专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板载置用托盘-CN201280003000.6有效
  • 郑灌镐;尹晟曦;金世领;金好淑 - 高美科株式会社
  • 2012-07-13 - 2016-10-26 - H01L21/683
  • 基板载置用托盘,可以包括:主体、引导部等。所述主体可以具有具备了载置基板的第一面的平板结构,并且可以由碳‑碳复合材料构成。所述引导部,可以引导所述基板向着所述主体,从而使所述基板载置于各自规定的位置。在太阳能电池基板上形成薄膜时,所述基板载置用托盘可以实施为,在等离子氛围下的高温工序中也可以稳定地维持物理特性,并且可以形成为载置更多数量的基板的大面积。
  • 基板载置用托盘

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