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[发明专利]一种宽幅钼靶材轧制用输送转向设备-CN202310942346.2在审
发明人： 邓德翼;单鹏;李德华;王淑辉 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-07-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B21B39/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽幅钼靶材轧制用输送转向设备，包括辊筒输送机，所述辊筒输送机的中部开设有矩形孔，辊筒输送机的机架与矩形孔对应的部位设有升降件，辊筒输送机的机架上设有安装架，安装架与矩形孔对应的部位转动设置有滑轨，滑轨上滑动设置有设有两个对称设置的直线电机，直线电机的底部设有推板，安装架上设有控制滑轨水平转动的驱动器。该宽幅钼靶材轧制用输送转向设备，将传统方式中的对中设备、输送设备和转向结构以辊筒输送机为基础重新进行设计，在实现板坯输送的同时还能够对板坯进行对中和转向操作；并且该设备与轧机新的布局方式可以大大节省空间，有助于提高空间的利用率，从而减少空间的浪费。
一种宽幅钼靶材轧制输送转向设备

[发明专利]一种串联型钼铼合金棒小直径旋压成型加工生产线-CN202310940234.3在审
发明人： 邓德翼;邓锐;王德建 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B21J9/02 文献下载
摘要：一种串联型钼铼合金棒小直径旋压成型加工生产线，其采用若干台棒材旋压机，通过首尾相接、对中设置的方式，构成串联型钼铼合金棒小直径旋压成型加工生产线；采用该旋压加工生产线可以实现钼铼合金棒材小直径成型的连续旋压加工生产，从而极大提高了钼铼合金棒材的加工效率，使企业的经济效益得以改善。
一种串联型钼铼合金直径成型加工生产线

[发明专利]一种宽幅靶材退火炉的进出料装置-CN202310630385.9在审
发明人： 邓德翼;王德建;黄飞虎 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽幅靶材退火炉的进出料装置，包括机架，所述机架上设有辊筒输送机，辊筒输送机上的辊筒等间距设置，相邻两根辊筒之间设置有支撑轴，支撑轴的两端安装在安装架上，机架的底部设有控制安装架水平移动的液压缸一，机架的上表面设有控制安装架上下移动的升降件。该宽幅靶材退火炉的进出料装置，采用单向进料以及出料的方式，使退火炉可以进行密封，可以提高热效率，减少热量的浪费，并且采用真空退火时能够避免板坯退火过程中氧化，从而间接提高靶材的纯度和质量；并且可以减少整个输送和退火设备组的占地面积，并缩短板坯转移时的移动轨迹，从而节省时间，并提高工作效率，使用方便。
一种宽幅退火炉进出装置

[发明专利]一种溅射靶材表面粗糙度精度控制工艺-CN202310812230.7在审
发明人： 邓德翼;王德建;李德华 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：一种溅射靶材表面粗糙度精度控制工艺，包括以下步骤：S1：对溅射靶材的表面进行铣削，使溅射靶材表面的平均粗糙度（Ra）为16‑20μm；S2：使用豪克能刀具对溅射靶材的表面进行加工，使溅射靶材表面的平均粗糙度（Ra）为3‑6μm；S3：对溅射靶材的表面进行喷砂处理，使溅射靶材表面的平均粗糙度（Ra）为8‑12μm。本发明首先通过铣刀在溅射靶材上加工出粗大的刀痕，然后通过豪克能刀具削峰填谷，最后通过喷砂将溅射靶材表面的粗糙度调整到合理的区域内。这种粗糙度先大、后小、再适中的精度控制工艺，一方面可消除尖锐凸起、避免极间放电的发生；另一方面可在溅射靶材的表面上形成一层缓慢起伏的漫散射面，达到提高溅射粒子数的目的。
一种溅射表面粗糙精度控制工艺

[实用新型]一种制备复合接点带用可连续调节定位装置-CN202320264382.3有效
发明人： 邓德翼;王淑辉;邓锐 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B23K11/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备复合接点带用可连续调节定位装置，包括下固定架和上固定架，所述下固定架和上固定架的一端通过铰接件转动连接，且下固定架的另一端转动设置有弹性柱，弹性柱的上端与上固定架转动连接，所述下固定架和上固定架上设有两组配套设置的定位件。该制备复合接点带用可连续调节定位装置，可以根据待复合带材的宽度进行调节，从而对待复合带材进行准确定位，能够适用于多种尺寸带材的复合制备，可以降低生产成本，并且上侧的压辊可以根据带材的厚度连续自动调节适应，方便带材的定位导向，有助于实现精准的滚焊复合，使用方便。
一种制备复合接点带用可连续调节定位装置

