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[发明专利]具有辅助反应室的等离子体室-CN202280019113.9在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;J·J·雷哈根;具宰模 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：一种等离子体反应系统，包括等离子体室和辅助反应室。等离子体室包括用于将反应气体引入等离子体室的等离子体室入口、形成内部空间的等离子体室壁、在等离子体室内产生的等离子体、用于将能量导向在等离子体室内产生的等离子体的波导件、以及用于从等离子体室运送第一出口气体的等离子体室出口，其中反应气体之间的化学反应可以在该内部空间中发生。辅助反应室包括配置成从等离子体室获得第一出口气体的辅助反应室入口、形成辅助反应室的内部空间的辅助反应室壁、以及用于从辅助反应室运送第二出口气体的辅助反应室出口，其中出口气体之间的第二化学反应可以在该内部空间中发生。
具有辅助反应等离子体

[发明专利]控制等离子体反应器的排放气体压力实现等离子体稳定性-CN202080032452.1在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;谢飞;李巍;C·P·汤姆;具宰模 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种具有等离子体反应器(101a‑101n)的等离子体发生系统(100)。每个等离子体反应器(101a)包括：波导件(120)，用于传输通过该波导件的微波能量；等离子体腔(122a)，耦合到该波导件(120)，并被配置为在该等离子体腔内部产生等离子体(146)；气流入口(144)，用于将气体导入到该等离子体腔(122a)；排放气体管道(125a)，用于输送来自该等离子体腔(122a)的排放气体，其中该等离子体(146)将该气体转化为排放气体；和压力控制装置(300)，安装在该排放气体管道(125a)中，并被配置为控制该排放气体管道(125a)中的排放气体压力。等离子体发生系统(100)还包括歧管(127)，耦合到等离子体反应器(101a‑101n)的排放气体管道(125a‑125n)，并被配置为接收来自排放气体管道(125a‑125n)的排放气体。
控制等离子体反应器排放气体压力实现稳定性

[发明专利]用于监控等离子体反应的光学系统和反应器-CN202080032542.0在审
发明人： C·P·汤姆;谢飞;李巍;S·A·麦克勒兰德 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体发生系统(10)，包括：波导件(20)；等离子体腔，耦合到所述波导件(20)，并被配置为在其内部使用微波能量产生等离子体；空心的圆筒体(13)，从所述波导件(20)的壁上突出，并具有带有孔(66)的底盖；检测单元(61)，用于接收通过所述孔(66)从所述等离子体(46)发射的光，并被配置为测量在紫外线范围和红外线范围内的光强；和控制器(69)，用于控制所述检测单元(61)。
用于监控等离子体反应光学系统反应器

[发明专利]用于控制等离子体反应器的系统-CN202080032590.X在审
发明人： C·P·汤姆;李巍;谢飞 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体生成系统(20)，等离子体生成系统(20)包括：可编程逻辑控制器(PLC)(22)，以及多个反应器系统(24a‑24n)，该多个反应器系统(24a‑24n)通过菊花链网络(26)耦接到该PLC。多个反应器系统(24a‑24n)中的每一个包括：微波发生器(34)，该微波发生器(34)用于产生微波能量；以及电源(30)，该电源(30)用于向微波发生器(34)提供电力并且包括控制器(174)，其中，控制器(174)包括：至少一个微处理器(176)；以及模块(178)，该模块(178)通信地耦接到至少一个处理器(176)并且包括数字输入输出(DIO)和模拟输入输出(AIO)中的至少一个。
用于控制等离子体反应器系统

[发明专利]等离子体反应器的热管理-CN202080032543.5在审
发明人： S·A·麦克勒兰德;G·S·莱纳德三世;具宰模 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-01 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体生成系统(10)，包括波导(20)，用于通过其传输微波能量，还包括内壁(40)，该内壁(40)设置在波导内以限定等离子体腔，其中等离子体(46)是使用微波能量在等离子体腔的内部产生的。该等离子体生成系统(10)还包括适配器(74)，该适配器(74)安装在波导(20)的第一侧上、与波导(20)由第一间隙(92)物理地分离，并且该适配器(74)具有气体出口(32)，由等离子体处理的气体通过气体出口(32)离开等离子体腔；以及EM密封件(94)，该EM密封件(94)设置在第一间隙(92)中并且构造成阻挡微波能量通过该第一间隙(92)泄漏。
等离子体反应器管理

