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[发明专利]精密电铸微复型金属微结构的制作方法-CN201610927889.7在审
发明人：刘红忠;范禅金;史永胜;尹磊;陈邦道 -专利权人：常州瑞丰特科技有限公司
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： C25D1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密电铸微复型金属微结构的制作方法，包括以下步骤母模具前处理；PDMS模具制作；PU模具制作；导电层制备在真空环境下在PU模具上沉积一层导电金属薄膜；电铸微复型将有导电层的PU模具置于电铸槽的电铸液中进行金属微结构的精密电铸沉积复型；金属微结构的脱模将精密电铸沉积后的硬质背衬‑PU模具‑金属微结构放入装有溶剂的容器中进行加热超声；当PU在溶剂中变软溶解后，机械脱模将金属微结构与PU模具分离，得到最终的复型金属微结构。本发明既保护了母模具可多次利用，易脱模，成本低，又保证了复型金属微结构的精度和完整性。
精密电铸微复型金属微结构制作方法

[发明专利]一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法-CN201610211929.8有效
发明人：蒋维涛;刘红忠;雷彪;陈邦道;史永胜;尹磊 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-04-06 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法，先在基底表面涂覆水溶胶粘附层，然后在水溶胶粘附层上通过光刻工艺获取微纳米图形化的光刻胶，再在光刻胶表面通过刮涂法得到微纳米颗粒图形化，去除光刻胶，得到微纳米颗粒的图形化模板；将聚合物涂覆在衬底表面，然后对衬底进行预加热；将图形化模板表面的微纳米颗粒接触并嵌入聚合物；再提拉图形化模板，使聚合物被拉伸为微纳米柱阵列，然后对衬底加热使微纳米柱阵列固化；再加热图形化模板，使微纳米颗粒脱离水溶胶粘附层，得到顶端带有微纳米颗粒的微纳米柱阵列；最后将微纳米柱阵列顶端的微纳米颗粒去除，获得聚合物微纳米柱阵列，本发明具有操作简单、成本低、周期短的优点。
一种形态可控柔性纳米阵列制造方法

[发明专利]一种利用工业废热的柔性发电装置及制造方法-CN201610802310.4在审
发明人：蒋维涛;刘红忠;赵婷婷;牛东;陈邦道;史永胜;尹磊 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-06 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H01L37/02 文献下载
摘要：一种利用工业废热的柔性发电装置及制造方法，先在热释电薄膜上下两面各制备上一层薄膜电极，用导电银浆将铜导线固定在上下薄膜电极上，得到柔性热量收集装置；将超级电容器薄膜与柔性热量收集装置相并联，并通过铜导线引出正负电极，得到柔性发电单元；然后将PDMS滴涂在柔性发电单元上，使柔性发电单元完全被PDMS薄膜包围住，只露出铜导线，然后加热固化，得到柔性发电装置，使用时，将柔性发电装置贴在一个烧杯外侧，通过铜导线将电流表接入正负电极，在烧杯内配制不同溶液进行化学反应，通过控制化学试剂的浓度和搅拌速度实现不同的热‑电转换效率，本发明可以将工业化学反应中产生的废热直接收集起来转换为电能。
一种利用工业柔性发电装置制造方法

[发明专利]基于电化学沉积的金属材料表面超疏水薄膜制备方法-CN201610928122.6在审
发明人：刘红忠;范禅金;史永胜;尹磊;陈邦道 -专利权人：常州瑞丰特科技有限公司
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： C25D5/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电化学沉积的金属材料表面超疏水薄膜制备方法，包括以下步骤：导电基底的制备：在清洗干净的硬质基底上粘附导电薄膜，清洗、吹干、烘干；电铸液的配制；电化学沉积：阴极为制备的导电基底，阳极为磷铜板，电源类型为直流电源，电铸液不搅拌，控制电沉积温度和电流密度，电铸5~10min后得到镀层；镀层清洗：将电化学沉积后的镀层用去离子水充分清洗干净，吹干，烘台烘干；低表面能气体处理：将烘干后的镀层进行低表面能气体处理，使镀层粗糙的微结构表面覆盖一层低表面能薄膜，从而使镀层成为金属超疏水薄膜。本发明的主要优点是工艺简单、成本低，不必使用复杂的化学溶剂进行电铸液配制，环境污染小。
基于电化学沉积金属材料表面疏水薄膜制备方法

[发明专利]一种用于实时监测化学反应过程的方法和装置-CN201610802873.3在审
发明人：蒋维涛;刘红忠;赵婷婷;牛东;陈邦道;史永胜;尹磊 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-06 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G01J5/18 文献下载
摘要：一种用于实时监测化学反应过程的方法和装置，方法是先在热释电薄膜上下两面各制备一层薄膜电极，用导电银浆将铜导线固定在上下薄膜电极上，并通过铜导线引出正负电极，得到柔性热释电温度传感器；然后将PDMS滴在柔性热释电温度传感器上，使柔性热释电温度传感器完全被PDMS薄膜包围住，只露出铜导线，然后加热固化，得到柔性检测装置；最后将柔性检测装置贴在烧杯的外侧，用铜导线将示波器接入正负电极，通过控制溶液的反应浓度和搅拌速率，示波器界面上的波形不同，方法操作简便、快捷、稳定，装置结构简单，可以实时监测反应发生的过程，精度和分辨率高，适用性广，可用于多种化学反应过程的监测。
一种用于实时监测化学反应过程方法装置

