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[发明专利]一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法-CN202210440082.6有效
发明人：崔怀愈;赵东迪;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
一种利用激光制备材料表面纳米颗粒方法

[发明专利]一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法-CN202310259358.5在审
发明人：崔怀愈;赵永蓬;赵东迪;王致远 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，它涉及光学领域，本发明要解决极紫外波段光无法同时实现单点聚焦以及波前分割的问题，本发明的方法：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：(90°‑θ1)+(θ2+θ)+(180°‑θ3)＝180°，依据上述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法。本发明的方法能够在获得一个很高反射率的同时，极大的减小光学畸变，同时除聚焦外具备波前分割功能，实现一定程度上的光场调控。
一种紫外波段同时实现单点聚焦分割方法

[发明专利]一种测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法-CN202211567455.2在审
发明人：崔怀愈;赵东迪;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，涉及激光聚焦光斑技术领域。为解决现有CCD相机无法精确的拍摄聚焦效果良好的极紫外激光聚焦光斑，而且CCD相机无法承受太高的光强，不但会因接收器饱和无法读取真实数值，而且高能量密度的极紫外激光会对接收屏造成不可逆的损伤的问题。包括极紫外激光、超环面镜、PMMA样品和二极管；PMMA样品，设置在电动式二维平移平台上，并垂直光轴；二极管，设置于PMMA样品安装后方，用于监测极紫外激光。该测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，在PMMA烧蚀记录过程中不涉及电路，因此毛细管放电泵浦类的极紫外激光输出过程中产生的地电位浮动对记录过程没有影响。
一种测量紫外激光聚焦光斑能量密度分布仪器方法

[发明专利]一种燃烧场双组分同步激发的测量装置及测量方法-CN202011105867.5有效
发明人：彭江波;曹振;于杨;马欲飞;赵永蓬;常光;高龙;武国华;韩明宏;袁勋 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：一种燃烧场双组分同步激发的测量装置及测量方法，属于燃烧组分可视化技术领域。燃烧器设置在两个激光发射器的中部，每个激光发射器与燃烧器之间均沿激光发射方向依次设有光束调制系统以及聚焦透镜，每套光束调制系统以及对应的聚焦透镜均与燃烧器的燃烧场共焦设置；ICMOS相机上加装有干涉滤光片，干涉滤光片与燃烧器的燃烧场配合设置；脉冲信号发生器与两个激光发射器信号传输连接，计算机与ICMOS相机信号传输连接。本发明非接触式测量，不干扰火焰结构，克服了高频激发条件下，CH基和OH基荧光谱线重叠的问题，时序上能够做到完全同步，装置简单，节约成本，提供了可用于燃烧不稳定性机理分析和预测的火焰结构和热释数据。
一种燃烧组分同步激发测量装置测量方法

[发明专利]一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法-CN201610458140.2有效
发明人：王骐;吕鹏;徐强;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比g_n为：第n级磁开关的环形磁芯体积Vol_n为：磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数m_opt为：m_opt＝2lnG，根据获得的最佳脉冲压缩级数m_opt确定磁脉冲压缩网络的级数，根据第n级磁开关的磁芯体积Vol_n确定磁开关的体积，根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。
一种用于紫外光源电源脉冲压缩网络电路参数获得方法

[发明专利]一种连续太赫兹目标散射测量控制系统-CN201610104496.6有效
发明人：李琦;樊长坤;周毅;赵永蓬;陈德应 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-02-25 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01S13/02 文献下载
摘要：一种连续太赫兹目标散射测量控制系统，属于太赫兹探测技术领域。为了解决现的测量系统在测量过程中需要手动不断地调整位移台来对信号进行采集，存在浪费时间、操作失误率较高的问题。所述控制系统包括位移台控制模块、采样控制模块和数据存储模块，位移台控制模块包括手动调节子模块和自动测量子模块；手动调节子模块，用于用户通过手动调节利用位移台来控制待测物和校准物的位置；自动测量子模块，用于输入自动测量时需要位移参数和开启自动测量；采样控制模块，用于采集待测物、校准物在太赫兹频段下照射的散射回波信号，以及用于设置采集参数。实现在研究太赫兹目标散射特性时分别准确测量校准物和不同角度的待测物的散射回波信号峰峰值。
一种连续赫兹目标散射测量控制系统

