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[发明专利]半导体元件的制造方法-CN201910354383.5在审
发明人： 黄耀陞;孙宏彰;张毅敏;方子韦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：一种半导体元件的制造方法包括以下步骤。在横跨半导体鳍片的第一部分上形成虚设栅极结构。在横跨半导体鳍片的第二部分上形成掺杂的半导体层。在横跨掺杂的半导体层上形成介电层。介电层和掺杂的半导体层之间的界面实质上与半导体鳍片的顶面和侧壁的组合的轮廓共形。使用金属栅极结构替换虚设栅极结构。
半导体鳍片半导体层掺杂的虚设栅极结构横跨介电层金属栅极结构半导体元件侧壁顶面共形替换制造

[发明专利]细胞分选装置及其方法-CN201610255415.2在审
发明人：吴宏伟;陈冠宇;简澧亦;黄耀陞;陈昱夫;邱宸德;洪永瀚 -专利权人：昆山科技大学
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： C12M1/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种细胞分选装置，其包含光激发介电泳芯片和光源模块。光激发介电泳芯片用以对包含第一微粒子和第二微粒子的流体进行分选处理。光激发介电泳芯片包含第一导电层、一第二导电层、半导体层和通道层。半导体层设置于第一导电层上。通道层设置于第二导电层与半导体层之间。通道层定义第一通道、第二通道及第三通道，其分别用以导引流体、第一微粒子和第二微粒子。光源模块用以朝向光激发介电泳芯片投射图案化光源，以导引第一微粒子流向第二通道且导引第二微粒子流向第三通道。本发明的细胞分选装置可分离出不同的微粒子，进而利于后续微粒子的分析。
细胞分选装置及其方法