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[发明专利]一种孔检测光学系统-CN202110700248.9有效
发明人： 赵效楠;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;郭晓峰;杜向丽;陶国锋;袁梦霞 -专利权人：苏州中科全象智能科技有限公司;华域科尔本施密特活塞有限公司
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01B11/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种孔检测光学系统，涉及光学仪器技术领域，包括：相机、光源、沙姆镜头；相机与光源为共聚焦设计；光源的出射光斜向照射于深孔的孔壁；孔壁的反射光通过沙姆镜头进入相机，并在光电传感器上聚焦成像；孔壁至相机的反射光路满足沙姆定律；本发明优点在于，采用光源和相机共聚焦设计，同时和探测目标(深孔)成物像共轭关系，避免使用复杂的照明设备打光，从而减小系统成本和体积；结合沙姆镜头及光路满足沙姆定律，具备大景深倾斜目标成像功能，可以高分辨率下无死角检测深孔整个深度范围。
一种检测光学系统

[发明专利]一种高分辨率线色散工业镜头-CN202310446638.7在审
发明人：杜向丽;赵效楠;李强;唐亮 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种高分辨率线色散工业镜头，包括沿着光轴从物方至像方色散端依次为具有负光焦度的第一透镜，负光焦度的第二透镜，正光焦度的第三透镜，正光焦度的第四透镜，负光焦度的第五透镜，正光焦度的第六透镜，负光焦度的第七透镜，正光焦度的第八透镜，负光焦度的第九透镜，正光焦度的第十透镜；本发明中的色散工业镜头可以适应不同应用范围，大大提高了3D形貌测量效率，而且色散镜头采用双远心结构，可以保证投射到测量物体上精度一致性。
一种高分辨率色散工业镜头

[发明专利]小色畸变狭缝光谱仪-CN202310419261.6在审
发明人： 赵效楠;杜向丽;李强 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01J3/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种小色畸变狭缝光谱仪，小色畸变狭缝光谱仪的色畸变范围为小于或等于1微米，小色畸变狭缝光谱仪包括从物侧至像侧依次设置的：狭缝，设置在光源的出光侧，狭缝作为视场光阑，并对光源发出的发散光束起到分辨率滤波作用，狭缝的长度范围为1mm‑15mm；光谱仪准直镜组，用于对狭缝滤波后的发散光束准直，以将发散光束转化为平行光束；光栅，用于将平行光束分光以形成不同角度、不同颜色的光谱；光谱仪聚焦镜组，用于将不同角度、不同颜色的光谱聚焦到像平面，光谱仪聚焦镜组的焦距为ff，光谱仪准直镜组的焦距为fc，fc和ff满足关系式：1≤ff÷fc≤5。本申请的小色畸变狭缝光谱仪可以实现狭缝长度1mm‑15mm、高分辨率清晰成像且色畸变小于等于1微米。
畸变狭缝光谱仪

[发明专利]一种量块测量装置及方法-CN202211649763.X在审
发明人：王一洁;王毅;赵效楠;沈建东;唐亮 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种量块测量装置和及方法，进行量块测量时，消除外界干扰，具有高的精度和可靠性。使用量块测量装置，进行基准测量得到干涉光谱S1和S2，进行量块测量得到干涉光谱P1和P2；由S1获得光线21和22的光程差Ds1，由S2获得光线23和24的光程差Ds2，由获得光线21和22的光程差DP1，由P2获得光线23和24的光程差DP2；获得待测量块25和标准量块26的长度差Δ＝(Ds1+Ds2)/2‑(DP1‑DP2)/2，标准量块26的长度加上长度差获得待测量块25的长度。待测量块和标准量块同时放入测量系统，同时比较两者的长度差，由于外界对两者的干扰相同，将相同的干扰消除，实现更高的精度和可靠性。
一种量块测量装置方法

[发明专利]一种全景深超低畸变工业斜像镜头-CN202310336908.9在审
发明人：杜向丽;赵效楠;李强;唐亮 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种全景深超低畸变工业斜像镜头，包括物面与像面，以及沿着光轴从物方至像方端依次为具有正光焦度的第一透镜，负光焦度的第二透镜，负光焦度的第三透镜，正光焦度的第四透镜，负光焦度的第五透镜，正光焦度的第六透镜，负光焦度的第七透镜；所述物面与所述像面相对设置；本发明可以实现工作距离为0‑600mm的全景深超低畸变成像，在全景深范围镜头畸变可以达到0.05％以下，降低了标定及重建算法的难度，同时大大提升了测量3D点云的精度。
一种景深畸变工业镜头

