|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 15个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]平板夹持装置-CN200410034748.X有效
-
郑光镐;李然珍;金成文
-
郑光镐
-
2004-05-09
-
2005-11-09
-
H01L21/68
- 本发明涉及一种夹持装置，尤其是一种可以在制造LCD、PDP或有机EL等平板显示器时固定玻璃基板之类的平板以及在各工序之间移动时有效地支持基板的夹持装置。本发明的平板夹持装置可以夹持基板(12)，基板(12)位于可控升降的底座(10)上面，夹持板(20)在底座上方进行水平运动，在夹持板(20)的底面形成多个孔(22)，再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜(24)或弹性板，在弹性膜(24)或弹性板的底面固定粘接膜(26)，弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀，弹性板调节装置则可以使弹性板上下运动并弯曲突出。本发明的结构简单，可以在真空中使用，减少耗电量，还可以发挥轻易夹持较大面积平板的效果。
- 平板夹持装置
- [发明专利]蒸镀工序用喷嘴蒸发源-CN200410031495.0有效
-
郑光镐
-
株式会社延原表
-
2004-03-30
-
2005-10-05
-
C23C14/26
- 提供一种特别在制作大面积的基板时，可使蒸镀在基板上的物质层的厚度的均匀性提高、防止物质的蒸镀率随时间急剧减少并可提高物质的利用率的蒸镀工序用喷嘴蒸发源。本发明的蒸镀工序用喷嘴蒸发源，其特征在于，备有设置了决定化学物质的蒸发方向且配置成圆锥状的喷嘴(11)的插入部(10)；设置成上方开口的圆筒状、在上侧设置了能插入上述插入部(10)的卡定台阶(21)的炉子(20)；位于前述炉子(20)的外侧、用于加热炉子(20)的丝极(30)；位于前述丝极(30)的外侧，用于使热损失最小化的反射板(40)；插入前述炉子(20)的内侧、用于把由前述丝极(30)产生的热量传到炉子(20)的内侧的热传导部(50)。
- 工序喷嘴蒸发
- [发明专利]用于大规模生产有机场致发光器件的设备-CN02822744.1有效
-
郑光镐;李三铉;黄昌勋
-
郑光镐
-
2002-11-15
-
2005-03-02
-
H01L21/20
- 本发明涉及一种用于制造有机场致发光器件的设备，尤其是涉及一种用于制造包括具有至少一层的薄膜的有机场致发光器件的设备。根据本发明用于制造有机场致发光器件的所述设备包括：一个衬底运送腔室(100)，其中成形有多个用于安装处理腔室的开口(110)，并且安装有一个泵端口(120)；一个衬底运送装置(200)，其安装于衬底运送腔室(100)中，用于在衬底运送腔室(100)的内部将在多个开口(110)中处理后的衬底运送至下一个开口；以及多个分别固附在衬底运送腔室(100)的开口上的腔室(300)。因此，所述衬底可以在衬底运送腔室的内部得以运送，并且可以在所述多个腔室的内部同时执行如衬底清洁、掩模对准和清洁、以及气相沉积的相关工艺。
- 用于大规模生产机场发光器件设备
|
