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[发明专利]带电粒子束装置和用于操作带电粒子束装置的方法-CN201911308786.2有效
发明人：温克勒·迪特尔;杰辛斯基·托马斯 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：一种带电粒子束装置，所述带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射带电粒子束；可移动台，所述可移动台包括具有至少第一孔径阵列和第二孔径阵列的孔径阵列组件，所述可移动台被配置为使所述孔径阵列组件与所述带电粒子束对准，并且至少一个孔径阵列包括屏蔽管，所述屏蔽管耦接到所述可移动台。
带电粒子束装置用于操作方法

[发明专利]带电粒子束装置、用于带电粒子束装置的孔布置和用于操作带电粒子束装置的方法-CN201810989576.3有效
发明人：于尔根·弗洛森 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本公开内容提供一种带电粒子束装置(100)。带电粒子束装置(100)包括：带电粒子源(20)，经配置以发射带电粒子束(14)；聚光透镜布置(110)；孔布置(120)，经配置以产生带电粒子束(14)的两个或更多个小束，其中孔布置(120)包括多个第一开口和与多个第一开口不同的多个第二开口；和多极布置(130)，经配置以作用在两个或更多个小束上。孔布置(120)经配置以使多个第一开口或多个第二开口与多极布置(130)对准。
带电粒子束装置用于布置操作方法

[发明专利]带电粒子束装置、以及用于操作带电粒子束装置的方法-CN201910639410.3有效
发明人：本杰明·约翰·库克;迪特尔·温克勒 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：描述一种多束带电粒子束装置。所述多束带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射初级带电粒子束；孔隙布置，所述孔隙布置具有开口，所述孔隙布置被配置为至少产生所述初级带电粒子束的第一子束和第二子束；以及消隐装置，所述消隐装置包括：用于所述第一子束的至少第一消隐偏转器和用于所述第二子束的第二消隐偏转器；以及屏蔽组件，所述屏蔽组件具有部分地或完全地包围所述第一消隐偏转器的第一屏蔽元件。
带电粒子束装置以及用于操作方法

[发明专利]带电粒子束装置、带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法-CN201810769384.1有效
发明人：迪特尔·温克勒;盖伊·伊坦;玆维·尼珥 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：描述一种带电粒子束装置(100)，所述带电粒子束装置包括：束源(110)，被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105)；具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(120)，被配置成从带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135)，其中第一数量为5或更多，其中孔径(125)围绕光轴(A)布置在环线(126)上，使得投射于环线(126)的切线(136)上的孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开。带电粒子束装置(100)进一步包括静电多极装置，所述静电多极装置被配置成单独地支配小束。另外，描述带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法。
带电粒子束装置支配操作方法

[发明专利]带电粒子束装置、用于带电粒子束装置的多束消隐器以及用于操作带电粒子束装置的方法-CN201910644415.5有效
发明人：本杰明·约翰·库克;迪特尔·温克勒 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：描述了一种用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器。所述束转储器包括：环形主体，所述环形主体具有内周壁，所述内周壁限定用于使所述初级带电粒子子束通过的开口环带，所述环形主体进一步具有外周壁和底壁；环形电极，所述环形电极部分地在所述环形主体上方，所述环形电极具有内周侧和外周侧，其中所述内周侧在所述环形主体的所述内周壁的半径外。
带电粒子束装置用于多束消隐器以及操作方法

[发明专利]带电粒子束布置、其操作方法及扫描电子装置-CN201910623676.9有效
发明人：帕维尔·阿达梅克 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：公开了一种带电粒子束布置、其操作方法及扫描电子装置。所述带电粒子束布置包括：带电粒子源，所述带电粒子源包括冷场发射器；限束孔，所述限束孔在所述带电粒子源与磁性聚光透镜之间；所述磁性聚光透镜，所述磁性聚光透镜包括第一内极件和第一外极件，其中所述带电粒子源与所述第一内极件之间的第一轴向距离等于或小于约20mm；加速部段，所述加速部段用于使带电粒子束加速到10keV或更多的能量；磁性物镜，所述磁性物镜包括第二内极件和第二外极件，所述第二内极件与样本的表面之间的第三轴向距离等于或小于约20mm；以及减速部段。
带电粒子束布置操作方法扫描电子装置

