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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]确定反应室的介质表面上导电膜的存在-CN201510334840.6在审
发明人： 费德里科·加利 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： H05H7/18 文献下载
摘要：一方面，等离子体系统包括：介质壳体，其包围反应室的一部分；导电线圈，其沿着所述壳体的周边延伸；以及发生器，其用于提供第一电信号给所述线圈，以在所述反应室中生成等离子体。所述系统附加地还包括：位于所述反应室内部的探测器，所述探测器与电接地至少在将第一电信号提供给所述线圈的时候电绝缘，以及一个或多个处理单元，其用于基于所感测的第二电信号确定度量标准，所述度量标准表明所述壳体的内表面上导电材料的沉积或者移除的量度。
确定反应介质表面上导电存在

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