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[发明专利]一种零件清洗设备-CN202310312757.3有效
发明人：金巨万;辛长林;阚云峰;王贝 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B24B5/12 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造领域，公开了一种零件清洗设备，包括承托底座、架设于承托底座上的承托顶板和设于承托底座上的碾磨结构和除尘结构，除尘结构包括安装于承托底座上的除尘气缸、转动安装于除尘气缸输出轴的除尘管柱、固定于承托顶板底部的空心盘、若干根安装于空心盘底部的圆周边缘的除尘管体，空心盘和除尘管体周侧设有若干个喷口，空心盘和除尘管体上的若干个喷口均朝向待磨腔体。本申请具有改善手动用水枪对腔体冲洗而导致工作效率低下的效果。
一种零件清洗设备

[发明专利]硅材料加工工艺-CN202310805370.1在审
发明人： 辛长林;王宇;陈浩;崔金石 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本申请涉及硅材料技术领域，具体公开了硅材料加工工艺。本申请的硅材料加工工艺，包括以下步骤：先采用切削液#3对原材料进行粗磨加工，采用切削液#1对硅材料进行第一次研磨，并进行外径加工；采用切削液#2对硅材料进行打孔加工，再采用酸液对硅材料进行酸性孔蚀刻，采用切削液#1对硅材料进行两次研磨后，进行外段径加工；最后采用切削液#1对硅材料进行第四次研磨后，得成品；在加工过程中，对研磨和打孔的硅材料进行超声清洗，且采用接触式和非接触式相结合方式进行测量，保证加工余量合理；经本申请加工工艺，所得硅材料的打孔效果优异，具有广阔的市场前景。
材料加工工艺

[发明专利]一种高温共烧陶瓷生瓷侧印工艺-CN202310918715.4在审
发明人：秦双红;辛长林;金巨万 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B41M1/12 文献下载
摘要：本发明涉及高温共烧陶瓷生产相关技术领域，公开了一种高温共烧陶瓷生瓷侧印工艺，通过固化胶泥、陶瓷板压平机构以及干燥炉的配合，在印刷托盘的输送过程中陶瓷板压平机构就可以实现对陶瓷印刷面的压平，压平操作简单，且平整度高，固化胶泥在压平前和压平后都可以对陶瓷起到有效的支撑作用，在经过紫外线照射固化后固化胶泥可以对陶瓷进行固定定位，避免陶瓷移位，另外在干燥炉对导体浆料进行干燥的同时还可以对固化胶泥进行解离复原，便于陶瓷的取下和固化胶泥再次利用。
一种高温陶瓷生瓷侧印工艺

[发明专利]一种水热法生产氧化钇喷涂粉的制备方法-CN202310435796.2在审
发明人： 辛长林;王必庆 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-04-22 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C01F17/218 文献下载
摘要：本申请涉及陶瓷材料技术领域，尤其是涉及一种水热法生产氧化钇喷涂粉的制备方法,它包括以下步骤：氢氧化钇加水制浆‑水热‑煅烧‑研磨‑改性‑造粒‑脱胶‑筛分‑除杂；本申请水热法生产氧化钇喷涂粉的制备方法，让氢氧化钇通过特定的水热处理形成实效晶化机制，和特定的表面改性，使得氧化钇料浆具有较好的悬浮性，造粒后的粉体压实密度大，强度高，不易破碎，使用效果好；晶格良好的喷涂粉在熔射工艺下的涂层外观洁白，与基材粘结强度高，成本低。
一种水热法生产氧化钇喷涂制备方法

[发明专利]一种电极加工工艺-CN202310128219.9在审
发明人： 辛长林;金巨万;杨斌;王贝 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本发明涉及电极加工技术领域，具体公开了一种电极加工工艺，包括以下具体步骤：S1：涂层液的制备：将稀土原材料加工成涂层液备用；S2：零件表面处理：对待加工的零件表面进行加工以便对零件表面喷射涂层液；S3：零件的喷涂：将S2中加工好的零件放置在喷涂装置上进行喷涂工作；S4：零件的包装：对S3中喷射好涂层的零件进行后段修复和检查将零件包装入库；通过喷涂装置对金属零件进行喷涂工作，促使零件表面喷涂的涂层分布均匀，降低了通过人工手动进行喷涂时质量差的麻烦，保证了金属零件的喷涂质量。
一种电极加工工艺

