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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]装配气体注入模组单元的大容量CVD设备-CN202111279413.4有效
发明人：金甲锡;朴起圣;金太周;金种化;金圣允;钟婉榕 -专利权人：上海鑫华夏半导体设备有限公司;金甲锡
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本发明是关于装载气体注入模块单元的大容量化学气相沉积设备，以一个以上的气体注入模块单元和一个以上的气体排出部分构成，CVD反应腔体内装有器材，一个以上的气体注入模块单元包含2个以上的气体注入部分，通过控制气体注入模块单元的旋转板或盖子的开口，调整气体注入部的使用及更换周期，实现连续300小时不中断生长工艺及无需更换气体注入部分，制造厚度为10mm以上的均匀的多晶碳化硅厚膜及成形体为特点的装有气体注入模块单元的大容量CVD装置。
装配气体注入模组单元容量 cvd 设备

[实用新型]一种显影废液的回收利用装置-CN202220350931.4有效
发明人：金圣允;金太周;钟婉榕;金种化 -专利权人：上海三盼半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B01D36/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及废液的回收技术领域，且公开了一种显影废液的回收利用装置，包括装置主体，所述装置主体中端设有过滤筒，所述过滤筒顶端设有进料槽，所述过滤筒侧壁上中端设有把手，所述过滤筒侧壁下中端设有拉手，所述过滤筒底端设有万向轮与轮闸，所述过滤筒内部两侧顶端设有固定盘，所述固定盘底端设有自动伸缩杆与铲头，所述过滤筒侧壁上中端设有拉门，所述过滤筒内部上中端设有滤网，所述过滤筒内部中端设有第一回收箱，所述第一回收箱底端设有纳滤膜，所述纳滤膜底端设有第二回收箱，所述第二回收箱底端设有滑块，所述滑块底端设有滑轨，该装置具备通过滑铲可将滤网上的杂质排出过滤筒外，可便捷移动回收箱等优点。
一种显影废液回收利用装置

[实用新型]一种用于显影液浓缩回收的辅助装置-CN202220351056.1有效
发明人：金圣允;金太周;钟婉榕;金种化 -专利权人：上海三盼半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B01D29/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及显影液回收装置技术领域，且公开了一种用于显影液浓缩回收的辅助装置，包括辅助装置本体，所述辅助装置本体顶部设有进料口，所述进料口下端设有一号阀门，所述一号阀门下端设有一号过滤板，所述一号过滤板下端设有二号过滤板，所述连接管后端设有电子流量表，所述电子流量表后端设有流量调节阀，所述辅助装置本体内部下端设有转轴，所述转轴两侧设有叶片，所述转轴下端设有电机，所述出料口左右两端设有伸缩支架。该用于显影液浓缩回收的辅助装置通过设有转轴和电机，则可以将电机启动，电机则会带动上端的转轴进行高速转动，通过转轴外部的叶片也会进行转动，从而使物料和复配剂能够充分融合。
一种用于显影液浓缩回收辅助装置

[实用新型]一种化学品供应稳压装置-CN202220351749.0有效
发明人：金圣允;金太周;钟婉榕;金种化 -专利权人：上海三盼半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及稳压设备技术领域，且公开了一种化学品供应稳压装置，包括稳压装置本体，所述稳压装置本体中部设有稳压罐，所述稳压罐上端左侧设有进气口，所述进气口右侧设有化学物品进口，所述稳压罐前端上部设有数据显示屏，所述连接线下端设有控制设备，所述控制设备外部设有保护盒，所述控制设备右下端设有化学物品出口，所述稳压罐内部四周设有防腐蚀层，所述稳压罐内部左侧设有稳压腔，所述稳压腔内部中端设有弹性膜片。该化学品供应稳压装置通过设有数据显示屏，则会将稳压装置本体内部的情况进行显示，通过设有控制设备，且连接线将数据显示屏与控制设备进行连接，则可以对稳压装置本体进行调整控制。
一种化学品供应稳压装置

[发明专利]装有排气模组单元的大容量CVD设备-CN202210613001.8在审
发明人：金甲锡;朴起圣;金太周;金种化;金圣允;钟婉榕 -专利权人：上海三盼半导体设备有限公司;金甲锡
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明是关于装有气体注入模块单元的大容量化学气相沉积设备，形成了一个或多个气体注入模块单元和一个或多个气体排出部，并且在生长腔室内部安装了多种大小和形状的器材，气体排出部包含多个排气口的排气盒子，其上部以多数个排气口并附接到生长腔室的旋转轴，形成可旋转的旋转排气板的排气模组单元的大容量CVD设备，通过控制固定在排气盒子的一个以上的排气口和一个以上的旋转排气板的位相，对未反应的工艺气体及排气的排气位置、排气流动或排气量进行调节，并调节CVD生长腔室内的工艺气体的残留时间来制造均匀厚度及特性的多晶碳化硅厚膜或成形体为特征。
装有排气模组单元容量 cvd 设备

[实用新型]一种化工气体回收处理设备-CN202220351057.6有效
发明人：金圣允;金太周;钟婉榕;金种化 -专利权人：上海三盼半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B01D46/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体处理技术领域，且公开了一种化工气体回收处理设备，包括回收设备，回收设备包括过滤层和净化层，过滤层位于回收设备内侧顶端，净化层位于过滤层底端。该化工气体回收处理设备，消毒箱内侧的消毒水通过导管导入到雾化喷头内，通过雾化喷头释放出来的水雾对气体进行消毒清理，消毒后的气体通过过滤网进行过滤，过滤之后气体中的水分子吸收形成水滴积少成多，提升泵能够将过滤之后的水流导入到净化层内进行优化处理，保证水流中的毒素异味全部被吸附，当净化层内的水流达到一定水位时，就会启动浮球开关，通过浮球开关和导出泵之间配合使用，能够使处理之后的水导出进行重复利用，从而提高对废气的有效处理。
一种化工气体回收处理设备

[实用新型]一种化学品自动切换供应设备-CN202220350932.9有效
发明人：金圣允;金太周;钟婉榕;金种化 -专利权人：上海三盼半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B01D29/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学品供应设备技术领域，且公开了一种化学品自动切换供应设备，包括过滤箱，过滤箱一侧设置废料口，转轴上端与中端设置搅拌杆，过滤箱内部上端与中端设置过滤网架，过滤箱底端设置水泵，水泵后端设置输送管，输送管前端设置侦测器一号，输送管后端设置侦测器二号，供应箱上端设置进料口。该化学品自动切换供应设备，通过在输送管的前端安装侦测器一号，在输送管的后端安装侦测器二号，输送管在长时间的运输工作下两端开口处会松弛，容易造成化学品的泄露，在输送管两端安装侦测器可以及时检测到输送管的泄露情况并更换新的输送管，避免化学品的浪费或意外事故的发生，达到了具备减少供应设备泄露的有益效果。
一种化学品自动切换供应设备

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