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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]液处理装置和液处理装置的液检测方法-CN202010921031.6在审
发明人：桾本裕一朗;羽山隆史;铃木秀启 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供液处理装置和液处理装置的液检测方法。液处理装置包括：能够载置基片的载置部；对载置于上述载置部的上述基片供给处理液以进行处理的喷嘴；用于拍摄上述喷嘴以获取图像数据的拍摄部；和检测部，其基于多个上述图像数据来检测液面，该多个上述图像数据是在不从上述喷嘴供给上述处理液的期间内的彼此不同的时刻获得的，上述液面由设置于上述喷嘴内的上述处理液的流路中的该处理液或者该处理液以外的液体形成。本发明在对基片进行液处理时，能够可靠性高地防止处理异常。
处理装置检测方法

1
共 1 条

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