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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]干扰和谐波的消除-CN201910795058.2在审
发明人：加里·登特;莱斯利·大卫·韦斯特布鲁克;陆思青;西蒙·德莱尼 -专利权人：泰雷兹控股英国有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： H04W24/02 文献下载
摘要：提供了用于减轻来自干扰信号的干扰的系统和方法。在一个实现中，系统包括消除电路，消除电路被配置为：从第一天线接收第一信号，第一信号包括源自干扰信号的干扰分量和源自期望信号的期望分量；以及接收第二信号，第二信号包括源自干扰信号的并以与第一信号不同的天线或不同的频率接收的干扰分量。第二信号中的干扰分量强于第一信号中的干扰分量。消除电路还被配置为根据第二信号导出消除信号；通过从第一信号中减去消除信号以实质上从第一信号中去除干扰分量来产生输出信号；以及输出输出信号。
干扰谐波消除

[发明专利]轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器-CN200810131215.1有效
发明人： 陆思青;巴拉吉·查卓瑟卡兰;保罗·爱德华·吉;尼汀·K·尹格勒;德米特里·鲁博弥尔斯克;原铮;埃利·Y·易 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2008-07-30 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明提供一种轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器。在一些实施例中，一种真空吸盘包括：主体，具有用于在其上支撑衬底的支撑表面；多个轴对称布置的沟槽，形成于所述支撑表面中，所述沟槽中的至少一些相交；以及穿过所述主体并在所述沟槽内形成的多个吸附孔，所述吸附孔用于在操作期间将所述沟槽流体耦合到真空源，其中，所述吸附孔布置在所述沟槽的非相交部分中。
轴对称均匀分布真空吸附加热器

[发明专利]用于电感耦合高密度等离子体处理室的内部平衡线圈-CN200810085676.X无效
发明人：罗伯特·陈;赖灿风;兴隆·陈;伟意·罗;华仲强;陆思青;穆罕默德·拉希德;梁起威;德米特里·鲁博弥尔斯克;埃利·Y·易 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2008-02-02 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种用于电感耦合高密度等离子体处理室的内部平衡线圈。线圈包括第一线圈部分，第二线圈部分和内部平衡电容。第一线圈部分具有第一端和第二端。线圈部分的第一端连接至电源。第二线圈部分具有第一端和第二端。第一线圈部分的第二端连接至外部平衡电容。内部平衡电容串联连接在第一线圈部分的第二端和第二线圈部分的第一端之间。应用内部平衡电容和线圈部分以提供沿着第一线圈部分的电压峰，其与沿着第二线圈部分的虚地实质上对准。
用于电感耦合高密度等离子体处理内部平衡线圈

[发明专利]具有侧壁磁体的感应等离子体系统-CN200610003273.7无效
发明人： 陆思青;梁起威;赖灿风;杰森·博洛金;埃利·Y·易 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2006-02-08 - 公布日： 2006-08-16 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种衬底处理系统具有限定处理室的壳体。衬底夹持器放置在处理室内并被配置来在衬底处理期间支撑衬底平面内的衬底。气体传输系统被配置来将气体引入到处理室内。压力控制系统维持处理室内的选定压力。高密度等离子体生成系统与处理室可操作的耦合。具有磁偶极子的磁约束环沿垂直于衬底平面的对称轴呈圆周形放置，并且提供了具有基本不平行于衬底平面的净偶极矩的磁场。控制器控制气体传输系统、压强控制系统和高密度等离子体系统。
具有侧壁磁体感应等离子体系统

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