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[发明专利]化学机械研磨方法及晶片清洗方法-CN200710094545.3有效
发明人：李健;李福洪 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了化学机械研磨方法，包括步骤：将待研磨晶片放置于化学机械研磨设备中，且所述晶片上已形成介质层、位于所述介质层内的通孔开口、以及位于所述通孔开口内及所述介质层上的金属层；对所述晶片进行第一研磨，令所述晶片表面露出所述介质层，在所述通孔开口内形成金属结构；对所述晶片进行第二研磨，令所述通孔开口内的金属结构高于所述介质层；将去离子水与氢氟酸相混合，形成浓度在0.03％至0.08％之间的氢氟酸溶液；利用所述氢氟酸溶液清洗研磨后的晶片。本发明还对应公开了研磨后的晶片清洗方法，采用本发明的机械研磨方法及晶片清洗方法，可以有效减少研磨金属层后晶片表面的颗粒缺陷数。
化学机械研磨方法晶片清洗

[发明专利]化学机械研磨的方法-CN200710094522.2无效
发明人： 李福洪;李艳红 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：一种化学机械研磨的方法，包括下述步骤：提供半导体基底，所述半导体基底上具有介质层和金属层，所述介质层中具有开口，所述金属层填满所述开口并覆盖所述介质层，所述金属层和介质层之间具有阻挡层；用研磨剂进行第一阶段研磨，去除所述介质层的开口外的部分金属层；加入第一抑制剂进行第二阶段研磨，去除所述介质层的开口外的余下金属层。本发明公开的化学机械研磨的方法可以降低研磨过程中造成的盘状凹陷与磨蚀。
化学机械研磨方法

[发明专利]化学机械研磨设备及化学机械研磨方法-CN200710044816.4有效
发明人： 李福洪 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-08-09 - 公布日： 2009-02-11 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械研磨设备，包括外壳、转台、研磨垫、冲洗装置和主控机，还包括保湿装置，所述保湿装置具有与去离子水管相连的送水管，所述送水管围绕所述外壳的内上沿安装，其具有控制其处于开启或关闭状态的开关，且所述送水管在面向所述转台周边的侧壁上开有复数个开口。本发明还公开了相应的化学机械研磨方法，采用本发明的化学机械研磨设备及化学机械研磨方法，可以在停止研磨后，对设备转台的周边进行保湿处理，减少了飞溅的研磨液干燥后在衬底表面造成的擦痕。
化学机械研磨设备方法

[发明专利]铜化学机械研磨的方法-CN200710044342.3有效
发明人：贾丽丽;李福洪 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-07-27 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：一种铜化学机械研磨的方法，用于平坦化半导体基底上的铜金属层，包括，执行第一阶段的研磨去除半导体基底上的铜金属层；执行第二阶段的研磨，移除所述铜金属层下的阻挡层；该第二阶段研磨包括如下步骤：用研磨剂进行主研磨；完成主研磨后，用腐蚀抑制剂进行研磨；用去离子水进行研磨、冲洗。该方法能够减小或消除在研磨中对铜的腐蚀。
化学机械研磨方法

[发明专利]晶片平坦度测量点分布方法-CN200710037779.4有效
发明人：张斐尧;李福洪;江思明;姚宇 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-02-27 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片平坦度测量点分布方法，包括：测量所述晶片的半径R；将所述半径划分为特定数目的等份；以所述各等份为半径确定各同心圆；以数量递增的方式将所述测量点布置于所述各同心圆的圆周上。本发明能够提高测量点在晶片表面的分布均匀性，以非常小的边缘排除量进行平坦度的测量，更加全面客观地反应晶片表面形态。
晶片平坦测量分布方法

[发明专利]化学机械研磨后残留物的去除方法-CN200610119134.0有效
发明人：张斐尧;李福洪;杜应提;薛景星 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-12-05 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：一种化学机械研磨后残留物的去除方法，包括：提供一半导体晶片；用含有氧化剂和研磨剂的研磨液对所述半导体晶片表面进行化学机械研磨；用酸性溶液对所述半导体晶片表面进行清洗。该方法能够去除研磨后的污染物残留。
化学机械研磨残留物去除方法

[发明专利]一种化学机械抛光设备的抛光头的清洗装置-CN200510111388.3无效
发明人：李强;李福洪;姚宇;李宁 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2005-12-12 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： B24B55/00 文献下载
摘要：本发明公开一种化学机械抛光设备的抛光头的清洗装置，包括清洗剂供给设施、支架和支架喷嘴；还包括抛光头间隙清洗喷嘴；该间隙清洗喷嘴喷出的清洗剂的喷射方向对准抛光头的定位环和膜层之间的间隙。优选地，该清洗装置还包括挠性连接器件，其一端连接该间隙清洗喷嘴，另一端连接至支架或清洗剂供给设施。本发明能够有效地对化学机械抛光设备的抛光头的间隙处残留的颗粒进行清洗。
一种化学机械抛光设备抛光清洗装置

