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[实用新型]衬底托盘-CN202221630768.3有效
发明人：许翔;倪健;薛聪 -专利权人： 迪希埃（北京）半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种衬底托盘，包括基座以及多个支撑件。基座具有通孔，多个支撑件沿通孔的孔壁的周向彼此间隔设置，支撑件用于沿第一方向支撑衬底。其中，支撑件被构造为能够与衬底形成线接触。本实用新型提供了的衬底托盘，支撑件与衬底线接触，能够减少支撑件与衬底之间的热传导，在确保了可靠支撑衬底的同时，减少衬底托盘对衬底温度均匀性和热应力的影响，进而提升外延片的质量。
衬底托盘

[实用新型]液氮冷屏结构-CN202221726251.4有效
发明人：陈志敏;倪健;薛聪 -专利权人： 迪希埃（北京）半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种液氮冷屏结构，其包括液氮冷屏、安装室以及连接组件，安装室包括顶板以及连接于顶板的侧板，顶板与侧板围设形成容纳腔，安装室具有与容纳腔连通的第一开口，第一开口用于供液氮冷屏伸入容纳腔；连接组件包括第一连接件和第二连接件，第一连接件和第二连接件其中一个安装在顶板上，另一个安装在液氮冷屏上，且第一连接件和第二连接件连接，以使液氮冷屏悬挂于容纳腔内。本实用新型提供的液氮冷屏结构，只需要将液氮冷屏伸入至容纳腔内，再连接第一连接件和第二连接件，即可实现液氮冷屏的安装，安装步骤简单，安装效率高。
液氮结构

[发明专利]设备异常检测方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202111047140.0在审
发明人：许翔;倪健;薛聪 -专利权人： 迪希埃（北京）半导体技术有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本申请涉及一种设备异常检测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取待检测设备的状态数据；对获取数据进行预处理，得到时序分类的时序状态参数，根据时序状态参数及异常检测算法得到时序状态特征参数；获取预定时间段的各时间节点的时序状态特征参数，以预设算法对获取的各时间节点的时序状态特征参数进行分析，判断各时间节点的时序状态特征参数是否异常，其中，预定时间段以当前时间点为结束节点；根据判断结果判定待检测设备是否处于异常状态。通过上述方法自动实现对待检测设备的异常检测，避免了人工检测随检测时间增加而出现的错检概率和漏检概率上升的问题，稳定性和准确性较高，并降低了工作人员的工作量。
设备异常检测方法装置计算机存储介质