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[发明专利]一种分束镜及其制备方法和应用-CN202310679940.7在审
发明人：朱东风;吴朱超;陈溢祺;屠洛涔 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：本发明属于光学器件技术领域，具体涉及一种分束镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种分束镜，包括层叠设置的打底层和若干分束膜单元；所述打底层包括铝层或Si3N4层；每个分束膜单元包括层叠设置的钼层和硅层；所述若干分束膜单元为非周期性多层膜结构；每个分束膜单元的厚度为1.8～5.5nm；所述分束膜单元的重复周期数为20～30；所述分束膜单元的钼层和所述打底层接触。本发明得到的分束镜在12.5～15nm的范围内均保持较高的反射率和透射率，可以在15°入射角的情况下对入射光有20％以上的反射效率，同时对入射光具有10～15％的透射效率，从而实现半透半反效果。
一种分束镜及其制备方法应用

[发明专利]一种二维氧化物原位钝化钙钛矿单晶表面的方法-CN202210056684.1有效
发明人：朱京涛;屠洛涔;陈溢祺;吴朱超;周新宇;王添随 -专利权人：科晶瑞思（苏州）科技有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C30B33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种二维氧化物原位钝化钙钛矿单晶表面的方法。本发明钝化方法具体为：(1)在载体上生长钙钛矿单晶；(2)加热镓铟锡合金至液态，并加入改性金属改善液态合金特性，静置形成自限性薄氧化层；(3)将步骤(1)载有钙钛矿单晶的载体浸入步骤(2)的液态铟锡合金中，使得自限性薄氧化层覆盖所述钙钛矿单晶表面，完成二维氧化物原位钝化。本发明所述二维Ga2O3材料可以显著得减少钙钛矿晶体表面多晶化对其晶体质量造成的影响，并可对钙钛矿晶体起到明显的钝化作用，使得钙钛矿晶体表面缺陷密度降低，提高晶体的物理、电学、光学性能。
一种二维氧化物原位钝化钙钛矿单晶表面方法

[发明专利]一种反射镜及其制备方法和应用-CN202310185410.7在审
发明人：朱东风;吴朱超;陈溢祺;屠洛涔 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种反射镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种反射镜，包括基底和依次层叠设置在所述基底表面的若干反射膜单元和金属钨层；每个反射膜单元包括由下到上依次层叠设置的单质硅层、高原子序数金属层和碳化硅层；所述反射膜单元的碳化硅层和金属钨层接触；所述高原子序数金属层的材质包括Rh、Au或Pt。本发明通过在SiC/Si复合膜体系中增设高原子序数金属层，能够进一步提高复合膜的能量宽带；在接近正入射的角度下，本发明得到的反射镜在40eV～80eV的能量范围内都保持相对较高的反射率，形成高反射坪区，大大提升了反射镜的适用范围。
一种反射及其制备方法应用

[发明专利]一种基于重型运动机构的光电传感软限位检测装置-CN202211719959.1在审
发明人：朱东风;吴朱超;陈溢祺;屠洛涔 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于重型运动机构的光电传感软限位检测装置，涉及磁控溅射镀膜机技术领域，包括机械限位装置、第一光电开关组、第二光电开关组和第三光电开关组；第一光电开关组、第二光电开关组和第三光电开关组靠近运动机构的运动轨道末端且沿着运动轨道依次具备间隔地设置，机械限位装置设置于运动轨道末端并能够对运动机构进行机械限位；第一光电开关组在触发后用于直接或间接地向运动机构传输减速指令；第二光电开关组在触发后用于直接或间接地向运动机构传输急刹指令；第三光电开关组在触发后将触发信息传输至外部控制主机上。本发明提供的方案使大型磁控溅射镀膜机能够完成对重型运动机构的减速、刹车以至停止。
一种基于重型运动机构光电传感限位检测装置

[发明专利]一种反射镜及其制备方法和应用-CN202310159363.9在审
发明人：朱东风;吴朱超;陈溢祺;屠洛涔 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种反射镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种反射镜，包括基底和依次层叠设置在所述基底表面的若干反射膜单元和氧化铝层；每个反射膜单元包括由下到上依次层叠设置的含硅材料层、金属铝层和碳层；所述反射膜单元中的碳层和氧化铝层接触。本发明通过在硅/碳复合膜体系中增设金属铝层，能够进一步提高复合膜的能量宽带；在接近正入射的角度下，本发明得到的反射镜在20eV～40eV的能量范围内都保持相对较高的反射率，形成高反射坪区，大大提升了反射镜的适用范围。
一种反射及其制备方法应用

