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- [实用新型]一种晶圆旋转固定爪-CN202320225405.X有效
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徐槿尧
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谷微半导体科技（江苏）有限公司
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2023-02-16
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2023-05-23
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H01L21/687
- 本实用新型属于晶圆技术领域，公开了一种晶圆旋转固定爪，包括晶圆支撑平台，晶圆支撑平台上均匀地开有若干个对称的活动槽，活动槽内安装有夹持机构；夹持机构包括安装在圆支撑平台底部的固定板和转动板，以及设置在固定板上的转动轴，转动板通过转动轴与固定板转动连接，转动板一端的上侧设有抱爪，转动板另一端的下侧设有配重块；晶圆支撑平台上在转动板外侧设有复位机构，本实用新型的优点是，抱爪与配重块错位设置，相互水平转动，保证抱爪对晶圆进行水平夹持，同时配重块可换，能够适应不同的清洗打磨工艺。
- 一种旋转固定
- [发明专利]一种气动隔膜阀-CN202211017521.9在审
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唐金鑫;陈波;陶朝清
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谷微半导体科技（江苏）有限公司
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2022-08-24
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2023-02-03
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F16K3/00
- 本发明公开了一种气动隔膜阀，包含阀体，阀体下端设置有阀门出口，阀体一侧设置有阀门进口且阀门进口垂直于阀门出口设置，阀门出口上端与圆柱容腔下端连接，阀门进口一端与圆柱容腔一侧连接，阀芯沿竖直方向滑动设置在阀门出口上端且阀芯的直径与阀门出口内径匹配，阀芯由阀芯气动机构驱动沿阀门出口上端升降。本发明采用垂直设置的阀门进口和阀门出口结构，减少了阀门内部的流场死区，不易生成残留，密封接触面积大，易于实现液体的阻断，解决了传统隔膜阀密封接触面积小容易泄露的问题，降低了损失。
- 一种气动隔膜
- [实用新型]一种自动导片上料机构-CN202222802147.5有效
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金志刚;陶朝清;袁诗雯
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谷微半导体科技（江苏）有限公司
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2022-10-24
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2023-01-06
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B65G49/06
- 本实用新型属于晶圆上下料领域，提供了一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架，横向排列在机架上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮，在机架上、并与第一晶圆托篮并排的第二晶圆托篮，在第一晶圆托篮和第二晶圆托篮上的抱片机构，在抱片机构正下方、且可上下位移的举片机构，移动连接于机架、用于监测第二晶圆托篮上晶圆的监测机构，以及在机架上位移、用于将第二晶圆托篮送入晶圆甩干机内的气爪机构。本实用新型的自动导片上料机构，通过机械化实现晶圆的上下料，传输稳定，避免了人工搬运，降低人员成本的同时，降低了因人工操作导致晶圆破损、污染的风险。
- 一种自动导片上料机构
- [发明专利]一种托篮转换装置-CN202211254633.6在审
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陈铁龙;黄维;陈吉福;王维峥
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谷微半导体科技（江苏）有限公司
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2022-10-13
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2022-12-09
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H01L21/677
- 本发明属于晶圆加工设备领域，提供了一种托篮转换装置，包括：两个导料设备，两个导料设备配合使用，导料设备包括：带动托篮上下的位移机构，在托篮进出料侧的输送机构，在托篮下侧、用于监测托篮内晶圆的两个第一传感器，以及与第一传感器、位移机构和输送机构电连接的控制系统，控制系统电连接有报警设备；当第一传感器检测到托篮内晶圆有异常时，发送信号至控制系统，控制系统控制报警设备报警，同时，控制位移机构和输送机构停止工作。本发明的托篮转换装置，结构简单，且晶圆在转换托篮时，一片一片的传递，更为稳定、更为安全，可替代高昂的机械手等设备，适合在本领域中推广。
- 一种转换装置
- [实用新型]一种气动隔膜阀-CN202222229352.7有效
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唐金鑫;陈波;陶朝清
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谷微半导体科技（江苏）有限公司
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2022-08-24
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2022-11-29
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F16K3/00
- 本实用新型公开了一种气动隔膜阀，包含阀体，阀体下端设置有阀门出口，阀体一侧设置有阀门进口且阀门进口垂直于阀门出口设置，阀门出口上端与圆柱容腔下端连接，阀门进口一端与圆柱容腔一侧连接，阀芯沿竖直方向滑动设置在阀门出口上端且阀芯的直径与阀门出口内径匹配，阀芯由阀芯气动机构驱动沿阀门出口上端升降。本实用新型采用垂直设置的阀门进口和阀门出口结构，减少了阀门内部的流场死区，不易生成残留，密封接触面积大，易于实现液体的阻断，解决了传统隔膜阀密封接触面积小容易泄露的问题，降低了损失。
- 一种气动隔膜
- [实用新型]一种阀门测试平台-CN202222417971.9有效
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徐槿尧;陶朝清;陈波;唐金鑫
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谷微半导体科技（江苏）有限公司
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2022-09-13
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2022-11-25
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G01M3/18
- 本实用新型属于阀门检测技术领域，公开了一种阀门测试平台，包括壳体，壳体内设有测试平台，测试平台下方设置有管路系统，测试平台一侧设有若干根与测温管道连接的进水管道，另一侧设有连通至水箱的若干根出水管道，测试平台上方设有控制柜，测试平台包括托板，托板底部固定连接有锥形槽，锥形槽中间设有将锥形槽左右隔开的第一隔板，以及垂直于第一隔板的若干块第二隔板，由第一隔板和第二隔板隔离形成的槽内均设有独立的水浸传感器，本实用新型通过第一隔板和第二隔板将测试平台的锥形槽隔开，设置独立的水浸传感器，实现阀门漏水的自动检测，并且每个测试阀门错位设置，节约了测试平台表面的空间，可以同时对多个不同规格阀门进行漏水测试。
- 一种阀门测试平台
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