[发明专利]一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法-CN202310471871.0在审
发明人： 邓德翼;王淑辉;李晨浩 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B22F5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法，包括以下步骤：将不同批次外购的原料混合60‑90min分钟再后通过200目筛网的振动筛进行筛分，从而混合的超细粉末原料；将混合后的原料称量并装入胶套内部并抽真空；将内管插入到橡胶模具内圈中，使调节橡胶模具内侧面不会向内弯曲形变。该降低靶材内部组织缺陷的装置及方法，可以在填充前排出橡胶模具1内部空气，然后直接通过原料挤压并填充满橡胶模具1，避免原料填充过程中空气无法排出，可以在靶材制备过程中大大减少靶材内部残留气体，减小靶材内组织缺陷，从而提高靶材致密性，还可以避免由于残留气体的原因使靶材出现表面缺陷。
一种降低内部组织缺陷装置方法

[发明专利]一种高致密度钼靶材制作设备及制作工艺-CN202310177871.X在审
发明人： 邓德翼;李德华;邓锐;黄飞虎;王淑辉 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：一种高致密度钼靶材制作设备，包括上旋转压头和下旋转压头；在下旋转压头的端面上设有用于盛放钼粉的圆环状的压槽，在上旋转压头的端面上设有与压槽相对应的压环；在上旋转压头和下旋转压头之间施加有方向相对的轴向力和方向相反的旋转扭矩。一种钼靶材制作工艺，通过高压、高速摩擦使钼坯件产生热塑变形。在微观上，该热塑变形能够使钼原子产生滑移、扩散、蠕变，各钼原子之间重新建立键连。在宏观上，该热塑变形能够大幅增加钼颗粒之间的错位密度，消除了钼颗粒之间的空隙，大幅增加了钼坯件的致密度。此外，本发明能够直接将钼粉压制、烧结成符合钼靶材尺寸的坯件，不但省去了热轧工序，而且不需要切边，材料的利用率得到巨大的提高。
一种致密度钼靶材制作设备工艺

[发明专利]一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺-CN202211743401.7在审
发明人： 邓德翼;邓锐;王德建;单鹏;黄飞虎;赵庆利 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B21B1/22 文献下载
摘要：一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺，该方法在施工现场搭建现场地面拼装胎架，钢桁架桥各梁段从加工厂运输至施工现场，在现场地面拼装胎架上进行钢桁架桥各梁段的焊接、铆接拼装；在地面完成钢桁架桥的拼装后，通过双吊车抬吊的方法完成钢桁架桥在桥墩上的架设；该宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺省去了传统的搭建高空支撑架的施工流程，因此施工周期及施工成本均得到大幅降低，施工安全性也得到大幅提高；同时在地面进行钢桁架桥各梁段的栓接、焊接拼装时，对钢桁架桥梁拼装线性的测量及调整更加方便，使得施工难度得以降低，施工效率和施工质量也得以大幅提高。
一种宽幅钼靶材轧制生产线生产工艺

[发明专利]一种靶材高利用率真空磁控溅射镀膜设备-CN202310299715.0在审
发明人： 邓德翼;邓锐;王德建 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-03-25 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种靶材高利用率真空磁控溅射镀膜设备，在用于固定靶材的铜背板下部设置了活动磁铁组件；在溅射镀膜过程中，磁铁组件往复移动，使靶材的溅射区域不断发生改变，解决了以往靶材溅射固定在某个区域的弊端，使靶材溅射区域增加，从而提高了高价值靶材的利用率，使企业的经济效益得以提高。
一种靶材高利用率真空磁控溅射镀膜设备

[实用新型]一种钼靶空心管坯输送装置-CN202223156591.0有效
发明人： 邓德翼;王德建;邓锐;李德华;黄飞虎;单鹏 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B65G47/94 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钼靶空心管坯输送装置，包括支撑架、水平板和导流板，所述水平板活动安装在支撑架的顶部，所述水平板靠近导流板的一侧设有转轴，所述导流板靠近水平板的一端设有转动设置在转轴上的套筒，所述支撑架的内部下端转动设置有伸缩件，且伸缩件的顶部与导流板的底部转动连接。该钼靶空心管坯输送装置，可以将工频感应烧结炉推车上的空心管坯进行铲起转移和输送，无需人工手动夹取即可将工频感应烧结炉推车上的空心管坯输送到上料设备上，同时能够避免传统方式人工对空心管坯造成损伤，方便操作。
一种空心输送装置