[实用新型]一种基于重型运动机构的光电传感软限位检测装置-CN202223559609.1有效
发明人：朱东风;吴朱超;陈溢祺;屠洛涔 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于重型运动机构的光电传感软限位检测装置，涉及磁控溅射镀膜机技术领域，包括机械限位装置、第一光电开关组、第二光电开关组和第三光电开关组；第一光电开关组、第二光电开关组和第三光电开关组靠近运动机构的运动轨道末端且沿着运动轨道依次具备间隔地设置，机械限位装置设置于运动轨道末端并能够对运动机构进行机械限位；第一光电开关组在触发后用于直接或间接地向运动机构传输减速指令；第二光电开关组在触发后用于直接或间接地向运动机构传输急刹指令；第三光电开关组在触发后将触发信息传输至外部控制主机上。本实用新型提供的方案使大型磁控溅射镀膜机能够完成对重型运动机构的减速、刹车以至停止。
一种基于重型运动机构光电传感限位检测装置

[发明专利]一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用-CN202211101345.7在审
发明人：金宇;朱运平;金长利;陈溢祺 -专利权人：苏州宏策光电科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明属于极紫外光光学元件技术领域，具体涉及一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用。本发明提供的多层膜材料，包括层叠的第一周期单元或第二周期单元，所述第一周期单元包括依次层叠的Nb层、Y层和Si层，所述第二周期单元包括依次层叠的Nb层、第一Y层、Si层和第二Y层；当所述多层膜材料为层叠的第一周期单元时，所述多层膜材料的两表面分别为Nb层和Si层；当所述多层膜材料为层叠的第二周期单元时，所述多层膜材料的两表面分别为Nb层和第二Y层。在Nb层和Si层之间增加Y层能够抑制Nb层和Si层之间的扩散从而提高多层膜材料中Nb层和Si层的边界清晰度，进而提高了多层膜材料对极紫外光的反射率。
一种多层材料紫外光反射及其制备方法应用

[发明专利]一种用于X射线与软X射线波段的滤片及其制备方法-CN202011620922.4有效
发明人： 陈溢祺;朱忆雪;张秀霞;金宇;朱东风;朱运平;金长利 -专利权人：苏州闻道电子科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G21K1/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于X射线与软X射线能段的滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明中含有Sc层的滤片透射率在K吸收边0.276nm(E＝4500eV)和L吸收边2.48nm(E＝500eV)前后有非常明显的对比。由于B的吸收边在190eV，本发明提供的滤片在0.276nm～0.31nm(4000～4500eV)和2.48nm～6.53nm(190～500eV)范围内可以有效地对高次谐波进行抑制。本发明提供的滤片的制备方法，本发明先刻蚀硅片再镀膜，得到的滤片的品质高，无砂眼现象。实施例的数据表明，本发明制得的Sc/B4C滤片或自支撑Sc/B4C滤片(含有聚酰亚胺膜)，均观察不到砂眼。
一种用于射线波段及其制备方法

[发明专利]一种铯铪氯闪烁晶体的制备方法-CN202210076428.9在审
发明人：朱京涛;屠洛涔;陈溢祺;吴朱超;周新宇;王添随 -专利权人：科晶瑞思（苏州）科技有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： C30B29/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种铯铪氯闪烁晶体的制备方法，涉及闪烁晶体材料技术领域。所述Cs2HfCl6闪烁晶体的制备方法，包括以下步骤，S1先将CsCl和HfCl4加入到酸性溶液中搅拌加热，得到前驱体溶液；所述酸性溶液为盐酸溶液；S2将所述前驱体溶液加热，后进行分步骤降温、生长，得到所述Cs2HfCl6闪烁晶体。本发明所述的Cs2HfCl6闪烁晶体的制备方法相较于常规布里奇曼生长方法而言成本低廉无需真空石英坩埚等设备，无需高温、操作简易、原料成本低廉、原料利用率高，且溶液可回收利用。
一种铯铪氯闪烁晶体制备方法

[发明专利]一种固体中子转换层及其制备方法和应用-CN202210093838.4在审
发明人：朱京涛;朱杰;金宇;陈溢祺;梅晓红;张秀霞 -专利权人：苏州闻道电子科技有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种固体中子转换层及其制备方法和应用，属于碳化硼薄膜制造领域。本发明通过对基体经过离子轰击处理，然后加镀铝膜，很好的改善了应力特性，保证镀制的碳化硼薄膜具有足够高的强度不会破裂和脱落，同时铝膜为微米/纳米级铝膜，应力小，可以和基底保持良好的粘附性；在基体和碳化硼薄膜之间添加亚微米至微米级的铝层作为表面处理层，当碳化硼薄膜原子在微米级厚度的铝层上成核聚集并成膜的过程中，由于铝膜表面的粗糙度而存在的微小“缝隙”，碳化硼薄膜成膜过程中原子的应力存在被弛豫、释放掉的空间，从而可以成功镀制微米级低应力甚至无应力的碳化硼薄膜。
一种固体中子转换及其制备方法应用

