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- [实用新型]一种锅炉的加热装置-CN202321085477.5有效
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马玉;马振兴;林晓菲
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马玉
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2023-05-08
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2023-10-20
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F24H9/00
- 本实用新型属于锅炉技术领域，尤其是一种锅炉的加热装置，针对现有的长时间使用后的锅炉，锅炉的内壁也会产生很多水垢，难以去除，一定程度上影响了锅炉的使用，对水质也造成了一定的污染的缺点问题，现提出如下方案，其包括锅炉本体，三个支撑脚，三个所述支撑脚均固定连接在锅炉本体的底部，三个所述支撑脚之间固定连接有同一个底板，顶板，所述顶板固定连接在锅炉本体顶部的内壁，通过第一除垢组件和第二除垢组件的配合使用，启动电机即可将锅炉本体内壁上的水垢进行定期刷除，有效防止长时间使用的锅炉本体产生大量的水垢难以去除的问题。
- 一种锅炉加热装置
- [实用新型]一种晶圆生产用清洗装置-CN202320824856.5有效
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马振兴
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上海宸积半导体科技有限公司
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2023-04-14
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2023-09-15
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H01L21/687
- 本实用新型涉及半导体加工领域，具体是一种晶圆生产用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱上部安装有喷淋结构，所述喷淋结构底部安装有用于限位固定晶圆坯料的限位结构，所述限位结构包括支撑架以及多对限位夹具，所述支撑架包括两组侧板以及安装板，两组所述安装板的两端分别与两组侧板固定连接，每队限位夹具对应安装在两组安装板上，一对限位夹具用于限位夹持在晶圆坯料的底部，两组所述侧板通过连杆组件与清洗箱侧板对应的滑动块传动连接，本实用新型通过安装在清洗箱上的驱动组件带动两组滑动块异向移动，对支撑架的放置角度进行调整，使得晶圆坯料的两侧均可受到清洗液的冲洗，提高了清洗的效率。
- 一种生产清洗装置
- [实用新型]一种恒温槽自动控制装置-CN202321205105.1有效
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顾敏;吴义刚;马振兴;朱国良;周国栋
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江苏恒誉计量技术有限公司
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2023-05-16
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2023-09-01
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G05D23/20
- 本实用新型提供一种恒温槽自动控制装置，包括放置箱，所述放置箱的顶部固定连接有防护箱，所述放置箱的内腔设置有PLC控制器，所述放置箱的左侧开设有第一通槽，所述放置箱的顶部开设有第二通槽，所述防护箱的底部开设有第三通槽，所述防护箱的顶部活动连接有转杆；本实用新型通过设置转杆，转杆能够带动主动齿轮、从动齿轮和螺纹杆发生旋转，螺纹杆旋转的同时能够带动螺纹套连同夹持块同步产生运动，进而能够实现对PLC控制器进行固定或解锁的效果，解决了恒温槽自动控制装置发生损坏，而对自动控制装置进行维修更换时，需要使用特定的工具对其进行拆卸安装，不仅费时费力，也降低了恒温槽自动控制装置维修更换使用效率的问题。
- 一种恒温槽自动控制装置
- [实用新型]一种自控式恒温装置-CN202321184148.6有效
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顾敏;吴义刚;马振兴;朱国良;周国栋
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江苏恒誉计量技术有限公司
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2023-05-16
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2023-09-01
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F24H1/20
- 本实用新型提供一种自控式恒温装置，包括恒温水箱本体，所述恒温水箱本体的左侧固定连接有预热箱，所述预热箱内腔的底部固定连接有第一电加热板，所述预热箱的内腔连通有第一连通管，所述预热箱的顶部固定连接有水泵，所述第一连通管远离预热箱内腔的一端与水泵的进水口连通，所述水泵的出水口连通有第二连通管，所述第二连通管远离水泵的一端与恒温水箱本体连通，所述恒温水箱本体内腔的底部固定连接有第二电加热板；本实用新型通过设置预热箱和第一电加热板，起到了能够对水进行预热的效果，从而能够有效的保证恒温水箱本体内腔的水温，减少了恒温水箱本体内腔水的加热频率，有效的降低了使用能耗，进而给工作人员的工作带来了便捷。
- 一种自控恒温装置