[发明专利]使用蓝膜保护硅片表面部分二氧化硅膜的方法-CN201510386872.0有效
发明人：苗利刚;史舸;邓德翼;王文卫;焦二强;李战国 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：使用蓝膜保护硅片表面部分二氧化硅膜的方法，通过使用丙烯酸粘着剂蓝膜作为保护二氧化硅层用蓝膜，然后在多余的二氧化硅层经氟化氢腐蚀去除后浸入半导体清洗常用的氨水溶液内，经过一定时间后蓝膜自动被剥离硅片表面。该剥离蓝膜方法操作简单，可以进行批量脱膜，大大提高了生产效率，且没有人员参与到剥离蓝膜的动作中，减少了人员对硅片的沾污与损伤，同时硅片表面的残余的蓝膜胶在剥离蓝膜的过程中被全部去除，节省了工序，降低了成本。
使用保护硅片表面部分二氧化硅方法

[实用新型]一种单晶炉循环水安保装置-CN201520609259.6有效
发明人：高林玉;张明亮;邓德翼;张峰 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-08-14 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种单晶炉循环水安保装置，循环水泵抽取循环水箱内的循环水后，经板式换热器中的冷冻水冷却后对单晶炉进行降温，备用水泵与循环水泵并联连接，且处于关闭状态，在板式换热器与单晶炉之间的冷却水管路中设置电接点压力表，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水泵，以抽取循环水箱内的循环水进入板式换热器中冷却，进入对单晶炉进行降温。本实用新型通过在冷却水循环系统中增设电接点压力表来监控系统是否出现故障，并在出现故障时由软启动柜控制备用水泵的启动，从而保证单晶炉循环水能有一个基本水压，能维持炉台一个最低的循环水量，防止单晶炉的干烧。
一种单晶炉循环安保装置

[实用新型]一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统-CN201520475547.7有效
发明人：苗利刚;邓德翼;史舸;李战国;李海涛;寇文辉 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，包括储液罐、补液罐和用于测量补液罐重量的称重装置，补液罐上设有分别向沉积炉腔体输送正硅酸乙酯的进液管Ⅰ和向补液罐内补充正硅酸乙酯的补液管，储液罐上的进液管Ⅱ通过连接管与补液管以可拆卸方式连通。本实用新型使用称重替代使用液位计的方法来确定不锈钢瓶内的正硅酸乙酯量，该方法使用市面上容易购买且价格相对低很多的称重装置替代价格高昂且需要进口的专用液位计，降低了采购周期、采购成本及后期的校准等维护成本，同时在不锈钢瓶上不需要增加液位计口，也降低了不锈钢瓶的成本，称重装置不和正硅酸乙酯液体接触，避免了引入沾污的可能。
一种低压化学沉积炉用正硅酸补充系统

[实用新型]一种单晶硅抛光片在线检测仪-CN201520610444.7有效
发明人： 邓德翼;高烨;赵文龙;胡晓亮;李宏儒;牛海涛 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-08-14 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种单晶硅抛光片在线检测仪，包括千分表表架和千分表，千分表表架的中间位置设有千分表安装孔，千分表安装孔内设有保护环，所述千分表穿过千分表安装孔并通过保护环装配在千分表表架上，千分表表架上还设有用于控制保护环与千分表轴之间间隙大小的顶丝，所述千分表表架位于千分表安装孔的一侧沿长度方向设有三个可连接底脚的底脚安装孔Ⅰ，千分表表架位于千分表安装孔的另一端沿长度方向设有三组可连接底脚安装孔Ⅱ，每组底脚安装孔Ⅱ包括并排设置的两个底脚安装孔Ⅱ。本实用新型可以直接在线检测单晶硅抛光片抛光去除量和锥度的目的，提高了生产的成品率。
一种单晶硅抛光在线检测

[实用新型]一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置-CN201520475568.9有效
发明人：李战国;史建强;邓德翼;李建刚 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： B24C9/00 文献下载
摘要：一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置，在不锈钢槽体长度方向的两端分别设置有与下水管道连接的出水口和与喷砂设备排液口连接的进水口，不锈钢槽体的内部设置有两块不锈钢隔断溢流板，且两块不锈钢隔断溢流板将不锈钢槽体的内部空间依次分隔成一级沉淀槽、二级沉淀槽和三级沉淀槽。本实用新型使砂液流入回收装置时，先后经过一级、二级和三级沉淀后，剩余几乎不带砂子的水会通过回收装置出水口排至下水管道。通过本回收装置，可以回收90%以上的砂子，大大降低生产成本，而且还避免直接排至下水管道从而造成管道堵塞、环保等问题，具有结构简单、环保节能、使用方便、安全可靠等的优点。
一种晶片背面湿法喷砂砂子回收装置

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