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[发明专利]一种光束整形模组、方法及装置-CN202311188945.6在审
发明人：张满强;黄永忠;王晓峰;潘岭峰;何刘;陈永智 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-09-15 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种光束整形模组、方法及装置，涉及光学技术领域，模组包括顺序设置的鲍威尔棱镜、平凸球面透镜和若干个平凸柱面透镜；鲍威尔棱镜用于接收单模高斯光束并将其整形为扇形发散的X轴方向为线性分布的第一光斑；其中，单模高斯光束的光斑尺寸范围为0.65‑0.75mm；平凸球面透镜用于固定第一光斑的Y轴方向宽度至目标宽度范围内并压缩第一光斑的X轴方向长度以得到第二光斑；若干个平凸柱面透镜用于将第二光斑的X轴方向长度压缩至目标长度范围内以得到目标线性平顶光束。解决了现有技术中激光生成的线斑存在顶部能量分布均匀性不佳等缺点，很难满足激光退火高均匀性和高稳定性的要求的问题。
一种光束整形模组方法装置

[实用新型]一种多光路合束装置-CN202320087985.0有效
发明人： 陈永智;黄永忠;何刘 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：本申请提供一种多光路合束装置，包括机架以及均安装于机架上的用于传播第一光束的第一光路传播结构、用于传播第二光束的第二光路传播结构、反射镜以及合束镜，反射镜设于第一光路传播结构的传播路径上，用于将第一光束反射至合束镜上；合束镜设于第二光路传播结构的传播路径上，用于使第一光束和第二光束合束后传播。该合束装置在处理晶圆前就实现了绿光和红光的合束，集成化高，结构紧凑，体积小，仅需利用合束光射向产品进行相应工艺处理，便于操作。
一种多光路合束装

[实用新型]一种挡光环的夹具-CN202320087986.5有效
发明人： 陈永智;黄永忠;何刘 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种挡光环的夹具，涉及晶圆生产辅助器具技术领域，包括支撑框架、晶圆吸附固定组件、托环、挡光环支座、俯仰调节装置、安装支架和挡料组件，晶圆吸附固定组件包含有安装盘、连接套和吸盘，晶圆吸附固定组件中的吸盘对晶圆进行吸附，挡料组件对晶圆的外周侧进行限位，俯仰调节装置可以同步带动吸盘、晶圆、托环和挡光环在俯仰方向上微调，托环上通过非金属软固定的方式安装有挡光环，托环上固定的挡光环实现挡光；该挡光环的夹具，采用新的挡光环固定方式，在满足了挡光环与晶圆对中的需求上可以实现俯仰方向上的微调，可以满足客户对晶圆去边退火尺寸上的要求。
一种光环夹具

[实用新型]一种智慧调度用的语音机器人-CN202320625481.X有效
发明人：沙永兵;肖丰明;王立;曹德勤;刘杰;吴辉;陈永智;余伟;段蓦妍 -专利权人：五凌电力有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智慧调度用的语音机器人，属于语音机器人领域，该装置包括机器人本体，所述机器人本体背部固定连接有升降气缸，所述升降气缸输出端固定连接有移动架，所述移动架内部滑动连接有两组显示屏，所述移动架中间转动连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有两组驱动架，两组所述显示屏的端部均固定连接有连接块，两组所述驱动架分别与两组连接块相连接；通过升降气缸带动移动架从机器人本体的顶部移出，然后启动驱动电机带动蜗杆与蜗轮啮合从而带动丝杆转动，丝杆带动两组驱动架向相反的方向移动，从而推动两组固定块上的显示屏向两侧移动进行显示，从而便于使用者进行观看，提高迎宾展示的效果。
一种智慧调度语音机器人

[发明专利]二氧化碳激光的光束整形设备以及光束整形方法-CN202310468102.5有效
发明人：张满强;黄永忠;王晓峰;潘岭峰;何刘;付志良;陈永智 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本申请公开了一种二氧化碳激光的光束整形设备以及光束整形方法，属于光学技术领域。该光束整形设备包括沿激光光束的入射方向依次设置的第一镜组、偏振调节系统、第二镜组、积分镜、AOI模组和短轴聚焦模组；其中，第一镜组包括对称设置的凹面形离轴抛物镜和凸面形离轴抛物镜；偏振调节系统包括沿激光光束的入射方向设置的半波片和薄膜偏振器；第二镜组包括对称设置的凸面形柱面镜和凹面形柱面镜。通过该光束整形设备以及方法将高斯分布的二氧化碳激光光束整形为线形平顶光束，线性光斑均匀性提升，同时对激光功率利用率可提高至80%以上，从而降低能耗及维护成本，并提高装备稳定性及可靠性。
二氧化碳激光光束整形设备以及方法

