专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]大气电浆镀膜装置-CN201320105092.0有效
  • 阎克敏;陈顺铭;江明俊;黄国政;简谷卫 - 北儒精密股份有限公司
  • 2013-03-07 - 2013-08-21 - C23C4/00
  • 一种大气电浆镀膜装置,包含一个壳体,及分别安装于壳体的一个电浆喷头与一个抽气设备。壳体具有一个工作面,工作面穿设有一个安装孔及多个抽气孔,电浆喷头具有一个外露于安装孔的电浆喷出部,抽气设备是与抽气孔连通,且可产生作用于抽气孔的负压吸力。通过于该壳体的电浆喷头外露处周围设置抽气孔,并经由抽气设备于壳体中产生负压吸力的方式,可将电浆废气与周围粉尘抽吸排出,防止镀膜作业空间内的其它设备被污染,且可防止多个电浆源气流的彼此干扰,有助于提高制程稳定性与镀膜质量。
  • 大气镀膜装置

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