专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果6个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]柔性InGaZnO薄膜晶体管及制备方法-CN202011176681.9在审
  • 宋家琪;郑克丽 - 深圳技术大学
  • 2020-10-29 - 2021-03-02 - H01L29/786
  • 本发明公开了一种柔性InGaZnO薄膜晶体管及制备方法。柔性InGaZnO薄膜晶体管,包括:柔性衬底,柔性衬底为柔性PI衬底;缓冲层,缓冲层位于柔性衬底上侧;ITO栅极,ITO栅极位于缓冲层上侧;高K介质层,高K介质层位于ITO栅极上侧;InGaZnO有源层,InGaZnO有源层位于高K介质层上侧;ITO源极,ITO源极位于有源层上侧;ITO漏极,ITO漏极位于有源层上侧。通过将栅极、源极和漏极的材料设置为ITO,使得薄膜晶体管整体具有良好的柔韧性和高透光率。
  • 柔性ingazno薄膜晶体管制备方法
  • [发明专利]柔性InGaZnO薄膜晶体管及制备方法-CN202011179144.X在审
  • 宋家琪;郑克丽 - 深圳技术大学
  • 2020-10-29 - 2021-03-02 - H01L29/786
  • 本发明公开了一种柔性InGaZnO薄膜晶体管及制备方法。柔性InGaZnO薄膜晶体管,包括:柔性衬底、缓冲层、ITO栅极、高K介质层、InGaZnO有源层、源极、漏极,柔性衬底为柔性PI衬底,缓冲层位于柔性衬底上侧,ITO栅极位于缓冲层上侧,高K介质层位于ITO栅极上侧,InGaZnO有源层位于高K介质层上侧,源极位于有源层上侧,源极设置为圆柱结构,漏极位于有源层上侧,漏极设置为圆环结构,源极位于漏极中心。通过将源极设置为圆柱结构,将漏极设置为圆环结构,实现了中心对称型的沟道形状和传导电流分布,对机械形变和应力仍具备各项同性的特点,极大提升了InGaZnO薄膜晶体管的电学稳定性。
  • 柔性ingazno薄膜晶体管制备方法
  • [发明专利]柔性InGaZnO薄膜晶体管制备方法-CN202011176695.0在审
  • 宋家琪;郑克丽 - 深圳技术大学
  • 2020-10-29 - 2021-02-26 - H01L29/786
  • 本发明公开了一种柔性InGaZnO薄膜晶体管制备方法。包括:提供柔性PI衬底,在所述柔性PI衬底上依次形成缓冲层、ITO栅极、高K介质层,对所述高K介质层进行准分子激光退火,在所述高K介质层上形成InGaZnO有源层,通过光刻和显影工艺,在所述InGaZnO有源层上形成源极和漏极的光刻胶图形,对所述InGaZnO有源层进行准分子激光退火,在所述InGaZnO有源层上形成金属薄膜,通过光刻胶的剥离工艺形成源极和漏极。通过使用准分子激光退火,可实现纳米尺度下的局域性退火,对特定的薄膜区域实现温度提升,有效避免了全结构的热效应,降低柔性衬底材料玻璃化温度的限制。
  • 柔性ingazno薄膜晶体管制备方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top