[发明专利]具有回流换热器的等离子体反应器-CN202080032528.0在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;具宰模 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-01 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体生成系统(10)包括波导(20)和内壁(40)，所述波导(20)用于将微波能传送通过，所述内壁(40)设置于所述波导内以限定等离子体空腔，其中等离子体(46)利用所述微波能而生成于所述等离子体空腔内。所述等离子体生成系统(10)还包括：适配器(44)，所述适配器(44)具有气体出口(32)，由所述等离子体(46)所处理的废气通过所述气体出口(32)离开所述等离子体空腔；回流换热器(100)，所述回流换热器(100)直接附接至所述适配器(44)并且具有气体通路，所述气体通路与所述适配器(44)中的气体出口(32)流体连通。所述回流换热器(100)从所述废气中回收热能并且利用所述热能来加热输入气体。
具有回流换热器等离子体反应器

[发明专利]用于处理气体的等离子反应器-CN202080032556.2在审
发明人： S·A·麦克勒兰德;G·S·莱纳德三世;具宰模 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体产生系统(10)，包括：用于传输微波能量的波导(20)；设置在波导(20)内以限定等离子体腔的内壁(40)，其中等离子体(46)通过使用微波能量在等离子体腔内生成；第一进气口(44)安装在第一次的波导(20)和配置为引入第一气体至等离子腔内,在等离子腔内使用第一气体产生涡流(45),第一气体入口(44)具有一个孔(32)，由等离子体处理过(46)的气体穿过该孔(32)离开等离子腔；和离子体稳定器(38)，该离子体稳定器(38)具有圆形中空圆柱体形状并安装在波导(20)的第二侧，该等离子体稳定器(38)的纵向方向与第一涡旋流(45)的旋转轴平行。
用于处理气体等离子反应器

[发明专利]具有可移动的电极的等离子体生成系统-CN201280056677.6有效
发明人： S.H.李;T.塔尼巴塔;O.韦赫 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2012-11-16 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体生成系统(2)。所述等离子体生成系统(2)包括：具有远端的一对电极(12a、12b)；支承所述一对电极(12a、12b)的电极支架(14)；闸门(18a、18b)，所述电极支架(14)滑动安装在所述闸门(18a、18b)的表面上，通过使所述电极支架(14)在所述表面上滑动来控制所述闸门(18a、18b)；以及弹性元件(20a、20b)，固定至所述闸门(18a、18b)并适于产生力以关闭开口。当所述电极支架(14)沿所述表面上的方向移动时，所述远端适于移动进入所述闸门(18a、18b)的开口中，并适于产生电弧(28)从而在气体中点燃等离子体。
具有移动电极等离子体生成系统

[发明专利]气体转化系统-CN201280032608.1有效
发明人：谷端透;具宰模;李相勋 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：本发明提供一种利用微波等离子体的气体转化系统(1)。所述系统(1)包括：用于在其中输送微波的微波导波管(24)；穿过该微波导波管(24)并配置为在其中输送微波的气流管(26)；用于控制微波导波管(24)的温度的第一温控装置(241)；布置在气流管(26)附近并配置为测量气流管(26)或微波导波管(24)的温度的温度传感器(29)；位于气流管(26)附近并配置为在系统运转过程中引燃气流管(26)中的等离子体从而使等离子体转化流过气流管(26)的气体的引燃器(28)；以及，位于气流管(26)附近并配置为监测等离子体的等离子体检测器(30)。
气体转化系统

[发明专利]微波谐振腔-CN201280031152.7有效
发明人：李相勋 -专利权人： 雷卡邦股份有限公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： H01P7/00 文献下载
摘要：发明提供一种微波谐振腔(26)。所述微波谐振腔(26)包括：侧壁(42)，具有中空的大致柱形形状；气流管(46)，布置在侧壁内并具有大致与侧壁的纵轴平行的纵轴；多个波导管(24a-24c)，每个波导管具有大致与侧壁的纵轴垂直的纵轴，并具有固定至侧壁上并与在侧壁上形成的多个孔中的相应孔对正的远端；顶板(41)，固定至侧壁的一端；以及，滑动短回路(48)，该滑动短回路具有：滑动地安装在侧壁和气流管之间的圆盘(43)；以及，布置在侧壁内并与侧壁的纵轴平行的至少一根杆(50)。
微波谐振腔

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