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[发明专利]一种石英管内表面的内部杂质迁移方法-CN202310659422.9在审
发明人： 陈富伦;徐卫良;尹黎明;刘守科;袁春爱;陈松;厉广强 -专利权人：江苏太平洋石英股份有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C03C23/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英管内表面的内部杂质迁移方法，包括：对石英管的内壁进行表面处理；将石英管固定于夹持装置，将内置喷灯伸入石英管一端的内部；开启所述夹持装置，对石英管进行径向旋转；将所述内置喷灯点火，沿石英管轴向方向移动到石英管的另一端，对石英管内部进行第一次加热，使石英管内壁的杂质进行第一次迁移，静置冷却；对石英管内部进行第二次加热，使石英管内壁的杂质进行第二次迁移，静置冷却。本发明通过二次加热，对内部杂质进行远离石英管内壁的迁移，使杂质存留在安全位置，避免在使用石英管时对产品进行杂质的污染。
一种石英管表面内部杂质迁移方法

[实用新型]气炼石英砣控制系统-CN202320312183.5有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;倪玲;徐传达;相祥;陈虎 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气炼石英砣控制系统，包括：近端系统，包括：与各炉体对应设置的多个采集系统，其用于采集气炼过程的作业数据；多个配电柜，其对应设置于各炉体近端，每个配电柜包括PLC和HMI，PLC与采集系统对应通信连接，用于对应接收采集系统采集的作业数据，PLC与HMI通信连接，用于将作业数据发送给HMI；和远端系统，包括：工控机，工控机与多个配电柜的HMI通信连接，工控机用于接收HMI读取的作业数据，以及传输参数指令至各个HMI，HMI用于下发参数指令至PLC，通过PLC控制石英砣生产。该技术方案提供了用于气炼石英砣的采集系统与用于控制采集系统和现场生产的器件之间的线路构造，实现危险异常情况的紧急控制，提高了控制效率和产品质量。
石英控制系统

[实用新型]用于石英加工的氢氧焰燃烧器-CN202223420191.6有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;倪玲;徐传达;贾标标 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： F23D14/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于石英加工的氢氧焰燃烧器，包括：混合腔体，其接受氢气和氧气的供给，进行混合；火焰喷嘴排，其包括从所述混合腔体向外并排延伸设置的多个喷嘴；和喷射腔体，其从所述混合腔体的外周部，沿所述火焰喷嘴排的方向延伸，围绕所述火焰喷嘴排，末端开放。以此技术方案，氢气、氧气在混合腔体内混合后通过火焰喷嘴排将氢氧气以线形喷出，形成线形火焰，对板状类石英材料作用时均匀性更好，喷射腔体使得火焰更加聚集。解决了石英板材类产品抛光或熔接效率低，质量差的问题，同时对火焰的均匀性进行改进。
用于石英加工氢氧焰燃烧

[实用新型]一种使用灵活的石英燃烧器-CN202222536274.5有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;徐传达;倪玲 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F23D17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种使用灵活的石英燃烧器，包括燃烧器主体，所述燃烧器主体的内部固定连接有防烫外罩，防烫外罩的内部侧壁固定连接有通道管，所述通道管的前端插接有石英管，石英管的外壁开设有多个开孔，通过外力使得石英管转动可使固体燃料燃烧更充分，并可将灰尘从石英管外壁的开孔中排出，所述燃烧器主体的上端固定连接有固体燃料室，所述燃烧器主体的后端活动连接有油液罐，不同的工作需要可选择不同的燃料类型，使得可用燃料种类大大增多，所述燃烧器主体的左右外壁之间转动连接有U型架，所述U型架的下端转动连接有液压杆，通过U型架和液压杆，可从不同维度调节燃烧器工作角度，使得使用更加方便灵活。
一种使用灵活石英燃烧

[实用新型]一种石英异形件的加工装置-CN202320096414.3有效
发明人： 陈富伦 -专利权人：连云港太平洋润辉光电科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英异形件的加工装置，包括工作台，工作台上通过固定机构设有石英件，工作台上的两端对称设有移动组件，移动组件上设有矩形块，矩形块的一端设有卡座，矩形块内部设有驱动组件，卡座的顶端和底端均设有倒角组件，倒角组件与驱动组件输出端相连接，倒角组件与石英件相匹配，并且矩形块上还设有收集组件，收集组件与倒角组件相匹配。本实用新型通过上述机构的相互配合，不仅可便对不同尺寸的石英件进行倒角加工，可提高装置的实用性，还可保证加工的效率，同时可及时将加工过程中产生的废屑进行收集，统一处理，避免飘散至车间甚至外界，可营造较为安全输送的工作环境，还可避免对外界的环境造成污染。
一种石英异形加工装置

