专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种批量化类金刚石涂层镀膜设备-CN201320465181.6有效
  • 李灿民;陶满;陶圣全 - 合肥永信等离子技术有限公司
  • 2013-08-01 - 2014-01-29 - C23C16/22
  • 本实用新型属于真空镀膜领域,具体地说是一种对各种导电材质和绝缘材质的工件内外表面同时进行镀膜的连续性等离子镀膜设备。一种批量化类金刚石涂层镀膜设备,包括DLC镀膜室,DLC镀膜室入口连接有进料室系统,DLC镀膜室出口连接有出料室系统。本实用新型将类金刚石涂层镀膜技术以单个腔体推广至多个腔体,在操作流程上注重镀膜前期缓冲和镀膜后期冷却缓冲,解决了镀膜前期工件组装、烘烤、表面清洗和后期工件的冷却等问题,大量节约镀膜时间,另外,镀膜真空要求上实现了切换自如、抽速稳定,该方案为成功将类金刚石涂层镀膜技术实现批量化自动生产提供保障。
  • 一种批量金刚石涂层镀膜设备
  • [实用新型]一种用于平板件表面镀类金刚石膜的设备-CN201320465140.7有效
  • 李灿民;陶满;陶圣全 - 合肥永信等离子技术有限公司
  • 2013-08-01 - 2014-01-08 - C23C16/458
  • 本实用新型涉及真空镀膜领域,具体地说是一种可以对大面积平板工件进行批量化镀膜的装夹工艺。一种用于平板件表面镀类金刚石膜的设备,包括真空室,真空室内设置有平板件固定装置,所述平板件固定装置包括由支架支撑起的金属网罩,所述金属网罩上设置有金属卡扣。本实用新型为了解决大平板工件类金刚石涂层镀膜过程中遇到的一些实际问题,包括包括镀膜质量、一批次最大装炉量等,结合技术的特点和工件的特征出发,设计出较为合理的装夹方式,在保证镀膜质量的前提下实现批量化,从而为类金刚石膜的大批量工业化生产提供了技术支持。
  • 一种用于平板表面金刚石设备
  • [发明专利]一种荷叶类金刚石膜的镀膜工艺-CN201310329956.1无效
  • 李灿民;陶满;陶圣全 - 合肥永信等离子技术有限公司
  • 2013-08-01 - 2013-12-25 - C23C28/04
  • 一种制备荷叶类金刚石膜的镀膜技术,该技术以等离子全方位离子沉积设备为依托,将八氟环丁烷、一甲基硅烷、二甲基硅烷等气体输入到真空罐内,通过等离子增强化学气相沉积方法在工件表面镀荷叶类金刚石膜。镀膜主要包括等离子清洗、等离子渗氮、过渡层镀膜、类金刚石镀膜、荷叶膜镀膜等五个步骤。荷叶类金刚石膜具有很高的硬度,由于和荷叶表面有着类似的构造因此具有极低的表面能,鉴于荷叶类金刚石膜的高耐磨和疏水性能,它可以成功应用在煤矿筛网、金属模具、航空航天飞行器机翼、输油管道等领域。
  • 一种荷叶金刚石镀膜工艺
  • [实用新型]一种等离子渗氮设备-CN201220442933.2有效
  • 李灿民;陶满;陶圣全 - 合肥永信等离子技术有限公司
  • 2012-08-31 - 2013-03-13 - C23C8/36
  • 一种等离子渗氮设备,包括真空镀膜室、抽气系统、人机控制系统、充气系统、脉冲电源系统,真空镀膜室内设有用于等离子渗氮的金属网罩,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内,所述金属棒与镀膜室外高脉冲电源电连接,金属棒两端通过玻璃砖固定在底座支架上,金属棒与玻璃砖之间连接方式为搭接,搭接处存有的间隙填充有铝箔。该设备在高频率高电压下,利用金属网罩把电子限制在网罩内部,使电子和氮气分子发生多次碰撞,产生很大的放电电流,形成高密度的活性氮等离子体。大的放电电流可以将工件温度升高到300~350℃,在高密度的等离子氛围下带正电的氮离子轰击工件表面,通过扩散渗入到工件内部形成微米级的氮化层。
  • 一种等离子设备
  • [实用新型]一种减少类金刚石镀膜过程中打火的真空室-CN201220442903.1有效
  • 李灿民;陶满;陶圣全 - 合肥永信等离子技术有限公司
  • 2012-08-31 - 2013-03-06 - C23C14/56
  • 本实用新型公开了一种减少类金刚石镀膜过程中打火的真空室,其特征在于,真空室内悬挂有一个由上下两层结构组成的金属支架,所述金属支架的上下两层之间通过绝缘子连接;所述金属支架的下层平行设置有多根悬杆;所述真空室内还设有带电子逃逸口的金属网罩,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其悬挂在金属支架的下层悬杆上;所述金属支架的下层与高压脉冲电源电连接。本实用新型一方面通过在金属网罩上设置电子逃逸口,可以避免电荷在工件、网罩、支架上的积累,另一方面,装置在金属支架的上下层之间引入绝缘子,在保证电子隔离的同时,不会产生任何的间隙,成功解决了镀膜过程中的打火现象。
  • 一种减少金刚石镀膜过程打火真空
  • [实用新型]一种等离子真空镀膜室-CN201220442156.1有效
  • 李灿民;陶满;陶圣全 - 合肥永信等离子技术有限公司
  • 2012-08-31 - 2013-02-27 - C23C16/50
  • 本实用新型公开了一种等离子真空镀膜室,其特征在于,镀膜室内设有金属网罩,金属网罩设有电子逃逸口,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内,所述金属棒与高脉冲电源电连接,其两端搭通过玻璃砖固定在支架上,所述金属棒与玻璃砖之间连接方式为搭接,搭接处存有的间隙填充有铝箔。本实用新型通过在金属网罩上设置电子逃逸口,可以将电子从某一固定方向释放出来,从而避免了电荷在工件、网罩、玻璃砖上的积累,可以显著减少打火的次数。玻璃砖通过开设小孔使其自身在高温下不会爆裂;通过在金属棒和玻璃砖之间填充铝箔,可以有效缓解空心阴极造成的打火现象。
  • 一种等离子真空镀膜

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