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[发明专利]具有带反射涂层的反射镜元件的投影物镜-CN200710300394.2有效
发明人： D·陈;H·－J·曼 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2007-12-04 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：一种光学系统具有多个使波长为λ的光从物平面向像平面成像的元件，该多个元件包括在光路上的具有反射表面的多个反射镜元件。多个反射镜元件中的至少一个是光瞳反射镜，其具有设置在或接近光学系统的光瞳表面的位置处的光瞳反射镜表面。剩余反射镜元件中的至少一个是高负荷的反射镜，其具有反射镜表面并被设置在产生所有剩余反射镜的入射角范围的最大值和平均入射角的最大值中的至少一个的位置，其中该剩余反射镜包括除了光瞳反射镜之外的所有反射镜。光瞳反射镜表面由设计为包括不同材料层的多层堆叠的一维渐变涂层的反射涂层形成，该层具有几何层厚度，其根据第一渐变函数在涂层的第一方向上变化且在垂直于第一方向的第二方向上基本恒定。高负荷的反射镜的反射镜表面被涂覆有根据第二渐变函数设计的渐变涂层的反射镜涂层。
具有反射涂层元件投影物镜

[发明专利]反射折射投影物镜-CN200580002499.9有效
发明人： D·谢弗;W·乌尔里希;A·多多克;R·冯比瑙;H·－J·曼;A·埃普勒 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2005-01-13 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： G02B17/00 文献下载
摘要：一种反射折射投影物镜(200)，用于将提供在投影物镜的物面(201)中的图形成像在投影物镜的像面(202)上，包括：第一物镜部分(210)，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分(220)，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分(230)，用于将第二中间图像直接成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜(221)和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜(222)布置在第二中间图像的上游；光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，形成在第一和第二中间图像之间，并且形成在第二中间图像和像面之间；所有凹面镜布置成光学远离光瞳面。该系统在适度透镜材料物质消耗的情况下具有非常高的数值孔径。
反射折射投影物镜

[发明专利]具有光瞳遮蔽的物镜-CN200610079853.4无效
发明人： H·－J·曼;W·乌尔里希 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2002-08-16 - 公布日： 2006-12-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：物镜(1)具有：第一部分物镜(3)，其将第一场平面(7)投影到中间图像(11)上且包括具有第一中央镜孔径(15)的第一凸面镜(13)和具有第二中央镜孔径(19)的第二凹面镜(17)，所述第一镜(13)具有距所述第二镜(17)的第一轴上间距，且所述第二镜(17)具有距所述中间图像(11)的第二轴上间距，以及第一轴上间距与第二轴上间距的比率具有在0.95至1.05、尤其是在0.98至1.02之间的值；以及第二部分物镜(5)，其将所述中间图像(11)投影到第二场平面(9)上且包括具有第三中央镜孔径(23)的第三凹面镜(21)和具有第四中央镜孔径(27)的第四凹面镜(25)，所述第三镜(21)具有距第二场平面(9)的第三轴上间距Z_M3－IM，所述第三轴上间距与第二场平面(9)内的数值孔径NA以及与第三镜(21)的直径Du_M3具有下述关系：(I)，所述物镜(1)具有Petzval半径，所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7)距所述第二场平面(9)的轴上间距。
有光遮蔽物镜

[发明专利]具有光瞳遮蔽的物镜-CN02812100.7无效
发明人： H·－J·曼;W·乌尔里希 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2002-08-16 - 公布日： 2004-07-28 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：物镜(1)具有：第一部分物镜(3)，其将第一场平面(7)投影到中间图像(11)上且包括具有第一中央镜孔径(15)的第一凸面镜(13)和具有第二中央镜孔径(19)的第二凹面镜(17)，所述第一镜(13)具有距所述第二镜(17)的第一轴上间距，且所述第二镜(17)具有距所述中间图像(11)的第二轴上间距，以及第一轴上间距与第二轴上间距的比率具有在0.95至1.05、尤其是在0.98至1.02之间的值；以及第二部分物镜(5)，其将所述中间图像(11)投影到第二场平面(9)上且包括具有第三中央镜孔径(23)的第三凹面镜(21)和具有第四中央镜孔径(27)的第四凹面镜(25)，所述第三镜(21)具有距第二场平面(9)的第三轴上间距Z_M3－IM，所述第三轴上间距与第二场平面(9)内的数值孔径NA以及与第三镜(21)的直径Du_M3具有下述关系：(I)，所述物镜(1)具有Petzval半径，所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7)距所述第二场平面(9)的轴上间距。
有光遮蔽物镜