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[实用新型]一种表面高反薄板材厚度测量装置-CN201320485952.8有效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种表面高反薄板材厚度测量装置，包括钢架底座、平台、工件承载台、X轴、横梁、上接触式测头、Z轴、Y轴、下接触式测头和下测头安装座，所述的平台设在钢架底座上，工件承载台设在平台上，Y轴固定在工件承载台与平台之间，横梁固定在平台上、与Y轴运动方向相互垂直，X轴固定在横梁上，Z轴及其动板设在横梁的上横条上，上接触式测头固定在Z轴动板上，下接触式测头通过下测头安装座固定在横梁的下横条上。本实用新型专为薄板材厚度测量而设计，结构简单，操作方便，性价比高，为半导体、太阳能、光学玻璃等行业中材料表面具有高亮度反光特性的高端产品厚度测量提供优化解决方法。
一种表面薄板厚度测量装置

[实用新型]一种立式晶圆形状测量仪-CN201320485948.1有效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种立式晶圆形状测量仪，包括调整垫脚；底座，所述的底座设在调整垫脚上；平台，所述的平台设在底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测头，所述的接触式测头固定在Z轴动板上。本实用新型采用独特的接触式测头和固定横梁式布局方式，采用精密伺服控制的直线轴和旋转轴，实现晶圆平面度和厚度等形状参数自动测量。
一种立式圆形测量仪

[实用新型]一种研磨棒形状测量用精密旋转轴-CN201320485949.6有效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G01B21/10 文献下载
摘要：一种研磨棒形状测量用精密旋转轴，内部结构采用模块化设计方法设计，包括安装底座模块、驱动模块和研磨棒夹持模块。本实用新型解决了传统研磨棒检测方法过程中采用手拿或采取V型支撑夹持等方式装夹研磨棒在测量过程中存在的颤动或抖动而影响测量精度的问题，确保了研磨棒在测量过程中夹持牢靠、运动精度高，无任何颤动或抖动，避免人为干扰，为在同一台研磨棒测量设备中实现圆度、直径等形状参数的精密测量提供可能，相比于传统方法，该精密旋转轴可实现测量过程无人工干预，并始终确保针对同一个规格研磨棒夹持的接触力，确保测量过程对研磨棒自身无损伤，为研磨棒全自动测量提供了专业夹持装置的可行性解决方案。
一种研磨形状测量精密旋转轴

[发明专利]一种五轴刀具磨床-CN201310345955.6无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： B24B3/60 文献下载
摘要：一种五轴刀具磨床，包括钢架底座、过滤水箱、平台、X轴、精密旋转轴、刀具棒料支撑架、Y轴、主轴、砂轮组、旋转轴、立柱、Z轴、棒料远端支撑模块和喷嘴。本发明所采用的精密旋转轴相比于国外同类产品大多采用伺服电机驱动、蜗轮蜗杆传动等技术的现状，该旋转轴采用直接驱动式电机驱动，且不需要中间传动环节，具有更高的运动速度；尤其不需要中间传动环节来传递运动，完全消除了蜗轮蜗杆等传动机构所产生的回转间隙，具有高速旋转、防水密封、刀具棒料自动夹持等功能和高精度、结构紧凑、模块化等技术特点，为刀具的精密加工提供了一种综合优化解决方案。
一种刀具磨床

[发明专利]一种刀具形状测量装置-CN201310345958.X有效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种刀具形状测量装置，包括直线轴、底板、安装底座、精密旋转轴、光学镜头、CCD相机和二维调节平台，直线轴安装在底板上，所述的精密旋转轴安装在直线轴上，刀具被精密旋转轴夹住，所述的光学镜头和CCD相机位于刀具正上方，二维调节平台位于刀具的下方、通过安装底座固定在底板上。本发明确保了夹持刀具在测量过程中夹持牢靠、运动精度高的工作稳定性，相比于传动采用人工抓取刀具进行测量的原始方法，本发明可实现测量过程无人工干预，并始终确保针对同一个规格刀具夹持的接触力，确保测量过程对刀具自身无损伤，完全避免了人为因素导致测量精度难以提高的问题，为实现刀具形状自动化测量提供了方案。
一种刀具形状测量装置