[发明专利]一种带通滤波的X射线光学系统及其制备方法-CN202210099481.0在审
发明人：朱京涛;杨泽华;陈溢祺;金宇;朱忆雪;孙航 -专利权人：苏州闻道电子科技有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G21K1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种带通滤波的X射线光学系统及制备方法，该制备方法包括：根据设计目标能点确定滤片的材料和滤片的厚度；根据设计目标能点采用深度梯度法确定多层膜反射镜的膜层材料和各个膜层的初始膜层厚度；根据滤片的材料和滤片的厚度制备滤片；根据滤片的材料和滤片的厚度采用单纯形调优法优化多层膜反射镜的各个膜层的初始膜层厚度，得到各个膜层的实验优化膜层厚度；根据膜层材料和各个膜层的实验优化膜层厚度制备多层膜反射镜；对滤片和多层膜反射镜进行组装得到带通滤波的X射线光学系统。本发明通过滤片和多层膜反射镜使得滤片透射曲线与多层膜反射镜反射曲线的乘积在中心能点区域内保持恒定，实现无旁瓣、高通量、平坦响应的带通滤波。
一种滤波射线光学系统及其制备方法

[发明专利]一种Ni/Ti非周期多层膜及其制备方法和应用、Ni/Ti非周期多层膜中子超反射镜-CN202111641737.8在审
发明人：朱京涛;孙航;林旺;陈溢祺;屠洛涔;郭汉明 -专利权人：苏州闻道电子科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明涉及中子超反射镜技术领域，尤其涉及一种Ni/Ti非周期多层膜及其制备方法和应用、Ni/Ti非周期多层膜中子超反射镜。本发明提供了一种Ni/Ti非周期多层膜的制备方法，包括以下步骤：在N2、O2和Ar的混合气氛中，在基底表面溅射Ni层，得到NiNxOy层；所述x的取值范围为0≤x1，所述y的取值范围为0≤y1；在Ar气氛中，在所述NiNxOy层的表面溅射Ti层，得到Ti层；重复上述溅射Ni层和溅射Ti层的过程，得到所述Ni/Ti非周期多层膜；所述重复的次数≥1。所述Ni/Ti非周期多层膜的制备方法可以降低界面粗糙度，提高成膜质量。
一种 ni ti 周期多层及其制备方法应用中子反射

[发明专利]一种用于70～100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法-CN202010399414.1有效
发明人：朱杰;朱忆雪;金宇;陈溢祺;冀斌;朱东风;朱运平;金长利 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于70～100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现70～100nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度多层膜与非周期多层膜是极紫外与软X射线波段范围内实现宽通带的两种方法。在极紫外与软X射线波段，横向梯度多层膜可以实现宽带可调的基础在于，所有材料的光学常数都接近于1，因此多层膜物理周期厚度约等于其光学厚度，所以当实现多层膜物理厚度在横向梯度方向上线性变化时，就实现了在横向梯度方向上光学厚度的线性变化，进而实现宽带可调，即在较高反射率前提下，实现了偏振度的提高。
一种用于 70 100 nm 真空紫外波段偏振多层及其制备方法

[发明专利]一种用于50～70nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法-CN202010398891.6有效
发明人：朱杰;冀斌;金宇;陈溢祺;朱忆雪;朱东风;朱运平;金长利 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于50～70nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现50～70nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度多层膜与非周期多层膜是极紫外与软X射线波段范围内实现宽通带的两种方法。在极紫外与软X射线波段，横向梯度多层膜可以实现宽带可调的基础在于，所有材料的光学常数都接近于1，因此多层膜物理周期厚度约等于其光学厚度，所以当实现多层膜物理厚度在横向梯度方向上线性变化时，就实现了在横向梯度方向上光学厚度的线性变化，进而实现宽带可调，即在较高反射率前提下，实现了偏振度的提高。
一种用于 50 70 nm 真空紫外波段偏振多层及其制备方法

[发明专利]一种用于70~100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法-CN202010399412.2有效
发明人：朱杰;陈溢祺;金宇;冀斌;朱忆雪;朱东风;朱运平;金长利 -专利权人：苏州江泓电子科技有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于70～100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现70～100nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度多层膜与非周期多层膜是极紫外与软X射线波段范围内实现宽通带的两种方法。在极紫外与软X射线波段，横向梯度多层膜可以实现宽带可调的基础在于，所有材料的光学常数都接近于1，因此多层膜物理周期厚度约等于其光学厚度，所以当实现多层膜物理厚度在横向梯度方向上线性变化时，就实现了在横向梯度方向上光学厚度的线性变化，进而实现宽带可调，即在较高反射率前提下，实现了偏振度的提高。
一种用于 70 100 nm 真空紫外波段偏振多层及其制备方法

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