[发明专利]一种基于红外光远程充电的柔性植入式电源的制造方法-CN201510929601.5在审
发明人：蒋维涛;刘红忠;赵婷婷;牛东;雷彪;陈邦道;史永胜;尹磊 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2015-12-12 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： H01L37/00 文献下载
摘要：一种基于红外光远程充电的柔性植入式电源的制造方法，先在热释电薄膜上制作微阵列结构，然后在结构化的热释电薄膜上下两面的一端各溅射一层金属薄膜，在结构化的热释电薄膜上下两面制备透明电极薄膜，使透明电极薄膜一侧搭在金属薄膜上，用导电银浆将铜导线固定在金属薄膜上，完成柔性植入式电源的制备，再将PDMS滴涂在柔性植入式电源上，使柔性植入式电源完全被PDMS薄膜包围住，只露出铜导线，然后加热固化；将柔性植入式电源接入电路中，红外光照射柔性植入式电源实现光能向电能的转换，通过控制红外光照射的强度和频率实现不同的光-热-电转换效率，本发明增大了能量的传输距离，提高了光-热-电转换效率。
一种基于红外光远程充电柔性植入电源制造方法

[发明专利]一种可增强光反射柔性薄膜的制造方法-CN201510344747.3有效
发明人：刘红忠;雷彪;蒋维涛;尹磊;史永胜;陈邦道 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：一种可增强光反射柔性薄膜的制造方法，先制备干法刻蚀所需要的金属掩蔽层，然后通过调控刻蚀参数制备倒锥柱阵列硅模具，最后翻模制备倒锥孔阵列柔性薄膜，将疏水处理过的倒锥柱阵列硅模具固定在衬底上，将垫层固定在倒锥柱阵列硅模具的两侧，用聚合物完全涂覆在倒锥柱阵列硅模具表面，然后真空处理去除聚合物中夹杂的气泡；再使用压板挤压聚合物，然后将压板、聚合物、垫层、倒锥柱阵列硅模具、衬底整个加热，使聚合物固化；再分离聚合物和倒锥柱阵列硅模具，获得聚合物倒锥孔阵列柔性薄膜，聚合物倒锥孔阵列柔性薄膜具有优良的弹性性能，通过施加外力驱使其变形实现反射率的调控；通过多层叠加或不同顺序的组合实现薄膜反射率的调控。
一种增强反射柔性薄膜制造方法

[发明专利]基于机械力拉伸的大深宽比纳米纤维结构及其制备方法-CN201310344883.3有效
发明人：蒋维涛;刘红忠;马浩赟;王兰兰;尹磊;史永胜;陈邦道;丁玉成 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2013-08-08 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： B29C55/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于机械力拉伸的大深宽比纳米纤维结构及其制备方法，包括以下步骤：1）采用复型方法制备柔性孔阵列模具；2）将聚合物的溶液涂覆于基材上形成聚合物薄膜；3）使柔性孔阵列模具与聚合物薄膜良好接触，使聚合物填充到模具上的孔内；4）最后通过柔性孔阵列模具对聚合物薄膜进行机械拉伸，拉伸完成后固化脱模，制备出端部有质量块的大深宽比纳米纤维结构。本发明可以模具对聚合物的机械拉伸，形成大深宽比的纳米纤维，克服了复型方法中制备大深宽比纳米结构的难题；本发明工艺结构简单，仅通过机械力拉伸，控制机械力拉伸的方向，制备出大深宽比纳米纤维阵列，与电纺丝，化学法，微纳加工法等方法相比，更加有效，经济。
基于机械拉伸大深宽纳米纤维结构及其制备方法

[发明专利]以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法-CN201210371547.3有效
发明人：刘红忠;蒋维涛;陈邦道;丁玉成;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： B81C99/00 文献下载
摘要：一种以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法，将待检测的制造装备运动元部件与石墨烯基准样品承载台进行超精密联动控制联接，通过扫描的石墨烯键长数量表征石墨烯基准样品承载台的运动长度，实时检测石墨烯基准样品承载台运动，从而计算出制造装备运动元部件亚纳米级精度的运动长度；将该亚纳米级运动精度检测信号反馈至制造装备运动元部件的运动控制系统，与制造装备运动元部件的预期运动长度相比对，进行制造装备运动元部件的运动长度闭环控制，从而实现亚纳米级精度的误差补偿。该方法能够实现超精密制造装备运动元部件的亚纳米级精度检测及亚纳米级精度补偿，在纳米/亚纳米级精度纳米制造装备实现领域，具有广阔的发展前景。
石墨烯键长基准精密制造装备精度补偿方法