[发明专利]一种晶圆高效清洗设备-CN202111621743.7有效
发明人： 辛长林;刘洪刚 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆高效清洗设备，属于清洗设备技术领域，集中进行清洗，容易造成清洗范围广，导致清洗不够均匀，而逐一进行清洗又同时难以实现快速、有效的自动化清洗过程，包括安装架，安装架上端固定安装有酸洗组件，单一的晶圆通过放置环形夹具内，然后通过传送带装置依次经过酸洗、两次水洗，最后再烘干的过程，实现快速、自动化清洗过程；电机带动拨杆、环形圈连续转动，通过间歇盘使分隔盘作间歇性的转动，从而通过弧形逐一将夹模进行短暂时间的驻停，电机带动凸轮转动，使L形推杆带动多轴毛刷上下移动，并且通过齿轮组联动活塞轴转动，从而带动多轴毛刷连续转动，继而能实现对晶圆本体上表面进行清洗。
一种高效清洗设备

[发明专利]一种半导体精密部件超声波振荡清洗机-CN202210376375.2有效
发明人： 辛长林;李敏成;阚云峰 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，属于超声波振荡清洗机技术领域，以往清洗机内液面上的污渍通过水流冲洗，取出半导体精密部件时会附带部分污渍，且不同的规格的半导体精密部件分开夹持，增加工作量，包括超声波清洗机，通过按动弧形拨片使第一齿轮带动第二齿轮、丝杆转动，带动十字滑轴套移动，从而使弧形夹块脱离第四矩形槽，便于安装，且矩形盒体为中空状，通过扭力弹簧轴的弹力能同时安装多个不同规格的半导体精密板件进行清洗；封门通过转轴带动大齿轮、小齿轮以及收卷轴转动，通过导轮对钢线导向而收卷钢线，使滑板能沿凸形滑槽滑动，从而通过矩形框刮除液面上表面的污渍，并排出至集污盒内。
一种半导体精密部件超声波振荡清洗

[发明专利]一种光电零部件的超净干燥处理装置-CN202111622529.3有效
发明人： 辛长林;阚云峰 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： F26B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电零部件的超净干燥处理装置，具体涉及光电零部件加工技术领域，包括底框，所述底框的顶端固定安装有底板，所述底板的顶端固定安装有防护框，所述防护框的内壁顶部设有输料组件，所述底板的顶端两侧分别固定安装有第一导料组件和第二导料组件，所述底板顶端靠近第一导料组件的一侧固定安装有清洁组件，所述底板顶端靠近第二导料组件的一侧固定安装有干燥组件，本发明，通过设置输料组件并配合使用第一导料组件和第二导料组件，对多个光电零部件进行依次间歇性自动进料，并对多个光电零部件依次进行自动间歇性运输，以便后续对光电零部件进行清洁和干燥，从而提升了整个装置对光电零部件的处理效率。
一种光电零部件干燥处理装置

[发明专利]一种陶瓷粉末喷雾干燥装置-CN202211254818.7在审
发明人： 辛长林;阚云峰;金巨万;王贝 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： F26B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷粉末喷雾干燥装置，具体涉及物料干燥技术领域，包括支撑架，支撑架的中部固定安装有干燥室，干燥室的顶部设有入料组件，干燥室的底部设有进风组件，干燥室中转动设有清理机构，干燥室的顶端设有和清理机构配合使用的电机，干燥室的中部设有混合机构，本发明，通过设置清理机构配合使用电机，带动第一刮板、第三刮板在干燥室中进行稳定的高速转动，对干燥室的内壁进行刮板清理，防止干燥室的内壁附着陶瓷粉末或是陶瓷稀料，并带动第二刮板进行转动对入料框口的内侧表面进行刮板清理，防止入料框口内侧入料穿槽聚集陶瓷稀料，防止聚集的陶瓷稀料干燥对入料穿槽造成封堵影响后续陶瓷稀料的喷雾干燥作业。
一种陶瓷粉末喷雾干燥装置

[发明专利]一种基于干冰喷射的零件污染物处理装置-CN202211256043.7在审
发明人： 辛长林;阚云峰;金巨万;杨斌 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于干冰喷射的零件污染物处理装置，属于干冰清洗技术领域，当零部件的外侧不规则时，现有的技术无法将零部件夹紧，由此导致后续清洗零部件时零部件的稳定性较差，且不便翻转零部件，使得零部件的清洗较为麻烦，包括操作台，操作台的一面固定设有干冰喷射器，操作台靠近干冰喷射器的一面设有两个竖板；通过驱动竖板移动，竖板通过转动轴使连接座移动，连接座使活动杆移动，当活动杆的端部与零部件的外侧壁接触时，套筒内的伸缩弹簧收缩，直至活动杆将零部件夹紧，从而方便的实现了外侧形状不规则零部件的夹持固定，进而有效的提高了固定不规则零部件的便捷性，以及有效的提高了后续清洗作业时零部件的稳定性。
一种基于干冰喷射零件污染物处理装置

