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[发明专利]包含碱活性组分的组合物及光刻工艺-CN201110462163.8有效
发明人： D·王;刘骢;李明琦;吴俊锡;C-B·徐;D·H·康;C·H·库明斯;M·S·奥伯 -专利权人：罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
申请日： 2011-11-15 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：包含碱活性组分的组合物及光刻工艺。一种加工光致抗蚀剂组合物的方法，所述方法包含：a)在基材上施加光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：(i)一种或多种树脂，(ii)光活性组分，和(iii)一种或多种不同于一种或多种树脂的材料，且包含(A)一种或多种碱活性基团和(B)一种或多种不同于所述碱活性基团的极性基团；和b)将施加的光致抗蚀剂层在辐射中浸没曝光以活化所述光致抗蚀剂组合物。本发明特别优选的光致抗蚀剂在浸没式光刻处理过程中，能够表现为减少了抗蚀剂材料浸出到与抗蚀剂层接触的浸液中。
包含活性组分组合光刻工艺

[发明专利]聚合物及其泡沫材料的交联-CN98809049.X有效
发明人： B·I·查德哈里;T·H·霍;S·V·卡兰德;C－I·考;R·H·特布鲁根;D·A·巴伯;C·H·库明斯;M·J·马林斯;H·C·西尔威斯 -专利权人：陶氏环球技术公司
申请日： 1998-08-26 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： C08K5/43 文献下载
摘要：本发明包括一种方法，包括：(a)形成一种聚合物混合物，其中包含至少一种使用单中心催化剂制备的聚烯烃和至少交联量的至少一种多(磺酰基叠氮化物)交联剂；(b)将所得混合物成型；和(c)将所得成型混合物至少加热至交联剂的分解温度。这些步骤按任何顺序进行，且视需要包括子步骤。单中心催化剂优选受限几何或金属茂催化剂，但视需要可以是非传统Ziegler Natta Ti/MgCl₂催化剂的另一种过渡金属催化剂(如，钒催化剂)。至少一种聚烯烃优选：聚乙烯均聚物；另外还具有至少一种选自含3-20个碳原子的单体的α-烯烃共聚单体的乙烯共聚物；乙烯/α-烯烃/二烯三元聚合物或共聚体；基本上线型乙烯聚合物；或其混合形式。至少一种聚烯烃的分子量分布优选低于约3.5，更优选所用的聚烯烃都具有该MWD。该聚合物混合物优选这样一种共混物，其中包含至少约5％重量的至少一种使用单中心催化剂制备的聚烯烃，和因具有不同密度、不同分子量、不同聚合反应催化剂、不同化学组成或其组合而不同于该聚烯烃的至少一种其它聚合物。本发明还包括通过本发明方法得到的所有组合物以及由这些组合物制成的制品。这些制品优选由本发明任何组合物热成型、注塑、挤塑、铸塑、吹塑、吹胀、型材挤塑、纺丝、发泡或模塑制成。本发明包括本发明任何组合物在热成型、注塑、挤塑、铸塑、吹塑、纺丝、吹胀、型材挤塑、发泡、压塑或其组合形式的任何工艺中的应用。
聚合物及其泡沫材料交联

[发明专利]流变改性用金属茂制备的聚合物-CN98809434.7有效
发明人： T·H·霍;W·D·霍尼格;C－I·考;M·E·罗兰;C·H·库明斯;M·J·马林斯;H·C·西尔威斯 -专利权人：陶氏环球技术公司
申请日： 1998-08-26 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： C08K5/43 文献下载
摘要：本发明包括一种制备偶联聚合物的方法，其包括加热1)至少一种含乙烯和至少一种选自具有至少3个碳原子的α-烯烃、二烯烃的共聚单体的聚烯烃与(2)偶联量的至少一种多(磺酰基叠氮化物)的掺混物。该聚烯烃为乙烯与至少一种α-烯烃在单点催化剂(过渡金属如V或Cr金属茂或束缚几何催化剂)存在下聚合产品。
流变改性金属制备聚合物

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