专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种掩模的曝光标定装置及方法-CN202311111047.0在审
  • 张丽丽;杨振;谢稳;马卫民;菅彦斌;和琨;程智;牛志元 - 光科芯图(北京)科技有限公司
  • 2023-08-31 - 2023-10-10 - G03F7/20
  • 本发明涉及光刻技术领域,具体涉及一种掩模的曝光标定装置及方法,应用于光刻机,装置包括光源、准直结构和标准掩模。其中,光源用于产生激光光束,形成标定光路;准直结构沿标定光路设置在光源和对应准直结构的成像位置之间,用于对激光光束进行准直以形成入射至成像位置的准直光束;其中,成像位置用于作为全息掩模的曝光位置;标准掩模对应于准直光束,在第一状态下以第一位姿设置在成像位置上,根据准直光束入射标准掩模之后产生的第一成像结果调节准直结构;其中,基于调节之后的准直结构,全息掩模在第二状态下以第一位姿在成像位置实现曝光,从而完成曝光标定。本发明通过标准掩模实现了曝光标定,从而确保了后续光刻曝光精准度。
  • 一种曝光标定装置方法
  • [发明专利]阈值确定方法、系统、存储介质及终端-CN202010582348.1有效
  • 崔龙;袁德胜;成西锋;林治强;党毅飞;马卫民;游浩泉;李伟超 - 汇纳科技股份有限公司
  • 2020-06-23 - 2023-10-10 - G06N20/10
  • 本发明提供一种阈值确定方法、系统、存储介质及终端;所述方法应用于机器学习中,包括以下步骤:获取包含数据子元素的数据集;计算数据集中两两数据子元素之间的数据相似度;根据数据相似度,搭建相似度直方图;根据相似度直方图,确定阈值范围;本发明提出一种基于非标注数据的阈值确定方法,在实现阈值获取自动化的同时,有效解决了对数据进行标注存在成本过高的问题;保证了精度、效果及稳定性均高于传统经验阈值;在机器学习的目标识别任务中,不仅能够有效降低识别设备首次阈值部署和配置的成本,更可以反向利用各设备间阈值的差异程度,作为同一设备和算法在不同应用环境中受外界因素带来的干扰强弱。
  • 阈值确定方法系统存储介质终端
  • [发明专利]掩模倾斜角度测量装置及曝光设备-CN202311111043.2在审
  • 谢稳;杨振;张丽丽;马卫民 - 光科芯图(北京)科技有限公司
  • 2023-08-31 - 2023-09-29 - G03F1/44
  • 本发明涉及光刻技术领域,公开了一种掩模倾斜角度测量装置及曝光设备,该掩模倾斜角度测量装置包括:光束输出部,用于输出光束;全息掩模,设置在所述光束输出部输出的光束的光路上,所述全息掩模上设有至少两个对称的斜坡;波前探测器,设置在经过所述全息掩模后的光束的光路上,用于测量经过两个所述斜坡的光束的波前;其中,所述斜坡的参数满足以预设倾斜角度经过两个所述斜坡的光束的波前差大于所述波前探测器的测量精度。本发明使用斜坡这一简单的结构,不需要进行套刻和大量复杂的采集计算,通过对波前的观察就能实现对全息掩模角度的测量,因此本发明具有精度高、成本低、操作简单的优点。
  • 倾斜角度测量装置曝光设备
  • [发明专利]自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备-CN202311111061.0在审
  • 何军;盛乃援;马卫民 - 光科芯图(北京)科技有限公司
  • 2023-08-31 - 2023-09-29 - G03F7/20
  • 本发明涉及光刻技术领域,公开了一种自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备。本发明在变形镜对第一光束的相位进行调整得到第二光束之后,首先由波前检测模块检测第二光束的波前图形,然后由图像处理模块基于第二光束的波前图形与预标定的波前图形得到波像差。当波像差不满足预设曝光条件时,不断调整变形镜,直至波像差满足预设曝光条件时,利用第二光束完成曝光。本发明仅通过波前检测模块即可完成波像差的检测工作,结构简单且独立。而且,在波像差补偿的过程中,本方案直接通过图像处理模块调整波前检测模块即可实现对波像差的补偿,其补偿方式简便,且补偿时长短,从而使成像质量和效率提高。
  • 自适应光学系统曝光系统波像差调节方法设备
  • [实用新型]一种离心设备-CN202223400467.4有效
  • 马卫民 - 安徽长华化工有限公司
  • 2022-12-19 - 2023-07-21 - B04B7/02
  • 本实用新型公开了一种离心设备,包括外筒,所述外筒的底部内壁转动连接有转轴,所述转轴的一端固定连接有铰接座,所述外筒的内部设置有内筒,所述内筒的底部固定连接有铰接件,所述铰接座的内壁设置有连接螺栓,所述铰接件通过设置的连接螺栓与铰接座铰接,所述外筒的外壁固定安装有多个合页,所述外筒通过设置的多个合页铰接有密封门。当需要对内筒内的残渣进行清理时,解除对密封门的限制并进行翻转,使密封门打开,之后解除对轴承的限制,在铰接座和铰接件的作用下使内筒向外侧翻转,使内筒保持为水平状态,从而达到便于对内筒内的杂质进行清理的效果,通过拆下连接螺栓可以对内筒进行拆卸,进而达到便于对内筒进行维护更换的效果。
  • 一种离心设备
  • [实用新型]一种沥青乳化剂检测装置-CN202223270078.4有效
  • 丁春阳;黄亚博;马卫民 - 漯河市天龙化工有限公司
  • 2022-12-07 - 2023-07-18 - G01N3/02
  • 本实用新型公开了一种沥青乳化剂检测装置,包括两个支撑架,两个所述支撑架之间固定连接有试验箱,所述试验箱的内部设置有混合机构,所述试验箱的后侧设置有便于对检测过程产生气体进行净化处理的气体处理机构,所述试验箱的壁内均匀设置有若干电热棒,所述试验箱的顶部设置有进料漏斗。有益效果在于:设置了气体处理机构,通过气体处理机构对检测过程产生的气体进行净化处理,防止气体中的部分成分造成人体不适;气体处理机构包括滤板,滤板滑动连接在处理箱的两内壁之间,便于拆卸并对过滤出来的杂质进行处理,保证过滤效果;进料漏斗的内部设置有控制阀,当沥青和乳化剂都加入试验箱后关闭控制阀,防止气体通过进料漏斗散出。
  • 一种沥青乳化剂检测装置
  • [实用新型]一种反应釜加热装置-CN202223141015.9有效
  • 丁春阳;黄亚博;马卫民 - 漯河市天龙化工有限公司
  • 2022-11-25 - 2023-07-18 - B01J19/18
  • 本实用新型公开了一种反应釜加热装置,包括支撑机构和电热棒,所述支撑机构包括两个对称设置的安装板,两个所述安装板之间固定连接有反应釜,所述反应釜的内顶壁开设有环形滑槽,所述反应釜的顶部设置有进料漏斗,所述反应釜的底部设置有导料漏斗,所述导料漏斗的底部固定连接有出料管,所述反应釜的内部设置有搅拌机构。有益效果在于:旋转轴、搅拌杆和竖板内均匀设置有若干电热棒,通过电机以及传动组件间接驱动电热棒转动,增大电热棒产生热量的扩散范围,而且在转动的过程中,扩散方向多样,加热效率高;通过竖板带动电热棒转动,使反应釜内的沥青乳化剂受热更加均匀;设置了传动组件,通过传动组件实现一机多用,提高能源利用率。
  • 一种反应加热装置

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