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[发明专利]激光处理系统，载物件和激光处理方法-CN201110084517.X有效
发明人： 霍尔格·多默 -专利权人：卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： B23K26/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理系统，包括：共同基座(53)；载物件(101)，被配置为承载用于检查或处理的物体；提供在所述载物件上的至少一个孔径板，具有至少一个孔径；安装在所述共同基座上的激光装置(15)，被配置为在扫描区域(13)上扫描激光束(17)；输送装置(103)，其被配置为相对于所述共同基座将所述载物件从第一位置位移到第二位置，其中，当所述载物件在所述第一位置时，所述物体和所述至少一个孔径位于所述激光装置的扫描区域内；设置在所述载物件上的至少一个光导，其中所述光导具有出口以及由所述至少一个孔径提供的入口；以及至少一个光检测器(151)，被安装在相对于所述共同基座的固定位置处，并被配置为检测从所述光导的出口出射的光。
激光处理系统物件方法

[发明专利]粒子束显微系统及其操作方法-CN201010504226.7有效
发明人：沃尔夫拉姆·比勒;霍尔格·多默;马赛厄斯·兰;乔尔格·斯托多尔卡;彼得·罗迪杰;埃默里赫·伯塔格诺里;海因茨·万曾伯克 -专利权人：卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2010-07-15 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统1包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统61，以供给前驱气体到粒子束系统1的真空室11的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在于被辐照表面的污染物反应的反应气体，从而所述污染物随后可以被泵出。
粒子束显微系统及其操作方法