C·P·麦克安;P·I·J·基顿;M·L·赖特 -专利权人： SONIX公司
申请日： 2019-10-03 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01N29/28 文献下载
摘要：描述了耦合器和卡盘。卡盘被构造成在晶片经历检查过程时固定物品。卡盘具有多个真空区域。一些真空区域将晶片保持在适当位置，而其它真空区域从晶片的边缘表面抽吸耦合剂。耦合器用于检查晶片的表面和次表面的缺陷并且包括感测装置，感测装置可以是换能器。一个或多个耦合剂入口耦合件设置在耦合器的第二部分上，耦合剂入口耦合件将耦合剂提供到由感测装置检查的晶片的一部分。多个真空入口耦合件设置在耦合器的第三部分上。真空入口耦合件中的至少一个通过耦合器的下表面的凹陷部分提供抽吸，以去除在由感测装置检查的晶片的部分之外的耦合剂。
用于超声检查系统方法设备

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