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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]衬底保持板、装置的制造方法以及曝光装置-CN202211315704.9在审
发明人：福井慎次;龙野俊直;秋叶英生;平林敬二 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：一种衬底保持板，其包括第一层以及与第一层形成界面的第二层。所述第一层和所述第二层含有类金刚石碳。所述第一层在一定波长的折射率高于所述第二层在所述波长的折射率。从所述第二层到衬底保持板的最上表面的距离小于所述第一层的厚度。
衬底保持装置制造方法以及曝光

[发明专利]基板保持板和曝光装置-CN202111417544.4在审
发明人：荒井一浩;福井慎次;龙野俊直 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及基板保持板和曝光装置。基板保持板具有基板保持表面。基板保持板包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板。至少突起的最上表面是粗糙表面。基部或突起具有第一部分。突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分。第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内。距离D小于该顶部和与该顶部相邻的底部之间的高度差H。
保持曝光装置

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共 2 条

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