[发明专利]一种表面高反薄板材厚度测量装置-CN201310345965.X无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种表面高反薄板材厚度测量装置，包括钢架底座、平台、工件承载台、X轴、横梁、上接触式测头、Z轴、Y轴、下接触式测头和下测头安装座，所述的平台设在钢架底座上，工件承载台设在平台上，Y轴固定在工件承载台与平台之间，横梁固定在平台上、与Y轴运动方向相互垂直，X轴固定在横梁上，Z轴及其动板设在横梁的上横条上，上接触式测头固定在Z轴动板上，下接触式测头通过下测头安装座固定在横梁的下横条上。本发明专为薄板材厚度测量而设计，结构简单，操作方便，性价比高，为半导体、太阳能、光学玻璃等行业中材料表面具有高亮度反光特性的高端产品厚度测量提供优化解决方法。
一种表面薄板厚度测量装置

[发明专利]一种研磨棒直径测量用精密装夹装置-CN201310345967.9无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01B21/10 文献下载
摘要：一种研磨棒直径测量用精密装夹装置，其内部结构采用模块化设计方法设计，包括安装底座模块和研磨棒夹持模块，本发明公开的研磨棒直径测量用精密装夹装置，解决了传统研磨棒检测方法过程中采用手拿或采取V型支撑夹持等方式装夹研磨棒在测量过程中存在的颤动或抖动而影响测量精度的问题，确保了研磨棒在测量过程中夹持牢靠、运动精度高，无任何颤动或抖动，避免人为干扰，为在同一台研磨棒测量设备中实现圆度、直径等形状参数的精密测量提供可能，相比于传统方法，该精密旋转轴可实现测量过程无人工干预，并始终确保针对同一个规格研磨棒夹持的接触力，确保测量过程对研磨棒自身无损伤，为研磨棒全自动测量提供了专业夹持装置的可行性解决方案。
一种研磨直径测量精密装置

[发明专利]一种表面高反薄板材厚度测量仪-CN201310345963.0无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：一种表面高反薄板材厚度测量仪，包括调整垫脚、钢架底座、平台、固定横梁、工件承载台、Y轴、X轴、Z轴、上接触式测头和下接触式测头。本发明专为薄板材厚度测量而设计，结构简单，操作方便，性价比高，为半导体、太阳能、光学玻璃等行业中材料表面具有高亮度反光特性的高端产品厚度测量提供优化解决方法。
一种表面薄板厚度测量仪

[发明专利]一种薄板形状测量用装夹装置-CN201310345959.4无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：一种薄板形状测量用装夹装置，包括装置主体，所述的装置主体包括型材架、型材架固定件和型材架角连接件；所述的型材架由若干根型材连接构成长方体；导轨，所述的导轨固定在前后方向的型材上；滑块，所述的两个滑块设在导轨上；压块，所述的压块固定在前后同向的各两个滑块上；气缸，所述的气缸通过压块底部的气缸固定座安装在压块上，气缸在同一压块上前后各分布两个；滑杆，所述的滑杆安装在压块内表面。本发明由于是通过将薄板悬空平整地展开，无需大面积接触式支撑，最大限度地避免大面积支撑造成对薄板表面的损伤，为提高薄板平面度、厚度等形状特征测量提供专业装夹技术基础。
一种薄板形状测量用装夹装置

[发明专利]一种大幅面精密薄板厚度接触式测量流水线装置-CN201310345962.6无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：一种大幅面精密薄板厚度接触式测量流水线装置，包括进料区、测量装置和出料区，进料区位于测量装置的前端，出料区位于测量装置的后端，进料区由U型钢架底座、宽同步带、传动轴、轴承座、调整垫脚搭建进料平台，并通过中同步带与测量装置的传动轴相连；出料平台同样由U型钢架底座、宽同步带、传动轴、轴承座、调整垫脚搭建而成，通过另一根中同步带与测量装置的传动轴相连，本发明公开了一种大幅面精密薄板厚度接触式测量流水线装置，解决了以往测量设备因在测量过程人工操作导致对薄板自身造成损伤、单测量工位导致测量效率低、难以判断整张幅面薄板厚度均匀性、采用非接触式光学测量导致测量精度极易受材料表面微观结构影响等技术问题。
一种大幅面精密薄板厚度接触测量流水线装置

