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- [发明专利]TEM的无失真消像散-CN201210107945.4有效
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M.比肖夫;A.亨斯特拉;U.吕肯;P.C.蒂梅杰
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FEI公司
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2012-04-13
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2012-10-17
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H01J37/153
- 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置,该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源(202),在所述束的下游跟随有聚光器光学器件(208)、跟随有样本位置、跟随有物镜(214)、跟随有成像光学器件(216)并且跟随有检测器系统(218,224),其中在物镜与检测器系统之间,第一消像散器(250)被定位用于在将样本(210)成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器(252)被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散,其特征在于第三消像散器(254)定位于物镜与检测器系统之间,因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
- tem失真消像散
- [发明专利]带有集成静电能量过滤器的带电粒子源-CN201110354511.X有效
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A.亨斯特拉
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FEI公司
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2011-11-10
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2012-05-23
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H01J37/05
- 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴,且因此使用具有难以制造的形式的部件,根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是,本发明者发现,倘若电极(114,116,120,122)中的一些形成为120°/60°/120°/60°,很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远,示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散,而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此,且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
- 带有集成静电能量过滤器带电粒子
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