[发明专利]一种晶圆测量装置及方法-CN202211654645.8在审
发明人：王一洁;王毅;赵效楠;沈建东;唐亮 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆测量装置及方法，满足工业检测需求。包括：宽带光源发出的探测光经过光纤到光纤环形器的第一端口，由第二端口输出的光进入准直器，被准直的光进入扫描系统，扫描系统进行扫描，改变探测光的角度，探测光经透镜聚焦于晶圆样品，经参考物上表面、晶圆样品上下表面反射的光，返回光纤环形器，经第三端口输出，通过光纤传输到光谱仪，形成干涉光谱，光谱仪采集干涉光谱，传给处理单元。实现了减少光源强度和频率变化的干扰，改进解调方式，提高处理速度。
一种测量装置方法

[发明专利]一种球面和非球面混合式沙姆镜头-CN202211573930.7在审
发明人： 赵效楠;杜向丽;李强;郭晓峰 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种沙姆镜头，在保证高分辨率的前提下，实现低畸变。第一非球面透镜，前表面为非球面，后表面为球面，两个表面弯曲方向不受限制；第二正光焦度球面透镜，前表面曲率半径大于0，后表面曲率半径小于0；第三负光焦度球面透镜，前表面弯曲方向不受限制，后表面曲率半径大于0；第四正光焦度球面透镜，前表面曲率半径大于0，后表面曲率半径大于0；光阑；第五正光焦度非球面透镜，前表面弯曲方向不受限制，后表面曲率半径小于0。该镜头具备合理的光焦度分配以及运用非球面消像差特性，实现了高分辨率、低畸变。
一种球面混合式镜头

[发明专利]一种光学相干层析成像装置及方法-CN202211653571.6在审
发明人：王一洁;王毅;赵效楠;沈建东;唐亮 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01J3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学相干层析成像装置及方法，满足工业检测需求，实现较大的检测样品的最大倾角，提高初始相位处理速度。具体包括：宽带光源发出的光经过光纤依次连接隔离器和分光合光系统，经分光合光系统将光分为参考光路和样品光路，参考光路经反射镜反射返回；样品光路进入扫描系统进行扫描，改变样品光路的角度，经透镜二聚焦于样品，经样品反射的样品光路返回；分光合光系统将反射的两路光进行合光，进入光谱仪形成干涉光谱，传给计算机，进行光学相干层析成像。满足工业检测的大倾角和高处理速度的需求。
一种光学相干层析成像装置方法

[发明专利]一种测量薄膜厚度与折射率的装置及方法-CN202110536390.4有效
发明人：王一洁;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;赵效楠;王毅;周越;焦智成 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量薄膜厚度与折射率的装置和方法，属于光学测量领域。本发明装置包括低相干光源、分光组件、反射镜、样品槽、光谱仪和信号处理单元，从低相干光源发出的光进入分光组件，经分光组件将光分为参考光和样品光。参考光照射在反射镜上；样品光垂直于样品槽侧面射入样品槽。经反射镜反射的参考光，以及经样品槽和待测样品反射的样品光反射进入分光组件，并输出进入光谱仪。结合傅里叶变换的频率和相位进行解调，分别测量样品槽空置、放置样品后的光程，对于薄薄膜，还在样品槽倒入折射率已知液体进行光程测量。本发明基于相敏光学相干层析的测量方法，具有纳米级精度、操作简单、可适用于各种状态薄膜的优点。
一种测量薄膜厚度折射率装置方法

[发明专利]一种探头式Mirau型白光干涉物镜-CN202211520176.0在审
发明人：李强;赵效楠;杜向丽 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了探头式Mirau型白光干涉物镜，实现高分辨率，大接收镜面反射角。物镜从光纤出口端面接收光，从物侧至像侧依次为：具有正光焦度的第一胶合透镜、具有正光焦度的第二胶合透镜、平面镜和胶合分光镜，并且物镜满足：0.1≤f2/f≤10，0.5≤f3/f≤10，其中，f为物镜焦距；f2为第一胶合透镜焦距；f3为第二胶合透镜焦距。由于具备合理的光焦度分配，可以有效抑制像差，物镜具有高分辨率，大的接收镜面反射角，可以更广泛应用于各种表面检测。
一种探头 mirau 白光干涉物镜