[发明专利]一种机器人自动喷涂系统-CN202211255012.X在审
发明人： 辛长林;阚云峰;金巨万;杨斌 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种机器人自动喷涂系统，属于喷涂技术领域，包括底座，底座上转动安装立轴，立轴的顶部安装转盘，转盘的顶部安装夹持机构，立轴一侧的底座上安装两个固定板，固定板间安装分动机构和传动机构，分动机构与传动机构连接，分动机构连接转盘的底部边缘，底座的端部固定安装固定架，固定架内安装升降机构，升降机构连接传动机构，升降机构与固定架间安装喷涂机构。工件通过夹持机构快速夹持固定在转盘上，通过分动机构和传动机构使得转盘和升降机构联动，达到转盘转动一个角度然后停止，然后升降机构带动喷涂机构对工件轴向表面均匀喷涂，然后升降机构停止，转盘再次带动工件转动一个角度，如此循环，实现对工件表面全面且均匀的喷涂。
一种机器人自动喷涂系统

[发明专利]一种用于光电零部件生产用喷砂设备-CN202211254972.4在审
发明人： 辛长林;阚云峰;金巨万;王贝 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B24C9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光电零部件生产用喷砂设备，具体涉及光电零部件生产技术领域，现有喷砂设备中大多不具备筛选机构，从而无法将砂料中掺杂的颗粒性杂质等去除，进而易出现大颗粒杂质等损伤光电零部件的现象，部分喷砂设备中虽设有筛选机构，但其筛选效率较低，且在筛选机构使用时，需将筛选机构停止运行才可将其内部的颗粒杂质等进行清理，清理较为不便，实用性较低，包括底板，底板的一侧上端固定安装有喷砂机本体，底板的另一侧上端固定安装有与喷砂机本体配合使用的处理箱，通过筛选机构的设置使用，能够将待使用的砂料通过筛选框进行筛选，从而能够将砂料中掺杂的大颗粒杂质等进行拦截，避免后期使用期间大颗粒杂质等损伤光电零部件。
一种用于光电零部件生产喷砂设备

[发明专利]一种晶圆清洗系统-CN202210939459.2在审
发明人： 辛长林;董金勇 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆清洗系统，包括清洗机架、上料台、机械臂和气悬浮移动装置，清洗机架上依次设置有多个槽子，每个槽子的内壁上均涂覆有氧化钇涂层，至少存在一个槽子作为药液槽、一个槽子作为水槽、以及一个槽子作为干燥槽；上料台上放置有上料盒；机械臂上可拆卸地连接有机械手，机械手用于抓取上料盒中的晶圆并放置于相应的槽子中；机械臂与气悬浮移动装置相连接，气悬浮移动装置用于驱动机械臂移动至对应的槽子处。本发明可以有效提高晶圆的清洗效率和清洗效果。
一种清洗系统

[发明专利]一种应用于陶瓷涂层的氧化钉分散液的制备设备-CN202210362902.4在审
发明人： 辛长林;阚云峰;刘洪刚 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01F31/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种应用于陶瓷涂层的氧化钉分散液的制备设备，属于氧化钉分散液技术领域，将配比的不同的材料，然后加注在制备筒内进行混合处理，常会导致因混合不充分，使制备出的分散液不达标，包括底安装台，底安装台上表面固定设有上安装台，通过活塞杆沿滑套内往返滑动，并由三通气管分别向水罐和酸液罐内注压，使水和酸液经排液管以及软管流入混合筒内，而储料筒内粉状的氧化钉由球面块的送料槽进入定量筒的矩形槽内，通过第三齿轮带动定量筒往复转动，使矩形槽内的氧化钉由锥形筒以及软管进入混合筒内，同时电机通过第二齿轮带动第一连杆和拉杆移动，能使混合筒持续性晃动，从而实现定量投料以及均匀混合。
一种应用于陶瓷涂层氧化分散制备设备

[发明专利]一种半导体生产抽样检测抓取机构-CN202210362965.X在审
发明人： 辛长林;阚云峰;刘洪刚 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体生产抽样检测抓取机构，具体涉及半导体生产技术领域，包括安装座，所述安装座的一侧固定安装有顶架，所述顶架远离安装座的一侧底端固定安装有转动组件，所述转动组件的底端固定安装有底盘，所述底盘的底端通过螺栓固定安装有调节组件，本发明，通过设置呈环形阵列分布的多个抓取组件，开启外部气泵机构，通过连接管、连接头和凸管向储气外筒中注入气体，储气外筒中气压增加，推动活塞套、内轴柱移动，配合第一框、第二框驱动夹持架进行转动，带动底部抓取垫板向内转动，从而通过多个抓取垫板对半导体晶圆的棱边进行多点自动抓取，有效提升了半导体晶圆的抓取稳定性，防止半导体晶圆抓取时掉落造成损坏。
一种半导体生产抽样检测抓取机构

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