[发明专利]半导体气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极的制作方法-CN201110170715.8有效
发明人：刘红忠;丁玉成;陈邦道;郑杰;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2011-06-23 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体气敏传感器技术，公开了一种半导体气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极的制作方法。该方法首先采用传统光刻工艺，将叉指电极图形转移到光刻胶层上，再以该光刻胶层为掩膜，干法刻蚀单晶硅基底，制作出定向纳米纤维，然后再通过磁控溅射工艺在其表面溅射一层Pt，作为导电层，最后化学法剥离光刻胶层，得到气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极。该定向纳米纤维化三维立体叉指电极，与传统的平板叉指电极相比，高比表面积的硅纳米纤维，可以在不减少叉指对数的条件下，有效地增大电极的表面积，从而有效地提高敏感电极的灵敏度，解决了传统平板叉指电极的叉指对数和表面积之间的矛盾关系。
半导体传感器定向纳米纤维化三维立体电极制作方法

[发明专利]炮筒结构的立体薄膜场发射平板显示器阴极的制作方法-CN201110136864.2有效
发明人：刘红忠;丁玉成;陈邦道;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2011-05-25 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明属于平板显示器件技术领域，具体涉及一种炮筒结构的立体薄膜场发射平板显示器阴极的制作方法，本发明制备的炮筒结构电子发射源包括内层低功函数金属电极，中间层氧化物绝缘层、外层金属电极。具有器件有效发射面积大，电子聚焦能力强，驱动电压低等优点，特别适于大屏幕高清晰度电视，阵列式电子加工设备及检测装置。
炮筒结构立体薄膜发射平板显示器阴极制作方法

[发明专利]基于多孔介电材料薄膜的弹道场发射显示器件阴极的制备方法-CN201110136861.9有效
发明人：刘红忠;丁玉成;陈邦道;王兰兰;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2011-05-25 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：基于多孔介电材料薄膜的弹道场发射显示器件阴极的制备方法，其场发射阴极由上发射电极、中间多孔介电材料薄膜和下发射电极组成。该多孔介电材料薄膜可以采用化学合成或是物理方法制备。本发明中的器件结构简单，驱动电压低，电子发射率超过5％；同时，针对该期间的制造具备制备工艺简单，材料无需特殊处理，发射阴极不需特殊激活处理，以及通过直接施加驱动电压就能产生电子发射的优点；采用该工艺的制造成本大大低于已有技术，且适合大规模生产。
基于多孔材料薄膜弹道发射显示器件阴极制备方法

[发明专利]层叠薄膜及其波形周线控制表面传导电子发射源制作方法-CN201010516898.X无效
发明人：刘红忠;丁玉成;陈邦道;樊帆;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2010-10-22 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种层叠薄膜及其波形周线控制表面传导电子发射源制作方法。该方法采用UV套印光刻、磁控溅射以及薄膜剥离等工艺技术，在玻璃基底上制备带有面内波形边界薄膜的电子发射源阵列。上下薄膜间距通过绝缘层薄膜控制在10～200nm之间，上下薄膜间施加电压实现薄膜间的周线上产生电子遂穿效应，薄膜周线的波形结构可以提高发射源周长，增加电子发射量。
层叠薄膜及其波形控制表面传导电子发射制作方法

[发明专利]一种基于纳米压印的表面传导电子发射源的制作方法-CN201010140009.4无效
发明人：刘红忠;丁玉成;陈邦道;樊帆;王莉;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2010-04-07 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明涉及表面传导电子发射平板显示器件技术，公开了一种基于纳米压印的表面传导电子发射源的制作方法。它具体包括以下步骤：第一步，制备用于制作压印表面传导电子发射源发射间隙的硅橡胶凸模；第二步，在玻璃基板上制作左、右电极以及行、列引出电极；第三步，利用硅橡胶凸模采用逆压印技术将UV胶转印到左、右电极中间位置的玻璃基板上，并用紫外光固化定型，形成间隔条；然后，依次采用套印光刻工艺、磁控溅射工艺、剥离工艺制作搭接在左、右电极和间隔条上的Pd电子发射薄膜；最后，采用液氮激冷工艺，在液氮中浸泡激冷，Pd电子发射薄膜在间隔条顶部冷缩形成拱起裂纹，构成电子发射源的发射间隙。
一种基于纳米压印表面传导电子发射制作方法

[发明专利]一种基于溶胶凝胶法的复合纳米金刚石薄膜的制备方法-CN200910022969.8无效
发明人：张秀霞;魏舒怡;丁玉成;卢秉恒;陈邦道;樊帆;王莉 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2009-06-18 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： C01B31/06 文献下载
摘要：本发明涉及金刚石薄膜的制备领域，公开了一种基于溶胶凝胶法的复合纳米金刚石薄膜的制备方法。它包括下列步骤：a.制备复合纳米金刚石浆料；b.溶胶凝胶法甩胶；c.甩胶后的热烧结处理；d.表面处理和退火处理。本发明工艺简单，成本低；制备的复合纳米金刚石薄膜稳定、均匀；适用于摩擦磨损、冷阴极场发射、微机电系统(MEMs)、电化学惰性电极及光学涂层等应用领域。
一种基于溶胶凝胶复合纳米金刚石薄膜制备方法