[发明专利]一种具有复合测量功能的自动薄板测量装置-CN201310345973.4无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种具有复合测量功能的自动薄板测量装置，包括测量平台，所述的测量平台包括调整垫脚、平台、工控机和固定横梁；所述的工控机设在调整垫脚上；所述的平台设在工控机上；所述的固定横梁设在平台上；安装座，所述的安装座设在固定横梁上；Z轴，所述的Z轴及Z轴动板安装在安装座的上横条上；Y轴，所述的Y轴及Y轴动板安装在平台上；X轴，所述的X轴固定在固定横梁上、与Y轴运动方向相互垂直；上测头，所述的上测头安装在Z轴动板上；下测头，所述的下测头通过安装座固定在安装座的下横条上；薄板承载台，所述的薄板承载台固定在Y轴动板上。本发明进一步提高了测量精度和测量效率，为薄板平面度、厚度等精密测量提供了优化解决方案。
一种具有复合测量功能自动薄板装置

[发明专利]一种研磨棒形状测量用精密旋转轴-CN201310345957.5无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01B21/10 文献下载
摘要：一种研磨棒形状测量用精密旋转轴，内部结构采用模块化设计方法设计，包括安装底座模块、驱动模块和研磨棒夹持模块。本发明解决了传统研磨棒检测方法过程中采用手拿或采取V型支撑夹持等方式装夹研磨棒在测量过程中存在的颤动或抖动而影响测量精度的问题，确保了研磨棒在测量过程中夹持牢靠、运动精度高，无任何颤动或抖动，避免人为干扰，为在同一台研磨棒测量设备中实现圆度、直径等形状参数的精密测量提供可能，相比于传统方法，该精密旋转轴可实现测量过程无人工干预，并始终确保针对同一个规格研磨棒夹持的接触力，确保测量过程对研磨棒自身无损伤，为研磨棒全自动测量提供了专业夹持装置的可行性解决方案。
一种研磨形状测量精密旋转轴

[发明专利]一种大幅面精密薄板厚度接触式测量装置-CN201310345961.1无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：一种大幅面精密薄板厚度接触式测量装置，包括底座，所述的底座由钢架底座和调整垫脚组成；平台，所述的平台设在底座的上方；支撑座，所述的支撑座设在平台的两侧；固定横梁，所述的固定横梁设在支撑座上；传动轴，所述的传动轴由轴承座支撑并固定在平台上；上测头，所述的上测头安装于固定横梁的内侧面；下测头，所述的下测头通过下测头安装底座安装在上测头的正下方；滚轮，所述的滚轮通过滚轮安装座和调整座安装在固定横梁外侧；托板，所述的托板通过托板支撑座固定在平台上；同步带，所述的同步带贴合托板且位于每个测头测量工位之间。本发明结构精巧、测量精度高、测量效率高，增加测量过程的自动化程度并降低测量设备的成本。
一种大幅面精密薄板厚度接触测量装置

[发明专利]一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置-CN201310345972.X无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置，包括钢架底座；平台，所述的平台设在钢架底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测长装置，所述的接触式测长装置固定在Z轴动板上；平面平晶，所述的平面平晶设在与X轴运动方向平行的横梁上。本发明结构简单、集成度高、功能全面，为晶圆形状参数测量提供了解决方案。
一种补偿误差立式圆形测量装置

[发明专利]一种立式晶圆形状测量仪-CN201310345969.8无效
发明人： 夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种立式晶圆形状测量仪，包括调整垫脚；底座，所述的底座设在调整垫脚上；平台，所述的平台设在底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测头，所述的接触式测头固定在Z轴动板上。本发明采用独特的接触式测头和固定横梁式布局方式，采用精密伺服控制的直线轴和旋转轴，实现晶圆平面度和厚度等形状参数自动测量。
一种立式圆形测量仪