专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶硅异质结太阳能电池高效吸杂的前清洗方法-CN202311007489.0在审
  • 张建安;邓倚雄;王浩 - 中建材浚鑫科技有限公司
  • 2023-08-11 - 2023-09-22 - H01L31/18
  • 本申请涉及硅片处理的技术领域,具体公开了一种晶硅异质结太阳能电池高效吸杂的前清洗方法。此方法包括了混合酸液前清洗、制绒、混合酸液以及氢氟酸后清洗等步骤,所得硅片进行磷扩散吸杂处理。混合酸液可以微腐蚀硅片表面去除硅片表面的金属杂质,再在微腐蚀制绒过程中使得硅片表面呈现金字塔形貌,增大硅片比表面积,从而扩大吸杂面积,同时由于制绒采用微腐蚀的制绒方式保留硅片表面的机械损伤区,通过制绒以及机械损伤区的配合,使得硅片在后续的吸杂过程中形成双吸杂中心,即使硅片背面未进行磷扩散吸杂,背面也可因为机械损伤区的存在达到较好的吸杂效果,从而使得硅片的扩散面以及背面未扩散面均可吸杂,提高硅片的吸杂效率。
  • 晶硅异质结太阳能电池高效清洗方法

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