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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于排空来自处理室的腐蚀性流出气体流的装置-CN201680042943.8有效
发明人： C.M.贝利;C.M.L.滕纳;J.R.塔特索尔;I.S.格雷厄姆;M.R.切尔尼亚克;G.P.奈特;D.门尼;D.M.普赖斯;D.M.巴克;A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：使用干式泵来泵送来自半导体行业的多种气体混合物。本发明提供一种液环泵，其定位在所述干式泵与减排设备之间以在废气进入所述减排设备之前去除可溶性腐蚀性物质，从所述液环泵排出的工作流体在进入所述减排设备之前与所述气体分离。
用于排空来自处理腐蚀性流出气体装置

[发明专利]液环泵-CN201680042944.2有效
发明人： G.P.奈特;A.J.西利;G.扬;D.M.普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： F04C19/00 文献下载
摘要：使用液环泵来泵送多种流体类型。腐蚀性流体容易由工作流体处置，但是可能导致泵送机构的腐蚀。本发明提供一种具有耐腐蚀泵送机构的磁性驱动的液环泵，其在服务间隔之间实现较长时间。
液环泵

[发明专利]等离子体反应器-CN201210392266.6有效
发明人： G.P.奈特;A.钱伯斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2008-07-14 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：等离子体反应器包括反应室和连接到反应室的入口头。入口头包括连接到反应室的开口端，位于与开口端相对的等离子体入口，从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面，和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气体入口。等离子炬通过等离子体入口将等离子体物流注入到反应室中，所述等离子体入口被成形为使得等离子体物流朝着第一和第二气体入口向外散布。入口头和等离子体入口的这种成形能够使得等离子体物流可以撞击到气体物流上，当它们从气体入口离开时，并且由此引起相当大比例的气体物流的至少一种组分在气体物流开始在室内混合前进行反应。
等离子体反应器

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