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[发明专利]一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构-CN202210015794.3有效
发明人：朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构。转动组件包括轴座、转轴；旋转密封件以及隔离件；轴座与转轴通过轴承转动连接；旋转密封件与轴承同轴设置，旋转密封件的固定端设置有贯穿固定端的第一气流道。隔离件一端与固定端连接，且隔离件与转轴之间围设成第二气流道，第二气流道与第一气流道连通。隔离件可以一定程度上避免颗粒物进入转轴和旋转端的连接位置处，在使用过程中，气体依次流过第一气流道和第二气流道后，气体可以携带位于转轴和旋转端连接位置处的至少部分颗粒物离开前述位置，减小颗粒物对旋转密封件的影响，避免旋转密封件卡死，增加旋转密封件的使用寿命。
一种转动组件单晶炉用坩埚驱动机构

[实用新型]一种晶体生长用提拉组件和晶体生长用提拉装置-CN202220208890.5有效
发明人：朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本申请涉及晶体生长设备领域，具体而言，涉及一种晶体生长用提拉组件和晶体生长用提拉装置。晶体生长用提拉组件包括软轴、副炉室以及进气管，软轴可自由地穿梭于副炉室内，副炉室用于容纳晶体棒；副炉室设置有进气孔，进气孔于副炉室内壁上开口的朝向为软轴的轴向；进气孔于副炉室内壁上的截面面积大于进气孔于副炉室外壁上的截面面积；进气管与副炉室通过进气孔连通。通过在副炉室内壁上设置开口朝向为软轴的轴向的进气孔，且进气孔于副炉室内壁上的截面面积大于进气孔于副炉室外壁上的截面面积；极大程度上降低进入副炉室后气体的湍流程度，降低气体对软轴的扰动，从而避免晶体棒在提拉过程中因晃动而影响品质。
一种晶体生长用提拉组件装置

[实用新型]一种晶体生长用旋转驱动装置和晶体生长用提拉机构-CN202220209412.6有效
发明人：倪鹏;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本申请涉及晶体生长领域，具体而言，涉及一种晶体生长用旋转驱动装置和晶体生长用提拉机构。晶体生长用旋转驱动装置包括托盘、转轴、软轴以及转动驱动组件；转轴的输出端与托盘连接；转轴沿轴线方向设置有通道；软轴穿过通道，且软轴通过绝缘环与转轴连接；转动驱动组件用于驱动转轴转动；转动驱动组件与托盘绝缘连接。软轴与转动驱动组件之间相互绝缘，在使用过程中不可避免有微弱电流外逸的情况，软轴与转动驱动组件之间的绝缘，可以避免转动驱动组件的电流干扰软轴内部的电流，同样避免了软轴内部的电流干扰转动驱动组件上的电流；避免检测系统检测过程中电流之间的相互干扰，从而提高检测的准确性。
一种晶体生长旋转驱动装置用提拉机构

[实用新型]一种晶体生长用坩埚的升降组件和升降驱动装置-CN202220041281.5有效
发明人：朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶体制造设备领域，具体而言，涉及一种晶体生长用坩埚的升降组件和升降驱动装置。晶体生长用坩埚的升降组件包括安装座、基架、牵引绳和配重件，安装座用于安装坩埚；基架设置有竖直导轨，安装座与竖直导轨滑动连接；牵引绳绕设于基架，牵引绳具有相对的第一端和第二端，第一端与安装座连接；配重件与牵引绳的第二端连接。安装座能沿竖直导轨滑动，牵引绳连接配重件和安装座，使配重件的重力转化为斜向上牵拉安装座的力。可以减小安装座、坩埚等部件的重量对竖直导轨侧压的力，改善竖直导轨弯曲形变，使竖直导轨运行更加顺畅。
一种晶体生长坩埚升降组件驱动装置

[实用新型]一种传热组件和晶体生长用坩埚驱动装置-CN202220041284.9有效
发明人：朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种传热组件和晶体生长用坩埚驱动装置。传热组件包括转轴、第一管和旋转接头。转轴设置有沿长度方向延伸的容纳腔；第一管的一端伸入容纳腔并与容纳腔连通。旋转接头包括相互连接的旋转端和固定端，第一管的第二端、转轴均与旋转端连接；旋转接头开设有通孔，通孔与容纳腔连通。在转轴转动时，由于第一管和转轴均与旋转接头连接，第一管、转轴能同步转动，旋转接头的固定端不会相对转轴转动。在为转轴降温的同时可以避免第一管与转轴相对转动而产生异响；此外，由于第一管和转轴不相对转动，第一管的外壁以及容纳腔的内壁可以不光滑，在制造过程中不用考虑二者相对运动而可能造成的干扰，降低制造成本。
一种传热组件晶体生长坩埚驱动装置

[实用新型]一种晶体生长用坩埚的驱动装置和转动组件-CN202220041285.3有效
发明人：倪鹏;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种晶体生长用坩埚的驱动装置和转动组件。转动组件包括坩埚轴以及轴座；所述轴座与所述坩埚轴通过轴承连接，所述轴座具有连接端，所述轴座的所述连接端与所述坩埚轴之间通过旋转密封件密封；所述连接端设置有冷却腔，所述连接端设置有均与所述冷却腔连通的进口和出口。通过连接端设置冷却腔、均与冷却腔连通的进口和出口；可以向冷却腔内输送冷却液，冷却液的冷量通过连接端传递至与连接端连接的旋转密封件，使旋转密封件的温度降低，从而增加旋转密封件的密封性能，延旋转密封件的使用寿命。
一种晶体生长坩埚驱动装置转动组件

[实用新型]一种管道清理装置-CN202123456915.8有效
发明人：倪鹏;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B08B9/047 文献下载
摘要：本申请提供一种管道清理装置，属于管道清理技术领域。管道清理装置包括伸缩套、转动驱动件、连接轴以及管道清理刷。伸缩套被配置为能伸缩；伸缩套的内部贯穿设有容置腔，伸缩套的侧壁连接有与容置腔连通的抽气接头；伸缩套具有第一套体端和第二套体端，第一套体端的外壁连接有抽气密封垫片。转动驱动件连接于第二套体端并封闭容置腔位于第二套体端的开口。连接轴可转动地穿设于容置腔；连接轴具有第一轴端和第二轴端，第一轴端伸出容置腔位于第一套体端的开口，第二轴端与转动驱动件传动连接。管道清理刷连接于第一轴端。装置设置抽气结构和管道清理刷配合进行清理，能改善清理后管道内残留明显的问题，且能缓解清理对生产车间的洁净度的影响。
一种管道清理装置

[发明专利]单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件-CN202210088981.4在审
发明人：倪鹏;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件。卷丝轮组件包括壳体、转动轴、卷丝轮、丝杆、第一螺母、配重件以及导杆。壳体具有第一密封腔，卷丝轮位于第一密封腔内，卷丝轮与转动轴连接。丝杆与转动轴连接，丝杆的螺纹和卷丝轮的螺纹旋向相反；第一螺母与丝杆连接；配重件与第一螺母连接；导杆与壳体连接，第一螺母或者配重件与导杆滑动连接。当转动轴转动时，卷丝轮的运动方向与第一螺母、配重件的运动方向相反，在前述过程中，卷丝轮等部件的重心偏移较少甚至重心几乎不偏移，极大程度地避免钨丝绳晃动的问题，从而减少在提拉过程中单晶硅晃动，减少单晶硅出现位错的概率。
单晶炉晶体生长提升装置单晶炉用卷丝轮组件

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