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[实用新型]一种增加单晶炉投料量的导流筒-CN201520564085.6有效
发明人：邹凯;贾瑞峰;高兆伍;徐由兵;曾世铭 -专利权人：包头市山晟新能源有限责任公司
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种增加单晶炉投料量的导流筒，包括上部导流筒和设置于所述上部导流筒内的下部导流筒，在所述上部导流筒内开设有上部通孔，所述下部导流筒自所述上部通孔的下端口伸出所述上部导流筒，所述下部导流筒能够在所述上部通孔内沿所述上部通孔的轴线方向移动；所述上部导流筒包括环绕所述上部通孔的上部筒体，所述上部筒体具有上部空腔；在所述下部导流筒内开设有下部通孔，所述下部导流筒包括环绕所述下部通孔的下部筒体，所述下部筒体具有下部空腔；在所述上部空腔和所述下部空腔内均填充有隔热层。本实用新型的导流筒，将原有的单导流筒结构设计成分级结构，增加了单晶炉投料量，延长了导流筒的使用寿命，降低了使用成本。
一种增加单晶炉投料导流

[实用新型]上排气热场单晶炉-CN201520596641.8有效
发明人：徐由兵;曾世铭;高一凡;李英涛;贾瑞峰;邹凯;高兆伍;刘小明;陈家俊 -专利权人：包头市山晟新能源有限责任公司
申请日： 2015-08-07 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种上排气热场单晶炉，所述上排气热场单晶炉包括主炉室、导流筒、石英坩埚、上保温筒和抽空口，所述上保温筒上开设有多个在所述上保温筒的圆周上均匀分布的孔口，经所述孔口形成所述上排气热场单晶炉的上排气通道，所述上排气通道经所述导流筒、所述石英坩埚内的液面、向上经过所述孔口、向下经过所述主炉室的内壁至所述抽空口。本实用新型可提高硅单晶的成品率并降低生产成本。
排气热场单晶炉

[发明专利]一种用于单晶炉的停炉冷却方法-CN201410436075.4无效
发明人：曾世铭;高一凡;刘立中;高兆伍 -专利权人：江苏拜尔特光电设备有限公司
申请日： 2014-08-29 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于单晶炉的停炉冷却方法，该停炉冷却方法的步骤如下：1）在单晶炉拉制单晶结束后，首先停止加热系统供电；2）接着继续通0.5～3小时的氩气并运行真空泵以冷却单晶硅棒；3）关闭真空大阀，将氩气压力充到-0.025MPa后停止通入氩气并关闭真空泵，保压继续冷却2～4.5小时后即可拆炉。本发明通过缩短氩气通入时间、抽真空时间和保压冷却的方式，使得晶棒出炉平均温度和停炉后加热器平均温度比传统方法分别低约80℃和50ºC，制得的单晶硅棒无发脆、隐裂现象，经切片工序加工后无应力硅片，故保证了单晶硅棒的质量并提高了拆炉时的安全性，节约了氩气、电耗并延长真空泵的寿命，操作简单并易于推广应用。
一种用于单晶炉冷却方法