[实用新型]带电粒子束装置、物镜模块以及电极装置-CN202020876612.8有效
发明人：马蒂亚斯·费尔克斯;约翰·布鲁尔;弗洛里安·兰珀斯伯格;汉诺·卡普;斯特凡·拉尼奥 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：描述了一种用于检查样本的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包括：束源，所述束源用于发射带电粒子束；电极，所述电极用于影响所述带电粒子束；以及阻尼单元，所述阻尼单元设在所述电极上以用于抑制所述电极的振动。此外，描述了一种具有电极的物镜模块，其中阻尼单元设在所述电极上。此外，描述了一种电极装置，其中质量阻尼器安装在所述电极装置的盘状电极主体上。
带电粒子束装置物镜模块以及电极

[实用新型]用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置-CN201922212192.3有效
发明人：费尔克斯·马蒂亚斯;布鲁尔·约翰;兰珀斯伯格·弗洛里安 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：描述了用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置。所述磁性透镜部件包括：线圈载体，所述线圈载体具有截锥形主体；导线，所述导线被配置为围绕所述线圈载体提供线圈；以及卷绕元件，所述卷绕元件至少部分地包围所述截锥形主体，所述卷绕元件具有狭缝开口。
用于带电粒子束装置磁性透镜部件

[发明专利]带电粒子束装置-CN202010960020.9在审
发明人：约翰·布鲁尔 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：描述一种用于用初级带电粒子小束阵列对样本进行检查的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括：带电粒子束源，用于产生初级带电粒子束；多孔径板，具有至少两个开口以产生带电粒子小束阵列，带电粒子小束阵列至少具有在样本上具有第一分辨率的第一小束和在样本上具有第二分辨率的第二小束；像差校正元件，用于校正旋转对称带电粒子透镜的球差和色差中的至少一个；和物镜组件，用于将初级带电粒子小束阵列的每个初级带电粒子小束聚焦到样本上的单独位置上。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置和对样本进行成像或照明的方法件-CN201810724460.7有效
发明人：约翰·布鲁尔 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：描述一种用于用初级带电粒子小束阵列对样本进行检查的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括：带电粒子束源，用于产生初级带电粒子束；多孔径板，具有至少两个开口以产生带电粒子小束阵列，带电粒子小束阵列至少具有在样本上具有第一分辨率的第一小束和在样本上具有第二分辨率的第二小束；像差校正元件，用于校正旋转对称带电粒子透镜的球差和色差中的至少一个；和物镜组件，用于将初级带电粒子小束阵列的每个初级带电粒子小束聚焦到样本上的单独位置上。
带电粒子束装置样本进行成像照明方法

[实用新型]多束带电粒子束装置-CN201921108886.6有效
发明人：本杰明·约翰·库克;迪特尔·温克勒 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：描述一种多束带电粒子束装置。所述多束带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射初级带电粒子束；孔隙布置，所述孔隙布置具有开口，所述孔隙布置被配置为至少产生所述初级带电粒子束的第一子束和第二子束；以及消隐装置，所述消隐装置包括：用于所述第一子束的至少第一消隐偏转器和用于所述第二子束的第二消隐偏转器；以及屏蔽组件，所述屏蔽组件具有部分地或完全地包围所述第一消隐偏转器的第一屏蔽元件。
束带粒子束装置

[实用新型]带电粒子束布置及扫描电子装置-CN201921079893.8有效
发明人：帕维尔·阿达梅克 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：公开了一种带电粒子束布置及扫描电子装置。所述带电粒子束布置包括：带电粒子源，所述带电粒子源包括冷场发射器；限束孔，所述限束孔在所述带电粒子源与磁性聚光透镜之间；所述磁性聚光透镜，所述磁性聚光透镜包括第一内极件和第一外极件，其中所述带电粒子源与所述第一内极件之间的第一轴向距离等于或小于约20mm；加速部段，所述加速部段用于使带电粒子束加速到10keV或更多的能量，磁性物镜，所述磁性物镜包括第二内极件和第二外极件，所述第二内极件与样本的表面之间的第三轴向距离等于或小于约20mm；以及减速部段。
带电粒子束布置扫描电子装置

[实用新型]用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器和多束带电粒子束装置-CN201921119387.7有效
发明人：本杰明·约翰·库克;迪特尔·温克勒 -专利权人： ICT集成电路测试股份有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：描述了一种用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器和多束带电粒子束装置。所述束转储器包括：环形主体，所述环形主体具有内周壁，所述内周壁限定用于使所述初级带电粒子子束通过的开口环带，所述环形主体进一步具有外周壁和底壁；环形电极，所述环形电极部分地在所述环形主体上方，所述环形电极具有内周侧和外周侧，其中所述内周侧在所述环形主体的所述内周壁的半径外。
用于带电粒子束装置转储器束带

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