专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于减轻图案塌陷的水溶性聚合物-CN201980058622.0在审
  • 德萨拉吉·瓦拉帕萨德;谢松元 - 霍尼韦尔国际公司
  • 2019-08-22 - 2021-04-16 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种用于防止半导体衬底中形成的图案化高纵横比特征在从该特征之间的空间移除用于清洁蚀刻残留物的类型的初始流体时发生塌陷的方法。在本方法中,空间至少部分地填充有置换溶液,诸如经由旋涂,以基本上置换初始流体。该置换溶液包含至少一种溶剂和至少一种水溶性聚合物诸如聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)或聚丙烯酰胺(PAAM)形式的填充材料。然后使溶剂挥发以便使填充材料以基本上固体形式沉积在空间内。与使用当前填充材料相比,可以通过采用高去胶速率的已知等离子体去胶方法来移除填充材料,这防止或减轻了硅损失。
  • 用于减轻图案塌陷水溶性聚合物
  • [实用新型]一种汽车机械设备表面用除尘装置-CN201922475720.4有效
  • 范崤康;李楠;孙鹏;贾曦睿;谢松元 - 迟广;王坤鹏;汤永利
  • 2019-12-31 - 2020-08-25 - B08B3/02
  • 本实用新型公开了一种汽车机械设备表面用除尘装置,包括底座和龙门支架,所述龙门支架固定连接在所述底座的上端两侧,所述底座的上端位于所述龙门支架的两个内侧分别固定连接设有吹风机和抽风机,所述底座的上端中部固定连接设有支撑架,所述支撑架的上端固定连接设有液压柱,所述液压柱的上端固定连接设有夹持平台,所述龙门支架的上部固定连接设有横架,所述横架的两侧均固定连接设有卷扬机,所述卷扬机的下方通过线缆固定连接设有带多角度喷头的喷洒枪,所述横架的中部位于所述夹持平台的上方固定连接设有测距仪。本实用新型与现有技术相比的优点在于:本汽车机械设备表面用除尘装置除尘效果好,方便自动清洗。
  • 一种汽车机械设备表面除尘装置
  • [发明专利]用于防粘滞应用的可热移除填充材料-CN201880060452.5在审
  • 德萨拉吉·瓦拉帕萨德;谢松元 - 霍尼韦尔国际公司
  • 2018-09-11 - 2020-05-08 - H01L21/027
  • 本发明提供了一种用于防止半导体衬底中形成的图案化高纵横比特征在从特征之间的空间移除用于清洁蚀刻残留物的类型的洗涤溶液时发生塌陷的方法。在本方法中,空间至少部分地填充有置换溶液,诸如经由旋涂,以基本上置换洗涤溶液。置换溶液包括至少一种溶剂和至少一种填充材料,至少一种填充材料是聚烯烃碳酸酯(PAC)和/或糖类。然后使溶剂挥发以便使填充材料以基本上固体形式沉积在空间内。可以经由热处理通过热降解来移除填充材料,其中消除了对通过等离子体灰化来移除填充材料的需要以便防止或减轻硅损失。
  • 用于防粘滞应用可热移填充材料
  • [发明专利]用于减轻图案塌陷的改善填充材料-CN201880058583.X在审
  • 德萨拉吉·瓦拉帕萨德;谢松元;约瑟夫·T·肯尼迪 - 霍尼韦尔国际公司
  • 2018-09-11 - 2020-04-24 - G03F7/004
  • 本发明提供了一种用于防止半导体衬底中形成的图案化高纵横比特征在从该特征之间的空间移除用于清洁蚀刻残留物的类型的初始流体时发生塌陷的方法。在本方法中,空间至少部分地填充有置换溶液,诸如经由旋涂,以基本上置换初始流体。该置换溶液包括至少一种溶剂以及以苯酚‑甲醛聚合物形式的第一填充材料和/或以聚烯烃碳酸酯(PAC)形式的第二填充材料中的至少一者或其组合。然后使该溶剂挥发以便使填充材料以基本上固体形式沉积在空间内。与使用当前填充材料相比,可以经由高蚀刻速率通过已知等离子体蚀刻过程来移除填充材料,这防止或减轻了硅损失。
  • 用于减轻图案塌陷改善填充材料

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