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[发明专利]一种用于确定焦点位置的装置和方法-CN202180085581.1在审
发明人： R·克拉默;O·玛特恩;S·沃夫;J·罗斯纳格尔;M·韩赛尔;R·尼德瑞吉 -专利权人：普莱姆斯激光测量技术有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种光束分析装置(10)，用于确定能量束或从能量束分离的样本光束(70)的焦点(71)的轴向位置，包括光束整形装置(12)、检测器(40)和分析装置(45)。光束整形装置(12)被配置为利用二维透射函数在调制平面(19)上调制能量束(77)或被分离的样本光束(70)的强度分布(81)，以便形成调制样本光束(79)。透射函数具有在至少一个阻挡区域(25)和至少一个通道区域(21)之间呈过渡形式的至少两个对比度阶梯(32、33)，它们彼此相距距离a。光束整形装置(12)被配置为将调制样本光束(79)沿传播路径引导到检测器(40)上，以沿着第一横向方向(31)在检测器(40)上形成具有至少两个对比度特征(92、93)的强度分布(83)。分析装置(45)被配置为确定沿着第一横向方向(31)在检测器(40)上的对比度特征(92、93)之间的距离a，以及基于距离a确定光束焦点(71)的轴向位置和/或基于距离a的变化确定光束焦点(71)的轴向位置的变化。本发明还涉及一种用于确定光束焦点(71)的轴向位置的相应方法。
一种用于确定焦点位置装置方法

[发明专利]用于确定焦点位置的装置和方法-CN202180085586.4在审
发明人： R·克拉默;O·玛特恩;S·沃夫;J·罗斯纳格尔;M·韩赛尔;R·尼德瑞吉 -专利权人：普莱姆斯激光测量技术有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于确定能量束或从能量束中解耦的样本束(70)的焦点(71)的轴向位置的光束分析装置(10)，包括光束整形装置(12)、检测器(40)和分析装置(45)。光束整形装置(12)被解耦为在子光束释放过程的平面(19)上从样本束(70)释放两个子光束(72、73)。两个子光束(72、73)的横截面由子孔(32、33)限定，这些子孔相互分隔，并在第一横向方向(31)上以距离k相互排列。光束整形装置(12)被设计成对两个子光束(72，73)进行成像，以便在检测器上形成两个光束点(92，93)，并在与第一横向方向(31)横向排列的第二横向方向(37)上对两个子光束(72，73)中的至少一个进行偏转，以便在两个光束点(92，93)之间形成沿第二横向方向(37)上的距离w。评估装置(45)被设计为确定检测器(40)上两个光束点(92、93)在第一横向方向(31)上的距离a，并基于距离a确定光束焦点(71)的轴向位置和/或基于距离a的变化确定光束焦点(71)的轴向位置变化。本发明还涉及一种相应的方法，用于确定光束焦点(71)的轴向位置。
用于确定焦点位置装置方法

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