[发明专利]一种远心色散物镜-CN202211579326.5在审
发明人： 赵效楠;杜向丽;李强 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明公开了远心色散物镜，用于光谱色散分光聚焦。镜头采用球面、非球面混合结构，镜头从入光侧依次为光阑，正光焦度的第一透镜，正光焦度的第二透镜，负光焦度的第三透镜，正光焦度的第四透镜，负光焦度的第五透镜，正光焦度的第六透镜，正光焦度的第七透镜；其中第二透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜为球面透镜；第一透镜、第三透镜、第七透镜为非球面透镜，并且第一透镜、第三透镜和第七透镜均满足非球面方程。由于该成像镜头具备合理的光焦度分配，能够实现光谱色散分光聚焦，且所有波长均具备衍射极限聚焦水平。
一种色散物镜

[发明专利]一种基于白光干涉的量块测量装置及方法-CN202110535055.2有效
发明人：王毅;姜云飞;马振鹤;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;赵效楠;王一洁;郭晓锋 -专利权人：东北大学秦皇岛分校;苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于白光干涉的量块测量装置及方法，涉及测量技术领域，包括低相干光源，分光元件，量块，光谱仪，第一透明板，第二透明板，所述低相干光源发出的光进入分光元件，从分光元件一端输出的光经第一透镜组件汇聚在量块左表面上；从分光元件另一端输出的光经过第二透镜组件汇聚在量块右表面上；从量块和第一透明板反射的光经分光元件进入光谱仪形成第一干涉光谱；从量块和第二透明板反射的光返回分光元件进入光谱仪形成第二干涉光谱；光谱仪记录这两个干涉光谱的叠加信号再传输到数据处理模块处理。本发明结合傅里叶变换的频率和相位，实现了基于白光干涉的量块的高精度测量，无需接触，操作方便。
一种基于白光干涉量块测量装置方法

[发明专利]一种沙姆镜头畸变分析方法-CN202110503428.8有效
发明人： 赵效楠;彭思龙;汪雪林;顾庆毅 -专利权人：苏州中科全象智能科技有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种沙姆镜头畸变分析方法，包括如下步骤：S1、计算光学畸变：S11：将沙姆镜头等效成传统镜头；S12：通过计算等效传统镜头畸变得出沙姆镜头光学畸变；S2：计算梯形畸变：S3：根据光学畸变和梯形畸变叠加得到沙姆镜头畸变。上述发明将光学畸变精确地与梯形畸变分离并且最大程度的减小光学畸变，将决定沙姆镜头的最终成像质量情况。
一种镜头畸变分析方法

[实用新型]一种狭缝可调装置-CN202221966288.4有效
发明人：舒文亮;赵效楠;彭思龙;汪雪林;顾庆毅 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种狭缝可调装置，属于光学机构技术领域，包括外框和内框，在内框上通过狭缝固定座安装有狭缝玻璃，内框的一侧与狭缝固定座弹性连接，内框的另一侧螺纹连接有第一螺杆，第一螺杆的尾部与狭缝固定座抵接；内框上设有第一连接板，外框上相应的位置处设有第二连接板，在第二连接板上螺纹连接有第二螺杆，第二螺杆的尾部与第一连接板抵接。使用时，旋转第一螺杆，狭缝可发生平动，旋转第二螺杆，狭缝可发生转动，可同时实现狭缝的平动和转动，调节方便，第一螺杆和第二螺杆均为精密螺杆，因此调节精度高。
一种狭缝可调装置

[发明专利]一种线扫描分光白光干涉仪-CN202110534115.9有效
发明人： 赵效楠;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;王一洁;王毅 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种线扫描分光白光干涉仪，光源部分包括SLD光源，SLD光源出光端与准直器连接；准直器出光端发出的光束通过第一柱透镜后进入分光棱镜，并分两路分别进入参考臂和样品臂；参考臂和样品臂返回的反射光通过分光棱镜后进入第二远心镜头，之后进入光谱仪；参考臂依次设有第二柱透镜、消色差透镜、反光镜；样品臂中设有第一远心镜头、测量样品和一维平移台；本发明优点在于，采用SLD光源相干长度短、功率高；柱面镜产生线阵光束，可完成线扫检测，提升检测精度；消色差镜和远心镜头可以是两个不同焦距的镜头，不需要参考臂和样品臂满足等光程条件；远心镜头可以避免死角，具备高定为精度、高能量均匀性优点。
一种扫描分光白光干涉仪

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