[发明专利]一种石英玻璃管棒母材的装载装置及方法-CN202211627448.7在审
发明人： 陈富伦;潘建成;刘明伟;陆长和;王永进;葛绍卿;张苏亮;徐军涛;丁炳华;陈丹丹;厉广强;徐卫良;顾金泉 -专利权人：江苏太平洋石英股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C03B37/012 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英玻璃管棒母材的装载装置及方法，包括；石墨管，底部设有同心内陷的第一凹孔和第二凹孔，在形成有第一凹孔的管壁处设置有径向贯穿管壁的第一外销孔；第二凹孔深度未及第一外销孔，且内侧设有内螺纹；石墨调节套，设有底座、设于底座之上的螺纹部和中心设有与第一凹孔一致的通孔；螺纹部旋入第二凹孔的内螺纹；石墨芯杆，穿入第一凹孔和通孔，上部与第一外销孔对应位置处设有第一内销孔；石墨芯杆下部设有第二内销孔。采用本发明的装载装置可快速便捷进行安装，加快转运速度，减少转运中的晃动，提高安装准确率，且减少人为因素对母材表面的污染，有利于纯度的保持。
一种石英玻璃管棒母材装载装置方法

[实用新型]一种石英玻璃管棒母材的装载装置-CN202223422998.3有效
发明人： 陈富伦;潘建成;刘明伟;陆长和;王永进;葛绍卿;张苏亮;徐军涛;丁炳华;陈丹丹;厉广强;徐卫良;顾金泉 -专利权人：江苏太平洋石英股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B66C1/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石英玻璃管棒母材的装载装置，包括；石墨管，底部设有同心内陷的第一凹孔和第二凹孔，在形成有第一凹孔的管壁处设置有径向贯穿管壁的第一外销孔；第二凹孔深度未及第一外销孔，且内侧设有内螺纹；石墨调节套，设有底座、设于底座之上的螺纹部和中心设有与第一凹孔一致的通孔；螺纹部旋入第二凹孔的内螺纹；石墨芯杆，穿入第一凹孔和通孔，上部与第一外销孔对应位置处设有第一内销孔；石墨芯杆下部设有第二内销孔。采用本实用新型的装载装置可快速便捷进行安装，加快转运速度，减少转运中的晃动，提高安装准确率，且减少人为因素对母材表面的污染，有利于纯度的保持。
一种石英玻璃管棒母材装载装置

[实用新型]一种用于半导体石英玻璃的脱羟炉-CN202223422731.4有效
发明人： 陈富伦;张苏亮;丁炳华;厉广强;葛绍卿;何茂乾;顾金泉;陈丹丹;徐卫良 -专利权人：江苏太平洋石英股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体石英玻璃的脱羟炉，包括；炉体，设有炉壁、与炉壁一体成型的炉底和可推拉的炉门；料盘，滑动设于炉体内部，与炉门下部固定连接；其中，料盘用于放置半导体石英玻璃；炉壁内侧间隔安装多组加热带，用于提供石英玻璃脱羟的高温环境；炉体与冷却组件连接，用于对炉体内部温度的循环冷却；炉体与真空系统连接，用于提供石英玻璃脱羟的真空环境。本发明达到脱羟大直径半导体石英玻璃的能力要求，在半导体领域能够更快更好的发展起到基础作用，同时改进后的脱羟炉更加节能，使用更加便捷，性能更加稳定。
一种用于半导体石英玻璃脱羟炉

[实用新型]一种石英筒自动切割机-CN202222948530.1有效
发明人： 陈富伦;林凡川;魏玉龙 -专利权人： 陈富伦
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B28D1/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石英筒自动切割机，该切割机包括：支撑机构，其横向承载石英筒，并驱动石英筒沿轴线滚动；横向移动机构，其包括第一导轨和第一滑台；纵向移动机构，其包括设置于第一滑台且纵向设置的第二导轨和第二滑台；和切割机构，其设置于第二滑台；在横向移动机构驱动切割机构移动至承载于支撑机构的石英筒的规定位置后，纵向移动机构驱动切割机构对石英筒进行切割。以此方式，本实用新型实现了石英环的连续自动切割，相较于传统石英环切割机，切割过程中无需人工搬动调整石英筒位置，生产效率及切割尺寸精度明显提升，工人操作强度明显降低。
一种石英自动切割机

[实用新型]一种用于半导体洗净项目用的工装夹具-CN202222173228.3有效
发明人： 陈富伦 -专利权人：连云港太平洋润辉光电科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，包括清洗机和转动板，清洗机上端开设有清洗槽，清洗槽底部转动连接有转动板，转动板上滑动连接有一对夹板，转动板上且位于夹板相远离一侧固定连接有挤压气缸，挤压气缸输出端与夹板相远离一侧转动连接，本实用新型的有益效果是：在进行半导体硅片清洗时，可以利用挤压气缸对夹板进行推动，从而对半导体硅片进行夹持，并且在伸缩板向下运动解除对夹板转动反向的阻挡后，可以利用夹板的转动，实现对半导体硅片双面清洗，且无需对半导体硅片进行重新装夹，避免在多次装夹过程中，由于半导体硅片体积较小，提高了出现夹持损伤的概率。
一种用于半导体洗净项目工装夹具