[实用新型]气浮平台式晶圆加热装置-CN202320211440.6有效
发明人： 陈永智;潘冬;王德友;付志良 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供一种气浮平台式晶圆加热装置，涉及半导体加工制备领域，包括气浮式移动平台和加热机构。加热机构包括基座、定位加热盘和顶升组件，定位加热盘和顶升组件均与基座连接，基座安装于气浮式移动平台上。气浮式移动平台用于带动加热机构在相互垂直的第一方向和第二方向上移动。顶升组件用于带动位于定位加热盘上的晶圆升降。该加热装置结构简单合理，不仅能够实现晶圆的定位和加热，还能够带动晶圆在设定方向上高精度运动，使用灵活便捷。
平台式晶圆加热装置

[实用新型]一种晶圆激光处理用加工装置-CN202320162929.9有效
发明人： 陈永智;黄永忠;何刘 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆激光处理用加工装置，属于晶圆加工技术领域。加工装置包括舱体和吸盘，舱体内部具有密闭的腔室，舱体的顶部设置有供激光穿过的通孔，通孔处盖设有保护镜片；吸盘设置于腔室内并位于通孔的正下方，吸盘用于供晶圆放置并对晶圆吸附定位；其中，腔室内还设置有第一氮气吹扫通道和排气通道，第一氮气吹扫通道用于向腔室内吹出氮气，以使腔室内的氧浓度值在预设范围，排气通道用于排出腔室内气体。这种晶圆激光处理用加工装置能够改善晶圆的加工质量。
一种激光处理加工装置

[实用新型]一种晶圆加热冷却装置-CN202320201828.8有效
发明人： 陈永智;黄永忠;何刘;付志良 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加热冷却装置，包括分离装置、加热装置和冷却装置，分离装置包括箱体和架体，所述箱体内部中空，所述箱体设置有第一工位，所述架体设置有第二工位，所述架体和所述箱体滑动连接，以使所述第二工位能滑入所述箱体的内部，或滑出所述箱体的外部；加热装置用于对晶圆加热；冷却装置用于对晶圆冷却；其中，所述加热装置和所述冷却装置中的其中一个固定安装于所述第一工位中，另一个固定安装于所述第二工位中。利用可以位置变换的分离装置，使得维修的过程中能使加热装置和冷却装置之间位置错开，方便维护。
一种加热冷却装置

[发明专利]一种双用芯片标签加工方法及装置-CN201911203236.4有效
发明人： 陈永智 -专利权人：广州市羊城印刷有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G06K19/077 文献下载
摘要：本发明涉及一种标签加工领域，更具体地说，它涉及一种双用芯片标签加工方法及装置，其技术方案要点是：步骤1、将芯片标签和电子标签复合到底板的两侧位置，使底板沿长度方向分为第一复合部、第二复合部、第三复合部、第四复合部和第五复合部，所述芯片标签处于第二复合部，所述电子标签处于第四复合部；步骤2、将不干胶层复合在所述底板上，将所述不干胶层复合到底板的过程中，利用压力将第一复合部、第三复合部和第五复合部与不干胶层紧压处理；步骤3、将贴有所述不干胶层的底板进行收卷处理。效果：其一，双用标签加工装置在将不干胶层复合到底板上时，可以不对芯片和电子标签位置对应碾压，避免芯片和电子标签受到损坏。
一种芯片标签加工方法装置

[实用新型]一种晶圆吸附装置和晶圆加工设备-CN202223466302.7有效
发明人： 陈永智;张满强;黄永忠;何刘;艾义明;颜元;黎瑶敏 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司;长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆加工领域，涉及一种晶圆吸附装置和晶圆加工设备。晶圆吸附装置包括：基体；真空吸附盘，真空吸附盘与基体连接；水冷组件，水冷组件包括依次连接的进水口、冷却管和出水口；进水口和出水口均与基体连接，冷却管位于真空吸附盘内。与被真空吸附盘吸附的晶圆进行热交换，使晶圆被冷却后从出水口流出。如此，冷却水可以对晶圆快速降温，避免晶圆长时间处于高温状态，有效降低晶圆的次品率。
一种吸附装置加工设备