- [实用新型]一种晶圆硅片用定位装置-CN202320728452.6有效
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马振兴
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上海宸积半导体科技有限公司
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2023-04-06
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2023-08-22
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H01L21/68
- 本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆硅片用定位装置，包括槽体和支撑腿，槽体固定设置在支撑腿上，所述槽体中部固定设置有支板；承载台，与支板远离槽体的一端；定位机构，其安装在槽体内且动力输出端滑动设置在承载台上，定位机构动力输出端可相互接近以对承载台上的硅片进行定位；支板，与槽体一侧固定连接，所述支板上安装有位置调节机构，位置调节机构上安装有加工工具，位置调节机构用于对加工工具进行移动以方便进行硅片加工。本实用新型提供的晶圆硅片用定位装置不仅可以对硅片的四个方位进行定位，有效的避免了硅片加工时产生偏移，而且方便对加工工具进行移动以方便进行硅片加工，操作简单，实用性强。
- 一种硅片定位装置
- [实用新型]一种硅片生产用废料收集装置-CN202320511142.9有效
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马振兴
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上海宸积半导体科技有限公司
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2023-03-15
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2023-08-22
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B01D29/01
- 本实用新型适用于废料处理领域，提供了一种硅片生产用废料收集装置，包括收集箱体，收集箱体底部一转动设置有支撑轮，还包括：分离组件，所述收集箱体顶部为开口式结构，分离组件包括固定连接在收集箱体内且横向设置的过滤板体，过滤板体靠近收集箱体的开口处设置，所述收集箱体侧壁上开设有与过滤板体位置对应的排出口；推料组件，推料组件包括设置在收集箱体开口处两侧且沿收集箱体长度方向设置的驱动件，还包括横向设置在收集箱体顶部的移动架，移动架上朝向收集箱体内的一侧固定连接有与过滤板体相接触的条刷。其有益效果是：预先与废液进行了初步处理，使其掺杂的打磨碎渣分离出去，节省了后续对废液处理的步骤。
- 一种硅片生产废料收集装置
- [实用新型]一种硅片输送架-CN202320665288.9有效
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马振兴
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上海宸积半导体科技有限公司
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2023-03-30
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2023-08-22
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H01L21/677
- 本实用新型涉及半导体生产领域，具体是一种硅片输送架，包括支撑架以及安装板，多组所述安装板沿竖直方向依次安装在支撑架上，所述安装板上设有多组用于固定硅片的固定结构，所述固定结构包括支撑槽、两组夹紧槽以及锁紧件，支撑槽竖直滑动连接在安装板上的连通槽内，两组所述夹紧槽弹性连接在对应驱动柱上，所述驱动柱水平滑动连接在安装板上开设的滑动槽内，本实用新型由支撑槽下降带动两组驱动柱以及夹紧槽向中间移动，对支撑槽内放置的硅片进行夹紧固定，同时支撑槽上的限位柱与安装板上的锁紧件配合，对支撑槽以及夹紧槽进行锁定，且由于夹紧槽与对应驱动柱弹性连接，使得本实用新型可适配不同宽度规格的硅片固定要求。
- 一种硅片输送
- [实用新型]一种晶圆加工用定位装置-CN202320728454.5有效
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马振兴
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上海宸积半导体科技有限公司
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2023-04-06
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2023-08-22
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H01L21/68
- 本实用新型涉及半导体加工领域，具体是一种晶圆加工用定位装置，包括底座、滑动座、安装板以及夹持板，两组所述滑动座滑动连接在底座两侧，并由底座上的驱动件带动镜像移动，两组安装板分别安装在对应滑动座上，并与滑动座弹性连接，夹持板其上设置适配晶圆的卡槽，其底部设置有两组定位柱，两组定位柱定位插入安装板上对应设置的定位孔，并由安装板上设置的锁紧结构进行固定，锁紧结构通过连接件与安装板上的施力件连接，由施力件移动，带动锁紧结构解锁，使得人员可对夹持板进行替换，避免了目前晶圆加工定位装置内的常用的晶圆夹板常通过多组紧固螺栓进行固定安装，在进行拆卸时需要对多组紧固螺栓进行拆卸，操作步骤较为繁琐的问题。
- 一种晶圆加工用定位装置
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