专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于确定衬底上的涂层的屏障效应的方法和装置-CN201580017034.4有效
  • A.诺伊费尔 - 卡尔蔡司光学国际有限公司
  • 2015-09-18 - 2019-07-16 - H01L21/66
  • 本发明涉及一种针对介质(17)确定涂层(4)的屏障效应的方法,该方法的特征在于以下步骤:a)提供衬底(1),该衬底在其表面上具有该涂层(4),所述衬底在接触该介质(17)时经历体积变化;b)对具有该涂层(4)的该衬底(1)进行调节处理;c)从该衬底(1)的该表面(6)的第一部分中去除该涂层(4),将该涂层(4)留在该衬底(1)的该表面的第二部分上,该表面(6)的该第一部分在由保留在该表面的该第二部分上的该涂层(4)界定的第一方向上具有延伸物;d)在该第一方向上的路径上确定该涂层(4)的表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上的第一高度轮廓;e)将该保留的涂层(4)的该表面和该衬底(1)的该表面(6)的该第一部分暴露至该介质(17);f)在该第一方向上的该路径上确定该涂层(4)的该表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上的第二高度轮廓,和/或在该第一方向上的该路径上确定该涂层(4)的该表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上关于该之前确定的高度轮廓的第一高度轮廓差。
  • 用于确定衬底涂层屏障效应方法装置

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