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[发明专利]无光罩曝光机的动态补正方法及装置-CN202110805925.3在审
发明人：刘大有;简志桦;赖建华;陈世勋;王金源 -专利权人：源台精密科技股份有限公司;青牛科技股份有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种无光罩曝光机的动态补正方法，包括有：依预定的曝光图像制定一关于成像镜组与平台的移动计画；依预定的曝光图像控制数位微反射镜晶片变化其光点阵列；依移动计画驱动成像镜组及平台移动；即时地量测成像镜组与平台的位置，并与移动计画比对；依成像镜组及平台的位置资讯与移动计画的差距即时地控制数位微反射镜晶片变化其光点阵列。本发明更提供一种实施前述方法的无光罩曝光机动态补正装置。
无光曝光动态补正方法装置

[实用新型]雷射剥离装置-CN202121923337.1有效
发明人：王金源 -专利权人：源台精密科技股份有限公司;青牛科技股份有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种雷射剥离装置，包括有一用以输送工件的载台、一可产生雷射光的雷射光源及一量测模组。雷射光源通过一扫描器输出雷射光，此扫描器可调整雷射光输出的焦距以控制焦点位置。量测模组包括有一量测单元及一与扫描器电性连接的控制单元，量测单元至少可用以量测其与工件之间的距离而生成一量测资讯，并传送至控制单元，载台可在量测单元与扫描器之间移动，而控制单元依量测资讯控制扫描器调整雷射光输出的焦距，使雷射光的焦点总是落在工件的表面。本实用新型可在工件被雷射光剥离的前先量测其形状，以使雷射光的焦点准确落在工件上，达到提升良率的功效。
雷射剥离装置