专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种高透镀膜玻璃及其制备方法-CN202211705158.X在审
  • 彭塞奥;时君;金克武;王天齐;姚婷婷;杨扬;甘治平;李刚 - 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-08-08 - C03C17/34
  • 本发明涉及一种高透镀膜玻璃及其制备方法,其特征在于:在白玻璃基底的两面从里到外依次交替设有TiO2、SiO2层,基底两侧的涂层呈对称分布;(1)将白玻璃基底进行清洗、干燥;(2)采用磁控溅射法进行镀膜,先在白玻基底的一面进行镀膜,待镀膜完成后再进行另一面的镀膜;镀制TiO2层时采用金属Ti为靶材,采用直流电源功率3KW,通入200sccm氩气进行预溅射,预溅射结束后,通入氧分压为50sccm进行溅射;镀制SiO2层时以旋转Si靶为靶材,采用中频电源功率3KW,通入200sccm氩气进行预溅射,预溅射结束后,通入氧分压为40sccm进行溅射。本发明优点:采用普通白玻璃作为基底,采用磁控溅射法制备,生产成本更低;高透镀膜玻璃在550nm处透过率可达99.6%,在可见光区平均透过率可达97.4%。
  • 一种镀膜玻璃及其制备方法
  • [发明专利]一种溅射设备用的供气方法-CN202211705953.9在审
  • 沈洪雪;李刚;金克武;姚婷婷;王天齐 - 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-06-02 - C23C14/34
  • 本发明涉及一种溅射设备镀膜时的一种供气方法,采用一个环状供气通道(2),环状供气通道内环壁(4)上均布一组气孔(5),环状供气通道上端对称设置有两个与外部气瓶连接的供气管(3),环状供气通道侧壁上对称设置有两组吊绳(1),通过吊绳把环状供气通道固定于镀膜腔室中,环状供气通道固定于样品台的正下方或与样品台上的衬底材料处于同一水平位置,使内环壁上均布一组气孔对整个样品台形成全覆盖。按常规反应溅射或掺杂溅射工艺,设定相应气体流量、压力及温度,通过内环壁上均布一组气孔对样品进行均匀定量镀膜。本发明特别是以气体为掺杂源,可实现气体的离子化,提高气体的利用率,同时有效达到目标掺杂。
  • 一种溅射备用供气方法

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