[发明专利]一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统-CN201610378019.9有效
发明人：徐强;赵永蓬;王骐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。
一种用于毛细管放电 euv 光源负载系统

[发明专利]毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统-CN201610444231.0有效
发明人：祝东远;赵永蓬;徐强;王骐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
毛细管放电箍缩极紫外光光刻光源收集系统

[发明专利]一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极-CN201610378862.7有效
发明人：徐强;赵永蓬;王骐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： H01J61/06 文献下载
摘要：一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
一种用于毛细管紫外光刻光源放电电极

[发明专利]极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座-CN201610437955.2有效
发明人：祝东远;王骐;徐强;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
紫外光光刻光源收集镜片集成基座

[发明专利]极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架-CN201510363157.5有效
发明人：王骐;徐强;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-06-26 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： B23B21/00 文献下载
摘要：极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
紫外光刻光源收集车削加工刀架

[发明专利]Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室-CN201510084937.6有效
发明人：王骐;徐强;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，涉及极紫外(EUV)光源技术。它为了解决常规的放电室结构放电性能和冷却性能不够好的问题。本发明中的主脉冲电源的高压极与预脉冲电源的地极共用一个电极，位于外壳的右端面上，预脉冲高压电极和共用电极均设置在外壳内部，且预脉冲高压电极和共用电极的位置沿轴向可调，使得预脉冲高压电极与主脉冲地电极的距离及共用电极与主脉冲地电极的距离均可调，提高了主脉冲电源和预脉冲电源的放电性能。预脉冲高压电极和共用电极内部设置有水冷系统。本发明具有良好的绝缘性能、放电性能、冷却性能和真空性能，适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。
xe 介质毛细管放电检测紫外光源

[发明专利]Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源系统-CN201510084923.4有效
发明人：王骐;徐强;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源系统，涉及一种13.5nm的极紫外光源。它为了解决常规的高功率EUV光源体积庞大、价格昂贵，不适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源的问题。本发明中，主脉冲电源采用磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，主脉冲电源的高压电极和预脉冲电源的地电极共用一个电极，利用水冷系统对预脉冲高压电极和共用电极进行制冷，光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统，该系统包括10层收集镜，每层收集镜包括一个回转椭球面和一个回转双曲面，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共几何焦点。本发明体积小，真空度高，且价格低，适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源。
xe 介质毛细管放电检测紫外光源系统

[发明专利]激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室-CN201610528467.2在审
发明人： 赵永蓬;徐强;王骐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术，为了解决现有装置无法实现在真空的状态下拖动Sn靶的问题。Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现，磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架，Sn靶设置在圆形支架上，圆形支架上设置有磁铁，磁性圆盘固定在电机的转轴上，电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合，磁性圆盘与圆形支架平行，电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部，圆形支架位于放电真空室的内部。本发明的结构简单，控制精确，适用于锡介质极紫外光源系统。
激光辅助介质 ldp 通过磁力拖动电极放电真空

[实用新型]用于收集镜精加工的加固装置-CN201620569388.1有效
发明人：王骐;徐强;赵永蓬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-06-13 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： B23Q3/12 文献下载
摘要：用于收集镜精加工的加固装置,涉及收集镜精加工过程中的加固技术。为了解决车削收集镜时，收集镜颤抖严重，影响加工质量的问题。该加固装置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣围成一个套筒，套筒一端的开口大于另一端的开口，套筒的内表面与收集镜的外表面相匹配，套筒套固在收集镜外壁，N为整数。采用本实用新型加工时收集镜不颤抖，收集镜表面粗糙度小于5nm。本实用新型适用于车削精加工中加固收集镜。
用于收集精加工加固装置

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