专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种陶瓷介质滤波器的PVD纳米磁控溅射镀银金属化工艺-CN202011469721.9在审
  • 谢小兵;谢涛兵 - 深圳市宝元金实业有限公司
  • 2020-12-14 - 2021-04-13 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种陶瓷介质滤波器的PVD纳米磁控溅射镀银金属化工艺,属于陶瓷介质金属化技术领域,包括以下步骤:S100:预备开机,选取磁控溅射设备,并对其进行检测、更换银基靶材并安装陶瓷介质滤波器;S200:开机,分子泵和机械泵对真空室连续抽真空,复合真空计监测真空室内的真空度,待真空室内本底真空度达到本次实验所预期要求后,即可准备镀膜工作;S300:镀膜,采用直流溅射或射频溅射进行镀膜。可批量量产,综合成本较烧银工艺可以降低30%以上,形成的结合层具有高附着力以及高温稳定性,纳米膜层致密性好,膜厚均匀,能够解决现有喷银工艺中存在的盲孔、侧壁,凹槽等位置膜厚不均而导致导电性能差异的问题。
  • 一种陶瓷介质滤波器pvd纳米磁控溅射镀银金属化工艺

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