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[发明专利]霍尔元件以及霍尔元件的制造方法-CN201711145588.X有效
发明人：赤木刚;高桥徹也 -专利权人：旭化成微电子株式会社
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L43/06 文献下载
摘要：本发明提供具有接触部的霍尔元件。本发明提供一种霍尔元件，其中，该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于基板上；绝缘膜，其形成于磁感应部上；以及导电部，其形成于绝缘膜上，该导电部自磁感应部的周边区域向磁感应部的中央区域侧延伸，且贯穿绝缘膜，并与磁感应部电连接，在以经过俯视时的磁感应部的中心和导电部与磁感应部接触的部分的剖面进行观察时，导电部的至少一部分延伸到剖面中的绝缘膜的下部。
霍尔元件以及制造方法

[实用新型]霍尔元件和霍尔传感器-CN201820402840.4有效
发明人：小路智也;高桥徹也 -专利权人：旭化成微电子株式会社
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： H01L43/06 文献下载
摘要：本实用新型提供霍尔元件和霍尔传感器，其能够抑制由电极部与绝缘膜与磁感应部的层叠构造导致的霍尔元件的霍尔输出电压的不均。霍尔元件(100)具有：基板(10)；磁感应部(20)，其形成于基板(10)上；绝缘膜(40)，其形成于磁感应部(20)上；电极部(31～34)，其形成于绝缘膜(40)上；以及接触部(51～54)，其贯穿绝缘膜(40)地使电极部(31～34)与磁感应部(20)电连接，在霍尔元件(100)中，由接触部(51～54)包围的区域整体包含于磁感应部(20)的区域内，将电极部(31～34)的以分别相对应的接触部(51～54)为基点延伸的区域在由接触部(51～54)包围的区域所形成的四边形中所占的比例设为预定值以下。
磁感应部霍尔元件电极部绝缘膜霍尔传感器基板包围本实用新型层叠构造区域整体输出电压电连接霍尔基点贯穿延伸