[实用新型]用于激光退火的挡光装置以及激光退火设备-CN202223527516.0有效
发明人：付志良;黄永忠;何刘;王德友;张满强;潘冬;陈永智;潘真杰;刘勇 -专利权人：成都莱普科技股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种用于激光退火的挡光装置以及激光退火设备，涉及激光退火领域。该挡光装置包括：挡光板，所述挡光板包括通孔；其中，所述通孔的孔壁包括褶皱段，所述褶皱段包括多个连续相邻且凸出的凸起结构，所述凸起结构用于在激光照射所述通孔的边缘并生成衍射光时反射所述衍射光。该挡光装置在激光以非垂直入射角度对晶圆进行热处理时，能够使得晶圆边缘受热更加均匀，从而提升挡光效果以及提高晶圆的性能。
用于激光退火装置以及设备

[实用新型]一种具有控温除湿功能的控制柜-CN202320264203.6有效
发明人：罗宏侠;乔文达;陈永智 -专利权人：保定瓦特信息技术有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H02B1/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及控制柜技术领域，提出了一种具有控温除湿功能的控制柜，包括控制柜本体，控制柜本体上开设有散热通口，控制柜本体上还开设有空腔，散热通口内均匀的转动设置有多个转杆，多个转杆上均套接有遮挡板，空腔内转动设置有多个第一蜗轮。本实用新型通过驱动组件控制第一蜗杆转动，第一蜗杆通过第一蜗轮带动多个转杆转动，进而能够带动多个遮挡板转动，当多个遮挡板转动至相接触时，能够对散热通口进行遮挡，当多个遮挡板转动至相远离时，能够打开散热通口，此时能够进行散热，持续通过驱动组件带动第一蜗杆转动，使得遮挡板能够持续转动，从而能够带动气流，加快热气的散发，提高控温的效果。
一种具有除湿功能控制

[发明专利]一种基于语音识别及合成技术的电力调度系统-CN202310313961.7在审
发明人：沙永兵;肖丰明;陈永智;王立;刘杰;吴辉;汪涛;王靖元;李闯;闵陈鹏;谭君;王也;邹林;胡浩远;曹德勤;李靖沙 -专利权人：五凌电力有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于语音识别及合成技术的电力调度系统，涉及语音识别及合成技术领域，解决了调度效率低和准确率不高的技术问题；通过语音转换模块将语音数据转换为文本数据；信息提取模块将文本数据输入至信息检测模型中，获取故障信息；语音合成模块根据故障信息合成告警语音；告警模块根据故障类型在数据库内检索关联的技术人员列表，获取关联技术人员的电话号码，根据电话号码对关联的技术人员进行告警；提高了调度效率，减少值班人员的工作压力；提高了调度指令的准确性。
一种基于语音识别合成技术电力调度系统

[发明专利]一种低光气含量的三氯化硼生产装置及方法-CN201710377619.8有效
发明人：蔡杉;蔡京;陈永智;魏怡清 -专利权人：江西瑞合特种材料有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： C01B35/06 文献下载
摘要：一种低光气含量的三氯化硼生产装置，其中，干燥器的出口与立式反应炉底部的入口连接，立式反应炉两侧设置观察孔并内置两组固定式双层反应管，双层反应管外层为石英管、内层为与石英管内切的石墨环，石墨环内装填有碳化硼颗粒，同时双层反应管上端出口连接至阻灰器的入口，阻灰器的出口接入冷凝器，冷凝器下方接入储罐，且在冷凝器与储罐内分别设置有冷却循环水；在双层反应管内，碳化硼原料过量装填，防止残余氯溢出，同时碳化硼氯化反应后残余碳不直接接触石英管，避免产生合成光气原料，在降低四氯化硅、残余氯气杂质含量的同时将光气含量降低到3ppm以下，进而达到电子级三氯化硼的要求，生产方法高效、稳定、可靠，可实现工业化生产。
一种光气含量氯化生产装置方法

[实用新型]一种安全防护性能好的隔离断路器-CN202320205102.1有效
发明人：乔民;王新宇;陈永智 -专利权人：保定瓦特信息技术有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： H01H71/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及小型隔离断路器技术领域，提出了一种安全防护性能好的隔离断路器，包括断路器本体，所述断路器本体的底部表面对称设置有两组底座，两组所述底座的内侧表面设置有滑轨，所述断路器本体的两端对称安装有两组第一螺纹头，每组所述第一螺纹头的内部活动连接有套杆，所述套杆的内部活动设置有延展杆，所述延展杆的端头设置有第二螺纹头，所述底座的内部设置有滑杆，所述滑杆的表面可滑动安装有连接板，所述连接板的一端安装有拨动板。通过上述技术方案，解决了现有技术中小型断路器的接线端和电线均暴露在外，容易造成触电，且该断路器滑动安装在安滑轨的表面，缺少固定机构，在使用的过程中容易造成断路器位移的问题。
一种安全防护性能隔离断路器

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