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[发明专利]玻璃层叠体及其制造方法-CN202180067924.1在审
发明人： 青嶋有纪;真下尚洋 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2021-10-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B32B7/022 文献下载
摘要：本发明提供一种玻璃层叠体，其为在玻璃板的表面层叠有500nm以下的厚度较薄的无机层叠膜而成的玻璃层叠体，能够抑制制造时的无机层叠膜的裂纹等外观不良和使用时的灰尘对无机层叠膜的表面的附着。玻璃层叠体(1)，是在玻璃板(10)的表面介由由树脂膜构成的粘接膜(20)层叠有总厚度为90～500nm的无机层叠膜(30)而成的，在无机层叠膜(30)的表面附着比无机层叠膜(30)薄的含碳膜(42R)，无机层叠膜(30)侧的最表面的利用纳米压痕法使用平冲压头在1Hz、28℃的条件下测定的储能弹性模量为50MPa～30GPa，无机层叠膜(30)侧的最表面的利用纳米压痕法使用平冲压头在1Hz、28℃的条件下测定的损耗系数为0.005～0.14。
玻璃层叠及其制造方法

[发明专利]薄膜形成方法-CN200780022302.7无效
发明人：青峰信孝;青嶋有纪;林和志;钉宫敏洋;古保里隆 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2007-06-14 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：在接近大气压的压力气氛的条件下，使用等离子体在基板上形成薄膜时，即使将电极和基板之间的间隙设定得比以往宽，也可以抑制反应气体反应而产生的微粒，且稳定地形成均质的薄膜。通过向旋转中心轴相对于基板平行的圆筒状的旋转电极(12)供给电力，从而在所述旋转电极(12)和基板(S)之间的间隙中生成等离子体，使用生成的等离子体，使所供给的反应气体(G)活化而在基板(S)上形成薄膜时，使旋转电极(12)和基板(S)之间的间隙宽度为2mm～7mm，向旋转电极(12)供给频率为100kHz～1GHz的高频电力。
薄膜形成方法