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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于晶片检验临界区域的产生的方法及系统-CN202310673613.0在审
发明人： P·俄珀鲁里;R·马内帕利;A·V·库尔卡尼;S·巴纳吉;J·柯克兰 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请的实施例涉及晶片检验临界区域的产生的方法及系统。本发明揭示一种方法，其包含：接收一或多组晶片数据；从所述一或多组晶片数据中的一或多个层中的一或多个形状识别一或多个基元；将所述一或多个基元中的每一者分类为特定基元类型；识别所述一或多个基元中的每一者的一或多个基元特性；产生所述一或多个基元的基元数据库；基于所述基元数据库来产生一或多个规则；接收一或多组设计数据；将所述一或多个规则应用于所述一或多组设计数据以识别一或多个临界区域；及产生用于检验子系统的包含所述一或多个临界区域的一或多个晶片检验方案。
用于晶片检验临界区域产生方法系统

[发明专利]用于晶片检验临界区域的产生的方法及系统-CN201780068638.0有效
发明人： P·俄珀鲁里;R·马内帕利;A·V·库尔卡尼;S·巴纳吉;J·柯克兰 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示一种方法，其包含：接收一或多组晶片数据；从所述一或多组晶片数据中的一或多个层中的一或多个形状识别一或多个基元；将所述一或多个基元中的每一者分类为特定基元类型；识别所述一或多个基元中的每一者的一或多个基元特性；产生所述一或多个基元的基元数据库；基于所述基元数据库来产生一或多个规则；接收一或多组设计数据；将所述一或多个规则应用于所述一或多组设计数据以识别一或多个临界区域；及产生用于检验子系统的包含所述一或多个临界区域的一或多个晶片检验方案。
用于晶片检验临界区域产生方法系统

[发明专利]基于图像的样品过程控制-CN201780005676.1有效
发明人： A·帕克;高理升;A·V·库尔卡尼;S·巴纳吉;P·谷;S·龙;K·巴哈斯卡尔 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。
基于图像样品过程控制

[发明专利]为样品产生模拟输出-CN201780006207.1有效
发明人： K·巴哈斯卡尔;张晶;G·H·陈;A·V·库尔卡尼;L·卡尔森迪 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供用于为样品产生模拟输出的方法及系统。一种方法包含使用一或多个计算机系统获取针对样品的信息。所述信息包含所述样品的实际光学图像、所述样品的实际电子束图像及针对所述样品的设计数据中的至少一者。所述方法还包含将针对所述样品的所述信息输入到基于学习的模型中。所述基于学习的模型包含于由一或多个计算机系统执行的一或多个组件中。所述基于学习的模型经配置以映射光学图像、电子束图像与设计数据之间的三角关系，且所述基于学习的模型将所述三角关系应用到所述输入以借此为所述样品产生模拟图像。
样品产生模拟输出

[发明专利]基于形状的分组-CN201680075236.9有效
发明人： S·巴纳吉;A·V·库尔卡尼;J·萨拉斯沃图拉;S·巴塔查里亚 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：形状基元用于半导体晶片或其它工件的检验。所述形状基元能够界定设计的局部拓朴及几何性质。一或多个规则应用到所述形状基元。所述规则能够指示缺陷的存在或缺陷存在的可能性。规则执行引擎能够搜索由所述至少一个规则涵盖的所述形状基元的出现。
基元半导体晶片分组形状规则应用规则执行几何性质界定引擎搜索涵盖检验

[发明专利]使用具有晶片图像数据的设计数据改进半导体晶片检验器的缺陷敏感度-CN201780006190.X有效
发明人： B·布劳尔;S·巴塔查里亚;S·巴纳吉;A·V·库尔卡尼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：可基于背景码来确定经检测缺陷的关键性。可针对其每一者可为裸片的部分的区来产生所述背景码。可使用噪声电平来将背景码分组。可使用所述背景码对存在于裸片上的一系列设计背景进行自动分类而无需特定先验信息。
裸片半导体晶片检验缺陷敏感度晶片图像设计数据先验信息噪声电平自动分类分组检测改进

[发明专利]减少配准及设计附近所引发的裸片内检验的噪声-CN201680070964.0有效
发明人： S·巴纳吉;A·V·库尔卡尼;吕劭宇 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：减少裸片内检验中由所关注图案POI图像配准及POI附近设计图案所引发的噪声。通过接近配准目标的共现将POI分组成若干对准群组。使用接近配准目标的所述共现来配准所述对准群组。执行通过表决进行配准，此可测量所述所关注图案中的每一者是离群值的程度。将POI分组成具有相同附近设计效应的至少一个附近群组。
配准群组裸片噪声对准图案分组设计图案可测量检验表决

[发明专利]对于关注图案图像群体的异常检测-CN201680021409.9有效
发明人： S·巴纳吉;A·V·库尔卡尼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了用于识别关注图案POI的多个例项中的异常的方法和系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，所述计算机子系统被配置用于获取由成像子系统在形成于样品上的裸片内的POI的多个例项处所产生的图像。所述多个例项包含定位在所述裸片内的非周期性位置处的两个或更多个例项。所述计算机子系统还被配置用于确定在所述POI的所述多个例项处所产生的所述图像中的每一个的特征。另外，所述计算机子系统被配置用于基于所述所确定特征来识别所述POI的所述多个例项中的一或多个异常。
计算机子系统裸片配置图像成像子系统非周期性图案图像异常检测位置处图案群体

[发明专利]使用高分辨率全裸片图像数据进行检验-CN201580026943.4有效
发明人： A·V·库尔卡尼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-05-11 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。
使用高分辨率全裸片图像数据进行检验

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