[发明专利]隐形竹节丝光棉毛牛仔面料的制备方法-CN200610097938.5有效
发明人：李国良;殷凤才;诸伟;李江勇;李福洪 -专利权人：李国良
申请日： 2006-11-21 - 公布日： 2007-05-16 - 主分类号： D03D15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种隐形竹节丝光棉毛牛仔面料的制备方法，它是用6.7SB的隐形竹节纱作经纱，7.5S的棉毛混纺纱作纬纱，经纱经球经、束状浆染、穿综后与纬纱织造，再经烧毛、退浆、烘干、丝光、水洗和后整理而成。所述隐形竹节纱是棉纱，其竹节倍率在1.5倍以下，纬纱中棉30％、毛70％，面料中棉75.8％，毛24.2％。经纱的束状浆染的具体工艺流程为：隐形竹节纱经球经轴球经后，依次先进入两只精炼槽精炼和进入两只水洗槽水洗，再进入七槽染色及32辊高空透风氧化和进入三槽水洗，最后进入一槽柔软处理，经烘干、色纱落桶、分经轴、上浆、烘干、分绞后卷绕成织轴。本发明方法可织性好，面料色泽效果好。
隐形竹节丝光棉毛牛仔面料制备方法

[发明专利]金属弹力超大循环多种纤维牛仔面料的制备方法-CN200610097937.0有效
发明人：李国良;殷凤才;诸伟;李江勇;李福洪 -专利权人：李国良
申请日： 2006-11-21 - 公布日： 2007-05-16 - 主分类号： D03D15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属弹力超大循环多种纤维牛仔面料的制备方法，它是用7^SB竹节纱+8^SB竹节纱+10^SB平纱作经纱，用10^S+30^D氨纶+450^D纱+70^D氨纶+金属丝作纬纱，经纱经球经、束状浆染后与纬纱织造，再经后整理而成，使织物组织形成一个金属弹力牛仔布和全棉弹力牛仔布间隔布置的超大循环，分别对应牛仔裤的上半段胯和腿的部位，所述纬纱的纬向排列为：10^S+30^D/1970根，450^D+70^D+金属丝/990根；所述经纱的束状浆染的具体工艺流程为：经纱经球经轴球经后，依次先进入精炼槽精炼和进入二槽水洗，再进入七槽染色及32辊高空透风氧化和进入三槽水洗，最后进入一槽柔软处理，再经烘干、色纱落桶、分经轴、上浆、烘干、分绞后卷绕成织轴。本发明方法可织性好，面料色泽效果好。
金属弹力超大循环多种纤维牛仔面料制备方法

[实用新型]一种螺纹件防盗装置及与其配合使用的拆卸工具-CN200420047970.9无效
发明人：李福山;吴维库;冯德江;李福洪;李福东 -专利权人：李福山
申请日： 2004-04-09 - 公布日： 2005-11-23 - 主分类号： F16B41/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种螺纹件防盗装置，该装置具有一个螺栓，在螺栓的螺栓头上部有一个拆装部，拆装部的中心与螺栓的轴向中心偏离，该防盗装置还具有一个外套，外套的内径大于螺栓头的最大直径，外套的底部具有一个向内延伸的凸缘，凸缘的内径大于螺栓螺杆的外径。本实用新型还提供了一种与螺纹件防盗装置配合使用的拆卸工具，其具有一个工具主体，工具主体的外径小于外套的内径，在工具主体的下部具有一个拆卸部，拆装部的中心与螺母的轴向中心偏离。本实用新型可防止盗窃分子用普通扳手、管钳等工具拧开螺母(或螺栓)盗窃国家财产。
一种螺纹防盗装置与其配合使用拆卸工具

[实用新型]减速箱轴瓦防盗密封端盖-CN200420063249.9无效
发明人：李福山;赵吉安;吴维库;冯德江;李福洪;李福东 -专利权人：李福山
申请日： 2004-08-09 - 公布日： 2005-08-24 - 主分类号： F16H57/00 文献下载
摘要：一种减速箱轴瓦防盗密封端盖，具有端盖法兰和压紧凸环，端盖法兰和压紧凸环构成一体，在端盖法兰上开有多个用于将所说端盖与减速箱体连接的固定孔，端盖由对开的上半圆环和下半圆环组成，上半圆环与下半圆环由防盗螺栓连接。由此构成用于减速箱轴瓦的对开式防盗密封端盖。本实用新型设计合理，结构简单，安装和检修方便，可以不停机和拆机而更换静挡油密封圈和密封端盖，且密封效果好，从而避免了减速箱内因缺润滑油而导致齿轮磨损加快，或烧毁轴承的严重故障发生，而且能大大的减轻检修人员的劳动强度，节约润滑油。
减速轴瓦防盗密封

[实用新型]一种用于固定传动轮和传动轴的固定装置-CN200420047971.3无效
发明人：李福山;吴维库;冯德江;李福洪;李福东 -专利权人：李福山
申请日： 2004-04-09 - 公布日： 2005-03-30 - 主分类号： F16B21/10 文献下载
摘要：一种固定装置，包括：一在传动轮体上开设的内锥孔，在内锥孔直径较大的一端的传动轮体的端面上开有至少两个螺纹孔；一安装在内锥孔和传动轴之间的锥形套筒；一在套筒上开有一沿其整个轴向长度的通长开口；一安装在套筒上具有较大外锥孔直径一端的端面上的压环，在压环上开有至少两个用于拆卸的与传动轮体较大直径的端面相适应的内螺纹孔，在压环上开有至少两个用于螺栓通过的与外锥形套筒直径较大一端的端面上的内螺纹孔相配合的螺栓孔。本实用新型具有拆卸方便，以及对设备和部件无损伤的特点。
一种用于固定传动传动轴装置

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