专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]形成微电子装置的方法及相关微电子装置和电子系统-CN202180016109.2在审
  • 赵博;N·M·洛梅利;徐丽芳;A·L·奥尔森 - 美光科技公司
  • 2021-02-10 - 2022-12-02 - H01L27/11551
  • 一种微电子装置包括具有存储器阵列区和阶梯区的微电子装置结构。所述微电子装置结构包括:具有层的堆叠结构,每个层包括导电结构和绝缘结构;阶梯结构,其限制在所述阶梯区内且具有台阶,所述台阶包括所述堆叠结构中处于所述叠组和所述额外叠组内的所述层的边缘;及半导电导柱结构,其限制在所述存储器阵列区内且延伸穿过所述堆叠结构。所述堆叠结构包括:叠组,其包括一组所述层;额外叠组,其上覆于所述叠组且包括额外一组所述层;及叠组间区段,其处于所述叠组和所述额外叠组之间且包括限制在所述存储器阵列区内的介电结构及处于所述介电结构的竖直边界内且限制在所述阶梯区内的另一组所述层。
  • 形成微电子装置方法相关电子系统
  • [发明专利]形成阶梯结构的方法以及相关阶梯结构和半导体装置结构-CN201880083727.7有效
  • L·威廉森;A·L·奥尔森;K·贾殷;R·登比;W·R·布朗 - 美光科技公司
  • 2018-12-14 - 2021-10-26 - H01L21/768
  • 本申请涉及形成阶梯结构的方法以及相关阶梯结构和半导体装置结构。所述方法包括在分层之上形成经过图案化的硬掩模。去除最上部分层的暴露部分以形成最上部阶梯。在所述经过图案化的硬掩模和所述最上部分层之上形成第一内衬材料,并且去除所述第一内衬材料的一部分以形成第一内衬并且暴露下面的分层。去除所述下面的分层的暴露部分以在所述下面的分层中形成下面的阶梯。在所述经过图案化的硬掩模、所述第一内衬和所述第二内衬之上形成第二内衬材料。去除所述第二内衬材料的一部分以形成第二内衬并且暴露另一个下面的分层。去除所述另一个下面的分层的暴露部分以形成另一个下面的阶梯。去除所述经过图案化的硬掩模。还公开了阶梯结构和半导体装置结构。
  • 形成阶梯结构方法以及相关半导体装置

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