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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有包括抗反射涂层的电介质层的集成电路-CN202080067510.4在审
发明人： P·费尔南德斯;D·M·库伦;S·A·梅斯纳;B·斯里尼瓦桑;G·S·马图尔;S·W·杰森;S·C·张;R·D·菲尔兹;T·T·林奇 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01L21/321 文献下载
摘要：在一些示例中，一种集成电路包括：衬底；位于衬底上方的第一金属层(104)和第二金属层(123)；位于第一金属层上的第一复合电介质层(15)，其中第一复合电介质层包括第一抗反射涂层(108)；位于第二金属层上的第二复合电介质层(35)，其中第二复合电介质层包括第二抗反射涂层(132)；以及设置在第一复合电介质层之上的电容器金属层(114)。
具有包括反射涂层电介质集成电路

[发明专利]堆叠电容器-CN202010913042.X在审
发明人： P·费尔南德斯;Y·邵;G·S·马图尔;J·K·艾瑞诗;P·斯图里克 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L27/06 文献下载
摘要：本申请公开了堆叠电容器。一种集成电路(IC)包括基板(100)和在基板(100)上的第一电容器(C1)。第一电容器具有第一宽度(W1)。在第一电容器(C1)的与基板(100)相对的侧面设置第一介电层(108)。此外，第二电容器(C2)存在于第一介电层(108)的与第一电容器(C1)相对的侧面上。第二电容器(C2)具有小于第一宽度(W1)的第二宽度(D1)。该IC还具有第二介电层(126)和第一金属层(134)。第二介电层(126)位于第二电容器(C2)的与第一介电层(108)相对的侧面上。第一金属层(134)位于第二介电层(126)的与第二电容器(C2)相对的侧面上。
堆叠电容器

[发明专利]用于蚀刻金属互连层的方法-CN202010278389.1在审
发明人： P·费尔南德斯;B·斯里尼瓦桑;S·W·杰森;G·S·马图尔 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本申请公开了用于蚀刻金属互连层的方法。在一些示例中，一种方法(100)包括：获得具有沉积在衬底(402)上方的金属互连层的衬底；在金属互连层(404)上形成第一介电层(406)；在第一介电层上形成第二介电层(408)；在第二介电层上形成电容器金属层；将电容器金属层和第二介电层图案化和蚀刻至第一介电层，以将电容器金属层和第二介电层的部分留在第一介电层上(410)；形成抗反射涂层以覆盖电容器金属层和第二介电层的部分，并覆盖金属互连层(412)；以及图案化金属互连层以形成第一金属层和第二金属层(414)。
用于蚀刻金属互连方法

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共 3 条

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