[实用新型]一种石英玻璃管打孔用定位结构-CN202222239149.8有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;徐传达;陈虎 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B28D1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英玻璃管打孔用定位结构，包括结构本体，结构本体包括操作台、打孔架和定位架体，打孔架包括纵架和与纵架左侧滑动连接的横架，横架下端的内部滑动连接有横滑块，横滑块的下端固定连接有打孔电机，打孔电机的输出端安装有打孔刀；定位架体从左至右依次包括固定座、活动架和固定架，且固定架的下端面与操作台的上端固定连接，固定座的左侧固定连接有定位电缸，左侧定位座进行移动，调整两个定位座之间的距离，两个定位座方便对待打孔石英玻璃管进行夹持定位，保证待打孔石英玻璃管不会打滑晃动，同时，两个定位座之间的距离方便进行调整，便于定位固定不同直径的石英玻璃管，增强石英玻璃管打孔的质量与效率。
一种石英玻璃管打孔定位结构

[实用新型]一种半导体蚀刻用石英环加工装置-CN202222239591.0有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;徐传达;陈虎 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体蚀刻用石英环加工装置，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有多个支腿，所述工作台的上端面固定连接有加工箱，所述加工箱的内部底端固定连接有填充满加工箱底部的加工台，所述加工箱的上端面设置有安装板，加工箱的前后左右均为透明钢化玻璃，工人可以从外部清楚观察加工箱内部情况，使工料加工在加工箱内部完成，能够起到防护作用，避免碎屑飞溅，同时可以隔绝碎屑，使碎屑隔离在加工箱的内部，需要清理碎屑时，启动风机，风机通过喷风头进行吹风，将碎屑从右侧向左吹动，同时启动吸尘器，吸尘器通过吸尘头和吸尘管将碎屑吸附收集，从而可以自动清理碎屑，清理方便，降低劳动强度，使用方便。
一种半导体蚀刻石英加工装置

[实用新型]一种半导体用带有限位结构的检测装置-CN202221828992.3有效
发明人： 陈富伦 -专利权人：连云港太平洋润辉光电科技有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体用带有限位结构的检测装置，包括机体、连接架和检测探头，机体顶部一侧开设有缓冲槽，缓冲槽内槽设有限位座，限位座顶部设有开槽，限位座开槽内壁开设有两个滑槽，另两个滑槽均滑动连接有限位板，本实用新型具有以下优点：通过夹持结构将半导体晶片就进行夹持，保证了检测过程的稳定性，提升检测的效率；通过在夹持结构的下方设置缓冲结构，保证在探针下压时，晶片能够得到缓冲，防止检测下压的力度过大对其造成损伤。
一种半导体带有限位结构检测装置

[实用新型]一种石英片生产用清洗装置-CN202222517657.8有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;徐传达;陈虎 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英片生产用清洗装置，包括操作控制器和清洗装置本体，清洗装置本体包括清洗槽和安装在清洗槽上方的支撑顶架；支撑顶架的下方设置有喷水架，喷水架的下端连通有多个均匀分布的喷头；清洗装置本体还包括清洗架和放置架，清洗架和放置架均位于清洗槽的内部，清洗架包括左右分布的卡座，两个卡座相对的一侧均开设有卡槽，启动支撑电缸，方便将清洗架和放置架移动到清洗槽内部水位下方，便于对石英片进行浸泡清洗，并将清洗架和放置架上升到水位的上方，打开喷水架下方的喷头，便于冲洗清理石英片，且便于冲洗掉吸附在石英片外表面上的杂质，提高石英片清洗的质量。
一种石英生产清洗装置

[实用新型]一种石英玻璃管用的端口打磨器-CN202222517659.7有效
发明人： 陈富伦;刘明伟;徐传达;陈虎 -专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B24B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英玻璃管用的端口打磨器，包括工作台，所述工作台的上端面设置有支撑座，所述工作台的上端面右侧设置有第一气缸，所述第一气缸的输出端通过轴承转动连接有第一夹板，所述工作台的上端面左侧设置有电机，所述电机的输出端固定连接有第二夹板，石英玻璃管与第一夹板和第二夹板之间相对固定，此时启动第二气缸带动打磨轮向下移动，打磨轮位于石英玻璃管左端端口上方，便于对端口处进行打磨，同时启动电机，电机带动第二夹板转动，第二夹板转动时带动石英玻璃管以及第一夹板进行转动，从而可以对石英玻璃管端口外壁周缘进行均匀打磨，且转速均匀，相比人工手动转动精度更高，提高成品率。
一种石英玻璃管用端口打磨

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